压电陶瓷微位移器驱动电源的研究

1、南 京 理 工 大 学毕业设计说明书(论文)作 者:于淑楠学 号：1004520213学院(系):电子工程与光电技术学院专 业:光电信息工程题 目:压电陶瓷微位移器驱动电源的研究讲师乌兰图雅指导者： (姓 名) (专业技术职务)评阅者： (姓 名) (专业技术职务)2014 年 5 月毕业设计说明书（论文）中文摘要 压电陶瓷微位移驱动器（PZT）是一种高精度的微位移器件，它可以能实现微米级的位移量。在光学干涉方面，给PZT施加一定的电压，PZT即可以产生微米级的位移量。PZT的性能好坏，其驱动电源是关键，目前的PZT驱动电源比较注重电源的静态特性，但有许多缺点，如：动态特性不理想，交流负载能力

2、很差，带负载时的频响太低，成本高、体积大等。在深入了解PZT性能的基础上，本课题主要是设计PZT驱动电源，要求该电源不仅在静态特性上优于现有的电源，并且频响高、体积小、成本低等优点。该课题对移相干涉仪的移相稳定度、精确度有重要的意义。关键词 自适应移相干涉仪 PZT 驱动电源 毕业设计说明书（论文）外文摘要Title Study of piezoelectric ceramic micro displacement device driver AbstractThe piezoelectric ceramic micro displacement actuator

3、 (PZT) is a high precision micro displacement device, can realize the displacement micrometer. In optical interferometry, mainly using the inverse piezoelectric effect, certain voltage is applied to the PZT, displacement PZT which

4、 produce micrometer. PZT by a special driving power to drive, the static characteristics of the mature PZT driving power supply more power, but this kind of power supply has dynamic characteristic is not ideal, the AC load ca

5、pability is very poor, with frequency when the load is too low, high cost, large size defect. Based on deeply understanding the performance of PZT, this project is to design a PZT driving power supply, the power supply not only in the stati

6、c characteristics are superior to the existing power supply, and high frequency response, small volume, low cost advantages. The paper has important significance for phase-shifting interferometer phase stability, accuracy.Keyword Adaptive p

7、hase-shifting interferometer PZT Driving power本科毕业设计说明书（论文） 第 I 页 共 I 页1 绪论1.1 课题研究背景在实验和生活中，光学干涉测量方法是一种常见的计量测试方法。不同于一般的测量方式，由于该方法是以光的波长为单位，因此，赋予了其较高的灵敏度和更为准确的精度。在光学测量中，我们通常使用到干涉仪作为测量仪器。在电子计算机技术高速发展与成熟的现在，伴随着集成化光电探测器件和激光技术的广泛运用，凭借其对被测物测量的高速和不接触的特性，干涉测量法也与时俱进，蓬勃发展。目前，较为成熟和广泛运用到的是移相干涉测量技术，其分辨率甚至处于纳米量级

8、，这为我们在测量光学元件表面相关参数，如微观粗糙度、宏观面形检测中提供极大的辅助。而在对光学系统的成像结果的像质检测中，亦有较广的适用性。 在这样一个现代化技术高速发展的时代光干涉技术高精度和高灵敏度的特点决定了其必然得到了广泛应用，但是振动等多方面的因素都饿哦能够以对其造成影响，主要原因在于气流和振动会对条纹抖动和漂移产生干涉效果。这样一来，不单单会使得高精度移向干涉无法进行，并且连简单的干涉计量也无法完成。为了不受振动的影响，实现干涉仪的在线干涉检测，我们要研究一种小型抗振装置，使其可以自动探测振动所引起的干涉条纹的移动量，它可以被实施，以补偿由于振动的变化，现有技术的相移干涉仪已被组合以

9、形成干涉仪光程差的移位自适应振动相位，1。 压电陶瓷广泛用于微位移驱动领域，因其具有一种特性-电致伸缩（在一定电压下可产生一亚微米级的微小位移量）。在相移干涉，微米驱动设备的位移应该调整压电陶瓷最堆栈的形式的能力，这样便可以达到更大的调节范围。压电陶瓷的主要原理是：驱动执行单元位移的产生需要利用压电陶瓷因逆压电效应而发生的形变，10 ，它是干涉仪移相器的核心。根据所施加的电场具有扩张和不发生的压电陶瓷的收缩变形的压电或电致伸缩效应产生相反的效果。施加电压时，压电陶瓷相当于一个平行板电容器，因此，驱动压电陶瓷电容负载的功率，功率输出通常是达几微米的法。压电陶瓷的位移测量技术在纳米级精度的新时代。

10、然而，任何使用微移位器控制，极大的推动力及其对压电陶瓷微位移效应的力量是没有驱动，我们可以说完全依赖于微位移驱动电源的动态性能。因此，压电陶瓷技术已经成为压电陶瓷的关键技术应用的驱动力。24-813。1004520213 于淑楠 本科毕业设计说明书（论文） 1.2 本论文的主要工作查阅压电陶瓷微位移器及驱动电源方面的相关文献资料。由于压电陶瓷材料整体的理论分析的功能，以及结构和压电陶瓷堆的性能等多种参数。设计PZT驱动电源的硬件电路，使系统样机满足：控制电压为05V，输出电压为0200V；精度要求10mV。对PZT驱动电源进行线性测试、纹波测试、频响测试和重复性测试，并且对结果进行分析。2 研

11、究进展2.1 自适应抗振干涉技术的发展16242.1.1 自适应抗振干涉技术的种类 干预和振动的环境中，如何解决这个问题，这一直困扰着这个国家的显著影响干涉测量。不仅为使用干涉仪有一个非常恶劣的环境，甚至构建高精度光学减震底座或平台一个很大的缓冲，以减少振动由于干涉效应。另一种方法来解决这个问题，是改善环境振动自身的抗振能力强。提高其振动以两种不同方式的能力：一个是在震动和空气流和对所采取的措施等影响的存在：干涉仪，从而使振动测量干涉仪，以减少尽可能。在开环模式中，气流它的特点是被动振动干预系统和减少环境对通过多种技术产生的振动的干涉测量的影响。另一种方法是将具有干扰检测系统，该空气流可以被补

12、偿和环境因素引起，例如在空气流的干涉仪光路的变化和振动抵消的相关影响的振动的能力。其特点是由一闭环的方式进行工作，该系统影响环境的适应能力的空气流动和振动的结果。在该干涉仪的振动的方法是最有效的技术用于自适应振动。从1990年到现在，日本，美国，中国和其他国家，研究人员报告说，他们已经开发出自适应振动的方法。这种方法可以是一个真正可持续的干涉条纹，有广泛的关注和重视，它在光学干涉领域的新课题，也称为国际上的研究。现在的自适应脉冲技术的类型显示在下面的途径。机电反馈式补偿控制法：振动检测器包括一个光电二极管的是甄氏梳结构中，干涉条纹的空间周期，并调整梳到相同的空间的检测器可以检测由振动引起（变化

13、引起的光路振动）的光强干涉条纹的变化。然后开始微控制器或DSP信号处理，控制功率输出驱动压电陶瓷，压电陶瓷驱动的参考镜，改变实际支付到可持续的水平之间的光程差。该方法的优势在于其简单性，它可以被直接应用在泰曼斐索型的干涉仪中。是一种对机械进行原状恢复的，补偿仅适用于低频振荡（ 100Hz的或更少）。半导体激光器光反馈法：它有一个可调节的固定频率，单模输出，低功耗，低成本，结构紧凑，很好的源程序干涉。在LD温度调制，调制电流，光调制和磁场调制方式的压力调制器，半导体的带隙，改变调制的激光束的输出频率的频率调制的基本原理。由于调制是相对容易的，监控通过将LD注入到电流进行特性的调制。主要决定因素是

14、电流调制频率中所产生的电平，LD的光频率特征大体分为以下两种：频率输出位10兆赫兹的时候，温度引起的光频率偏移的主要因素，通过光带调制电流输出频率胡产生一个线性的变化。当其频率高于10兆赫兹的时候，引起输出的光频偏移的主要原因是载流子效应的作用，目前已经不再存在线性关系。自适应光学干涉仪的反馈是应用了LD光频率发出的信号进行的，由调制器所生成的注入电流对相位的大小进行控制，并达到最终减小至0的目的，不增加其它元件的光路，可直接调制的输出频率，和快速的频率响应。其缺点是，在半导体激光器的输出波长可受温度影响。晶体调制器（偏振光干涉）：横向电连接调制器中，折射率的变化是正比于电场强度E和通信晶体。

15、在折射率的变化将导致在光的相移。高电压电场的布喇格声光晶体与入射激光衍射效应的作用可以改变所造成的光的波长的相位变化的频率。电，光，声光晶体调制算法复杂得多，其中双循环发动机的振动频率相移会影响测试系统的上限。我们还需要增加驱动动力源和调制器的晶体，是在光路的偏振态之间的电连接。2.1.2 国内外研究情况空间探测器法16这种移相干涉仪是主动抗振式的，其中探测器是专门设计的，可以实时探测由环境振动和气流等因素引起的干涉条纹的偏移，这个偏移是压电型的压电陶瓷的分辨率，实时振动补偿的膨胀和收缩的反馈电路来计算。光电二极管检测器阵列布置在梳他的图像检测器的输出电压正比于干涉条纹的偏移量。这种方法基本上

16、是相同的条纹间隔，每个光电二极管检测器的空间要求，否则会影响干涉仪的振动的精度。光波频率调制法20、21这种方法是基于使用声光调制器（AOM）来实现光波频率，振动的影响有源补偿的高频调制的，但也实现干涉相移补偿由声光调制器的原理。气流和振动由于干涉仪的自适应补偿之间的光程差的光程的变化实现，该方法用于检测表面误差望远镜主镜。因为衍射光的变化的测试相关联的AOM无线电频率变化的强度有关此必须校正，所以它是一个复杂的系统。调节光的强度的这种方法减小之间的两个连续减小的光程差，所以这种方法只适用于长的光程差。因为高频的频率和调制的光，测量中出现的下降，较低的信号给CCD的噪声比光路中的干涉条纹的对比

17、度。机械式位相调制法22此方法是基于光相位锁定和高频干扰的相位调制方法的技术。具有高频率的相位调制的，并且光检测器对频率点的输出信号的PZT光束干涉，过滤，添加，移动，平等对待，信号处理电路是由一个阀，放大器，放大器模块的输入端获得的，输出的反馈信号来控制压电的膨胀和收缩实现闭环系统，使得在任何位置的干涉条纹，能够实现移干涉。然而，这种方法使用相位调制的PZT的技术是机械的，调制频率不高;还小的调制深度，光电检测器噪声的信号为低，冲击的准确性;导管和用于相位调制的高频条纹对比度下降会降低CCD信号的噪声。高频光强调制与锁相技术相结合的方法23、242.1.3 这个自适应系统是基于一个相移干涉测

18、量技术和高频锁相光强度和相移干涉测量，是一个闭环系统，的限制，自由的，那么就可以在引起环境的变化实时地驱动振动检测出的尺寸之间的光程差。并应在同一个舞台干涉进行补偿，调节干涉条纹的对比度得到更好的视觉效果和信噪比。2.1.4 本课题采用的研究手段在一个全面的分析之后，考虑到低频振荡的影响小于100Hz的干涉，对的PZT相移成熟的技术和硬件技术，系统和自适应移相干涉仪振动频率的振动效果的需求的复杂性决定了反机电振动反馈的方法。相位的基本原理之间的位移间隔的两个连续光相移干涉仪进行光程差的干涉测量技术。在这样的过程中，光检测器是通过改变光的强度进行采样的干涉，光强，然后提出了一系列的存储量化后，到

19、该计算机上通过，计算机的波前在工件的表面特征的数学模型和表面波凹凸分析的相位分布：该干涉仪的相移，该相移器与压电陶瓷（PZT）的结构，使用锆钛酸铅压电陶瓷。光学测量，环境振动，气流等，EDGE理论位置偏移量和偏移量是不确定的干扰测量结果，有相当大的测量误差，而不是正常的测量。以补偿由振动引起的误差，采用高灵敏度光检测器，用于检测干涉条纹的光强度。上述干涉条纹的光强度的变化，由于电压变化的光检测器的输出电压之间的振动抵消被放大，滤波并经过A / D转换操作转换成数字信号处理器和校正量的D / A转换器和驱动电路，放大和控制驱动压电微位移来改变压电陶瓷的扩大和收缩的大小，从而使后部凸缘的理论位置。

20、系统框图如2.1所示： 图2.1 机电反馈式自适应干涉仪的系统框图本文的主要任务是研究应用于此机电反馈式自适应干涉仪的PZT驱动电源，并且研究其特性和技术指标。2.2 压电陶瓷驱动电源的研究现状及进展2.2.1 对压电陶瓷驱动器的控制方法2、3、12PZT驱动电源主要分为电荷型和电压型，从实现方式上主要有线性和开关式。PZT充电使用的压电陶瓷的位移之间的线性关系形成功率控制工程是一个免费的，开环控制，线性度好，承载能力强，频率，但也存在不少问题，如在低频率稳定性差，收费不漏，输出饱和电压，零位移难以控制等。电压控制型压电陶瓷驱动电源适用于静态环境，在动态环境时输出幅值会随着频率的升高而有明显衰

21、减，限制了它在动态环境下的带载能力。驱动电压控制型电源有两种基本形式：一种是基于一个DC-DC转换器，开关电源，其高效率，低功耗，小尺寸，但高功率输出的原理纹波频率范围较窄，其它直流输入功率放大其特点是由一宽的频率范围。2.2.2 国内外研究情况压电陶瓷驱动电源的研究一直被各国学者广泛关注，目前，已有需多学者研制出应用于各个方面的驱动电源，如：基于PA85的新型压电陶瓷驱动电源3：该电陶瓷微位移驱动器的原理是：压电陶瓷在电场作用下发生形变，驱动元件发生微位移。它的优点是体积小、响应快、分辨率高、推力大，广泛应用于纳米技术、精密测量、微细加工、等领域。其输出电压稳定、分辨率高、动态性能好、静态纹

22、波低、电路结构简单，同时具有过压、过流、短路保护等功能，有很高的实用价值。低波纹度快速响应压电陶瓷驱动电源4：采用扩展方法和直接调节电源，具有响应速度快，输出精度高，小的波动，稳定，驱动能力强，结构简单、实用、成本低廉等优点。基于ARM的高分辨率压电陶瓷驱动电源5：其原理是直流放大，具有电路噪声低、分辨率高等特点，同时带宽可达100 kHz。该驱动电源可以应用于纳米级系统，因为性价比高、结构简单，所以有很高的实用价值。基予PA78的压电陶瓷驱动电源6：输出电压稳定，0200V连续可调，线性度好、动态性好和可靠性高。新型高动态大功率桥式压电陶瓷驱动电源12：该输出为桥式输出，电源输出功率、转换速

23、率增加一倍，输出带宽可达10 kHz。控制部分采用直接数字频率合成技术，实现三角、正弦、锯齿和方波的输出。基于FPGA的压电陶瓷驱动电源13：输出的电阻小、负载能力大、电路结构简单、可靠并且响应速度快。等等。3 相关部件的研究与选择3.1 压电陶瓷移相器的特性3.1.1 移相器的特点、应用 24压电陶瓷微位移驱动器（PZT）是高精度微位移器件，由压电陶瓷堆叠而成，位移量的实现可达到微米级别。它使用的压电陶瓷材料的逆压电效应，从而增加了电场方向，产生了位移，能够产生微机电位移传感器。因为它的高灵敏度微位移，高精度，容易自动控制，响应快等由于光学、计量、微电子技术被广泛应用于等领域的高精度定位。在

24、干涉光逆压电效应，因为相移控制器，所述光学元件被连接到该系统可以生成相应的空间位移。3.1.2 压电陶瓷材料的分类与选择25、26压电陶瓷材料大体可以分为以下两种：硬压电陶瓷材和软压电陶瓷两种压电陶瓷两种。而硬压电陶瓷的居里温度非常高，不容易去极化和极化，同时拥有很好的线性度以及低滞性。相反，软压电陶瓷的居里温度却是很低的，强电场的极化和去极化，可以进行在室温下，大的压电常数，可产生较大的位移，但线性差，迟滞性，介电常数和损耗因子，由于其高限频率。鉴于此在实验中往往选择硬压电陶瓷材料（锆钛酸铅材料），由30片20mm压电振子黏结而成的。3.2 压电陶瓷堆结构在诸多的应用之中，如果单压片陶瓷无法

25、满足作业要求，并要求控制较大的位移，就必须要考虑与多压片陶瓷联级使用，以提高产品的位移量，这样的的压电陶瓷片的多样性：压电应变系数的压电材料通常是非常小的，大约（300700）×10-12M / V，即使1000V的附加电压，该电压只有0.30.7微米。实际应用中，这需要两个移位器输出的位移，以及在载荷下，特别是在低频率范围内，输出位移是一项非常重要的参数。因为这样单压片元器件的厚度会在改进之后失真减少，但由于该方法的限制，减少位移厚度的量，以满足上部压电电压工作的要求。为了增加位移输出，我们选择的材料的压电系数，使用层叠型压电陶瓷的电连接并联、串联这两种机械设计概念，让压电陶瓷堆在

26、各个压电陶瓷片出现的位移中可以做到叠加的方式输出。结构图如下图所示。图3.1 压电陶瓷堆结构压电陶瓷堆是由多层相同的压电陶瓷片所构成的，每两片之间都装有用来给各压电陶瓷片施加驱动电压的导电片。这样的设计就可以形成压电陶瓷堆的层叠结构，在力学上串联电路上并联的各个压电陶瓷片上的驱动电压都相同。4 PZT驱动电源设计思想4.1 设计思想为了制作满足自适应干涉仪的实验要求（最高频率200HZ）的压电陶瓷微位移驱动电源，有如下设计思路：1、选择变压器：在实验中，当PZT的信号频率为1KHz的时候，阻抗为。如果PZT的工作电压为200V，信号频率为1KHz，则功率为，所以我们选择功率为50W的变压器。2

27、、选择电源输出：考虑到PZT的容性，为了解决容性器件充放电对输出电压的影响，我们选择功率推挽输出作为电源的输出。3、由于PZT为电容性的，所以在实验中，PZT正常使用时，驱动电压的变化范围为0V+200V，当工作频率变高时，负载电流也随之变大。所以应用具有较大功率余量的高压直流稳压电源作为功率驱动电路的供电电源。如果选择一种类型的0V左右，饱和失真行驶时驱动电源电路中，输出电压。如果选择对称电源型驱动电路，输出电压变化为0V+200 V，而不能取负高压电源的优势，这是一种资源的浪费。因此，设计是不对称的驱动功率。直流供电模块和高压放大模块是电路的两大主要组成部分。后面将详细阐述两部分模块的电路

28、结构和工作原理。5 各部分原理及结构5.1 直流供电模块直流供电模块如图5.1所示，其直流高压电源可高达225伏，并搭配了-12伏的直流电源。1.对于225伏的高压直流电源，其输出隔离变压为220V交流电源通过检测器，过滤器，然后经过一系列的法规，就可以得到225伏直流高压电源。也可以由50W的开关电源提供。2、-12V的直流电源：-12V的直流电源则是由低压变压器和三端稳压电路7912得到。3、型滤波器是由两个电容器和一个电感器组成，它的输入和输出都呈低阻抗。为了尽可能多地降低波纹系数，两个电源在输出时都必须经过型滤波器进行滤波工作，型滤波器由C-L-C构成。图5.1 PZT驱动电源的稳压电

29、路5.2 高压功放大模块高压功放电路如图5.2所示。采用单电源供电的驱动电路在电源输出电压近似等于0伏的时候，就会出现饱和失真的现象。采用对称电源供电的驱动电路，则负高压电源无法被充分利用，会浪费资源。所以设计一个非对称式驱动电源，非对称供电是由-12伏直流电源和+225伏高压直流电源共同完成。1、 Q101和Q102共同组成差放电路，为了其对称性得到保证就要求两只管子在参数要求上必须保持一致。必须在50上下波动，Vceo则要求高于300伏。2、输入端接地的静态电路中，通过调节RP1电位计使电压输出值为0 。3、恒流源电流必须控制在2.5MA，其组成部分包括Q105和R109等。4、电压平移由

30、D101、D102、 D105三者共同实现。5、电压放大功能由Q104来完成。6、输出功率允许的变化范围为Q106109，而最大不失真电压的输出范围则必须是-7伏+220伏。7、R107和R104是负电压反馈网络电阻的深度和适当选择，使得AV =（R104+ R107）/ R104= 40，那么，当输入信号是在05 V，输出将取值范围为0200 V。两个电阻的电气特性将决定驱动器的电源感兴趣的稳定性，因此选择的1的精度，温度漂移小于50PPM精密电阻。8、高频去耦电容为C102和C103两种，参数设置为100pF/500V是为了防止功率放大器在相对较高的频率环境中发生自激。图5.2 PZT驱动

31、电源的功率放大电路6 实验数据及分析6.1 线性测试控制电压的范围为0伏到5伏，输出电压的范围为0伏到200伏，具有40倍的放大倍数。线性度的误差率低于0.2%，实际的电源测试结果如图6.1所示。图6.1 驱动电源电压传输特性曲线6.2 纹波测试在电源的输入端加直流电压，控制在05V之间，则输出电压也为直流，使用示波器交流档，检测电源输出端的纹波。纹波输出显示如图6.2所示。输出波纹结果显示中可得知纹波电压。图6.2 驱动电源纹波电压曲线6.3 频响测试本次设计选用的驱动电源，输出200伏左右电压为时，频率响应可达1.5KHz。输出100伏左右电压时，频率响应最高可以达到6.5 KHz 。当电

32、压输出幅度在50伏上限波动时，频率响应可达到10 KHz 以上。测试结果如图6.3（a）、（b）所示。(a) 频率为1KHz、输出电压幅度200V时的情况(b) 不同输出幅度时的频率响应图3.16 驱动电源带负载条件下的频响特性曲线1.16.4 重复性测试频率为1kHz，输出电压为200V，有负载。测试结果如图6.4所示。图6.4 驱动电源重性测试（1KHz频率）6.5 测试数据输入输出纹波电压（ mV）温漂（ mV）电压（V）电压（V）电流（mA）Vp-pVp-p00.011225±25±10139.98225279.842253119.862254159.6822551

33、99.68225注：温漂：由温度变化所引起的半导体器件参数的变化7 结论7.1 本文所做的工作查阅了许多有关压电陶瓷位移和驱动电源方面的介绍文献资料。以压电陶瓷材料作为基础，从理论上对单片压电陶瓷进行特性分析和其结构等多项参数。设计PZT驱动电源的硬件电路，使系统样机满足：控制电压为05V，输出电压为0200V；精度要求10mV。对PZT进行阻抗测试，并且根据PZT的性质制作PZT驱动电源。7.2 本文小结本文所设计的压电陶瓷驱动电源，在经过线性测试、纹波测试、频率响应测试、重复性测试一系列性能测试后，可以看出，其线性度相比一般电源，具有很大的优越性，同时在频响、重复性等方面都体现出来它的优势

34、，最值得一提的是它的频响能够完全满足抗振干涉仪的相关要求由于本文设计的电源的负载为压电陶瓷，压电陶瓷的阻抗与频率成反比，会随着频率的增加而急剧下降，所以需要使用大功率电源。本文选用50W的变压器，在带有负载或200V满幅度输出的时候，使用频率不能超过1500HZ。本次设计也存在一定得缺陷，主要是输出电路部分没有加设进行短路保护的电路，因此在使用设计过程中应该要引起注意，特别在输出高电压的情况下更要注意安全。致谢此时此刻，我的心情十分激动。从资料的收集、电路的设计到最后论文的撰写编排，这整个过程中，我得到了许多的帮助。首先要感谢国家这四年来对我的培养，还要感谢我的导师乌兰图雅老师，乌兰图雅老师平

35、易近人，治学严谨，对学生的要求十分严格，认真负责，老师在百忙之中抽出时间耐心的为每位学生指导工作。在论文从开题到完成过程中不厌其烦地对我进行指导，逐步拓展我的思维，纠正我的错误，在设计过程中给予了我很多好的建议，作我的设计方向向导，在老师帮助下最后完成了压电陶瓷微位移驱动电源的制作。同时，乌兰图雅老师渊博的学识、严谨的治学态度也令我十分敬佩，是我以后学习和工作的榜样。在此，谨向导师乌兰图雅老师致以崇高的敬意和衷心的感谢。同时，我还要感谢我的父母以及所有关心和支持我的朋友们，是他们为我的学习和生活创造了良好的条件，是他们的帮助让我可以安心学习，克服学生和生活中的种种困难，勇往直前。由于本人水平有

36、限，论文如有疏漏之处还望各位老师多多指正。最后感谢所有审阅本文的专家和读者！参考文献1 乌兰图雅. 移相器在自适应抗振干涉仪中的应用J.2003年.2 杨雪锋,李威,王禹桥. 压电陶瓷驱动电源的研究现状及进展J.仪表技术与传感器,2008,(11):109-112. 3 李福良. 基于PA85的新型压电陶瓷驱动电源J.压电与声光,2005,27(4):392-394.4 周亮,姚英学,张宏志. 低波纹度快速响应压电陶瓷驱动电源的研制J.压电与声光,2000,22(4):237-239.5 葛川,李朋志,章明朝,闫丰. 基于ARM的高分辨率压电陶瓷驱动电源J.现代电子技术,2013,36(14)

37、:166-170.6 张振鹏,张剑,赵洪,于效宇. 基于PA78的快速响应压电陶瓷驱动电源的研制J.压电与声光,2007,29(4):420-422.7 王广林. 一种低耐压器件实现的压电陶瓷驱动电源J.压电与声光,1998,20(1):38-40.8 冯晓光,赵万生,粟岩,等. 减小压电陶瓷驱动电源纹波的一种有效方法J.哈尔滨工业大学学报,1997,29(5):108-111.9 罗红娥,田小建,高博,等. 压电陶瓷驱动电源对不规则信号动态响应研究J.压电与声光,2007,29(2):185-189.10 山东大学压电铁电物理教研室. 压电陶瓷及其应用(第三版).济南:山东人民出版社,1974年.11 陈立国,荣伟彬,汝长海,等. 基于电流控制的压电陶瓷驱动电源及其试验研究J.机械工程学报,2006,42(3):179-183.12 陈翔宇,褚祥诚,李龙土