特气系统日常、年度维护检查表

1、特气系统日常维护记录表文件编号：JSDG-04-09-712-A维护时间维护人员维护措施记录在舁厅P维护简要步骤及数据规范数据和状态记录异常情况处理记录1检查气柜排风系统，调整风量到30-50Pa2检查放空N2的流量，调整为0.25-0.35M3/H3检查CDAE力，调整至ij70-90PSI4检查气柜系统压缩空气、N2接头是否完好，如损坏漏气需更换5检查房门过滤网能否保持空气流通通畅，否则清洗或更换6对气柜盘面阀件、管路、钢瓶接头、管路接头进行检查有无锈蚀、穿孔现象7用相应毒性、易燃易爆气体检测仪对气柜盘面管路接头处进行检测，后无泄漏8检查紧急关断是否能正常工作9检查特气房内是否为负压。若不

2、是进行调整10打扫特气系统卫生1112更换备件记录在舁厅P料品名称数量123说明：维护到其他项目时加在“维护简要步骤及数据规范”并记录审核人:审核时间:气柜气体由口压力停供和复供前记录表文件编号：JSDG-04-09-713-A气柜名称气体名称输出压力规范气体停产前一次压力（PSD气体复产前一次压力（PSDHCL-1HCL35-45PSIHCL-2HCL35-45PSICL2CL225-35PSINF3NF340-55PSIHBrHBrr35-45PSINH3-1NH345-60PSINH3-2NH340-50PSISIH4-1SIH440-55PSISIH4-2SIH440-55PSI15%

3、PH3/SIH4-115%PH3/SIH440-55PSI15%PH3/SIH4-215%PH3/SIH440-55PSIBCL3-1BCL34-8PSIBCL3-2BCL34-8PSISIH2CL2SIH2CL24-8PSIAr-1Ar60-80PSIAr-2Ar45-65PSIHe-1He65-80PSIHe-2He55-70PSIN2ON2O50-65PSISF6-1SF645-55PSISF6-2SF645-55PSICO2CO240-50PSIC2F6-1C2F640-60PSIC2F6-2C2F655-70PSICHF3CHF340-55PSICF4CF440-60PSI记录人记录

4、时间:审核人:审核时间:VMB/VM汽体由口压力停供和复供前记录表文件编号JSDG-04-09-714-A在耳J丁PVMB/VMP序号气体名称输出压力规范(PSI)气体停产前压力(PSI)气体复产前压力(PSD1VMP01He15-252VMP02Ar25-353VMP03C2F620-304VMP04SF620-305VMP05CHF315-256VMP06SF625-357VMP07CF425-308VMP08CF425-309VMP09He25-3010VMP10C2F625-3511VMP11N2O35-4512VMP12Ar10-2013VMB01CL210-2014VMB02HBr

5、20-3015VMB03NF325-3516VMB04NH325-3517VMB05SIH425-3518VMB0615%PH3/SIH425-3519VMB07HCL15-2520VMB08NH320-3021VMB09HCL15-2522VMB1015%PH3/SIH420-3023VMB11SIH420-30记录人:记录时间:审核人:审核时间:气柜/盘面保压检查表文件编号：JSDG-04-09-715-A序号气柜/盆卸名称气体名称保压压力检查压力1234567891011121HCL-1HCL/2HCL-2HCL/3CL2CL2/4NF3NF3/5HBrHBrr/6NH3-1NH3/7N

6、H3-2NH3/8SIH4-1SIH4/9SIH4-2SIH4/1015%PH3/SIH4-115%PH3/SIH4/1115%PH3/SIH4-215%PH3/SIH4/12BCL3-1BCL3/13BCL3-2BCL3/14SIH2CL2SIH2CL2/15Ar-1Ar/16Ar-2Ar/17He-1He/18He-2He/19N2ON2O/20SF6-1SF6/21SF6-2SF6/22CO2CO2/23C2F6-1C2F6/24C2F6-2C2F6/25CHF3CHF3/26CF4CF4/记录人审核人：审核时间:气柜/盘面至VMB/VM睇压检查表文件编号：JSDG-04-09-716-

7、A在舁厅PVMB/VMP号气体名称保压压力检查压力1234567891011121VMP01He/2VMP02Arr/3VMP03C2F6/4VMP04SF6r/1/1/r/5VMP05CHF3/6VMP06SF6r/1/1/r/7VMP07CF4/8VMP08CF4/9VMP09He/10VMP10C2F6/11VMP11N2O/12VMP12Arr/1/1/r/13VMB01CL2/14VMB02HBr/n/15VMB03NF3/16VMB04NH3/17VMB05SIH4/18VMB0615%PH3/SIH4/19VMB07HCL/20VMB08NH3/21VMB09HCL/22VMB1

8、015%PH3/SIH4/23VMB11SIH4/t已录入审核人:审核时间:VMB/VM睡设备端保压检查表文件编号：JSDG-04-09-717-A在耳J丁PVMB/%号气体名称对应设备保压压力检查压力12345678910111VMP01He6520、LAM-2、903E-1/-2、903-1/2VMP02Ar6520、LAM-1/-2/3VMP03C2F6903E-1/-2/-3、903-1/4VMP04SF66520/5VMP05CHF3LAM-1/-2、903E-1/-2/-3、903-1、1611-1/-2/-3/6VMP06SF6901E-1/-2、1611-1/-2/-3/7VMP07CF46520、LAM-1/-2/8VMP08CF41611-1/-2/-3/9VMP09He403-1、LAM-1、903E-3/10VMP10C2F6NOV-1/-2/-3/11VMP11N2ONOV-1/-2/-3、B炉/12VMP12ArMRC-1/-2、3180/13VMB01CL21611-1/-2/-3、6520/14VMB02HBr1611-1/-2/-3、6520/15VMB03NF3403-1、LAM-1/-2/16VMB04NH3NOV-1/-2/-3/17VMB05SIH4NOV-1/