超纯水系统工艺流程图

1、原水箱原水泵机械过滤器活性炭过滤器紫外线P;二<:CO紫外线杀菌灯(R不合格排放浓水回流 或排放纯水岀口调压阀抛光混床超纯水泵氮封超纯水箱极水排放二级ED膜堆符号说明：冈M(PP电磁阀球阀止回阀压力表压力控制器0.2Um过滤器纯水泵脱气水箱t不合格排放流量计 电阻率表电导率表流变控制开关图3 常用的一级 Ro二级EDI+MB电子I级超纯水系统工艺配置图适合于源水硬度高，有机物含量高，电导率高(小于1000 s/cm ),要求产水电阻率 1818.2M Cm的超纯水系统P冈RFP不合格排放FIOC?舟PCPc¾C /T紫外线 杀菌灯图4常用的一级 Ro二级EDl电子级超纯水系统工

2、艺配置图超纯水泵氮圭寸超纯水箱极水排放二级EDI膜堆0.2um过滤器纯水泵脱气水箱符号说明:不合格排放电磁阀流量计 电阻率表 电导率表流变控制开关过滤器极水浓水化学计量泵r x.O,纯水循环泵球阀止回阀压力表压力控制器自来水进水原水泵软水器 盐箱0.1um过滤器风机机械过滤器活性炭过滤器紫外线 杀菌灯用水点浓水回流Fk 或排放取样保安过滤器不合格排放氮气瓶纯水出口调压阀P-Pc高压泵反渗透装置i>原水箱适合于源水硬度高，有机物含量高，电导率（小于 1000 s/cm），要求产水电阻率 1518M Cm的超纯水系统F自来水进水不合格排放迫排放PP快速过滤器原水箱超滤装置反渗透装置原水泵高压

3、泵反洗排放水F化学计量泵:产过滤器TP用水点P不合格排放氮气瓶0.1um过滤器§极水浓水氮封超纯水箱纯水箱抛光混床超纯水泵紫外线 杀菌灯F5循环 泵PPCOO0.2um过滤器纯水泵RCC纯水极水排放二级EDI膜堆紫外线杀菌灯帶LL H',F r'-风机浓水回流Fk 或排放 FkrFT)YI纯水岀口调压阀Ph-V.OOOA不合格排放符号说明:FKMPF闵流变控制开关电磁阀球阀流量计电阻率表电导率表止回阀压力表 压力控制器常用的一级 RO-二级EDI电子+MB电子I级超纯水系统工艺配置图适合于源水硬度低，有机物含量低，电导率高（小于 1000 s/cm ）,要求产水电阻率

4、 1818.2M Gm的超纯水系统自来水进水FPP原水箱原水泵超滤装置反渗透装置高压泵F反洗排放水FFZ33不合格排放氮气瓶0.1um过滤器LE极水排放氮封超纯水箱纯水箱超纯水泵紫外线 杀菌灯循环 泵C)OOC)F PPPC%；紫外线 杀菌灯刁* T _快速过滤器0.2um过滤器纯水泵化学计量泵R用水点过滤器T T <极水浓水纯水Z纯水岀口 调压阀PJU风机浓水回流Fk 或排放 I_PT不合格排放二级EDI膜堆不合格排放符号说明:P0电磁阀球阀图6止回阀 常用的一级 电导率高(小于压力表RO-二级流量计电阻率表电导率表压力控制器EDI电子级超纯水系统工艺配置图1000 s/cm),要求产

5、水电阻率 1518M Gm的超纯水系统流变控制开关适合于源水硬度低，有机物含量低,自来水进水原水箱原水泵用水点0.1Um过滤器图7是常用的一级EDl全系统组成图。机械过滤器活性炭过滤器阻垢剂加药一级高压泵一级反渗透装置氮气瓶抛光混床符号说明:不合格排放二级反渗透装置纯水泵脱气水箱风机化学计量泵循环泵 PQ浓水不合格排放X* X1纯水一级EDI膜堆To分解器 超纯水泵氮封超纯水箱紫外线杀菌灯a极水过滤器0.2Um过滤器沃1MPPC FR电磁阀球阀止回阀压力表压力控制器流量计电阻率表图7常用的产水水质稳定的二级电导率表不合格排放RO-一级EDI+MB电子I级超纯水系统组成图适合于源水硬度低，有机物含量高，电导率 <1000 scm,即TDS < 500PPm时，要求产水电阻率 1818.2M Cm的纯水系统用水点01um过滤器.紫外线杀菌:脱气水箱纯水泵化学计量泵F合格排放TO分解器超纯水泵氮封超纯水箱F)极水一级EDI膜R>-P-CF)-Pc浓水纯水过滤器循环泵风机脱气水箱二级反渗透装置0.2Um过滤器符号说明：电磁阀球阀IX!P-PC不合格排放止回阀压力表压力控制器流量计电阻率表电导率表图8 常用的产水水质稳定的二级 RQ-