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2、AABfF出射光瞳出射光瞳(或孔径光阑或孔径光阑)CCD像面像面BB2A1B1B2A2y1y2l(+)l (l为负为负)F出射光瞳出射光瞳(或孔径光阑或孔径光阑)A2y1y2DyOCUY非希望反射光非希望反射光模糊模糊T.)(! 21)(0011020100jjiininjjiiiniiqqqqqqyqqqyyynnqqyqqyyyy0011000.nDf管径扫描管径扫描mM2M2M1激光光源激光光源探测器探测器)()(00CmCmLLdLLLdnnLdLdKKLdL)(2222000CmLLnnKnKKnLnKL200)()(000CmLLnnKKLL光栅尺光栅尺(无误差安装无误差安装)光栅盘光栅盘万工显万工显LLcosly双线夹单线双线夹单线=510单 线 对 单 线单 线 对 单 线=

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