《薄膜原理与技术》

1、薄膜原理与技术课程编号：OPT04038课程名称：薄膜原理与技术学分：1.5 学时:24 先修课程：物理光学、应用光学一、目的与任务本课程是一门专业技术基础课，适合于光学各专业。本课程的目的是通过光学薄膜原理与技术的学习，培养学生薄膜系统的计算、设计能力，了解薄膜系统的制备技术。本课程的任务是（1）光学薄膜特性计算，包括光学薄膜的设计理论以及膜系的普遍定理；（2）常用光学薄膜器件，如反射镜、分光镜、截止滤光片和带通滤光片；（3）薄膜制备技术，包括制备薄膜设备、材料、方法与监控；（4）薄膜材料及性质，包括薄膜的光学性质测量、力学性质检测等。（5）介绍薄膜技术领域中的一些前沿研究课题。学生通过这门

2、课的学习应该熟悉薄膜原理、特性、制备与检测以及薄膜领域的最新进展。二、教学内容及学时分配（24学时）第一章 光学薄膜特性的理论计算（6学时）1. 单色平面电磁波2. 平面电磁波在单一界面的反射和折射3. 光学薄膜特性的理论计算第二章 光学薄膜的设计理论（2学时）1.矢量作图法2.有效界面法3.对称膜系的等效层第三章 光学薄膜系统的设计（8学时）1.减反射膜2.高反射膜性3.分束镜4.干涉截止滤光片5.带通滤光片6薄膜设计软件使用（Filmaster）第四章 薄膜制备技术（4学时）1.真空淀积工艺2.光学薄膜材料3.薄膜厚度监控技术4.膜层厚度的均匀性第五章 制备条件对薄膜微观结构和成分的影响（

3、4学时）1.薄膜的形成过程2.薄膜的微观结构3.薄膜成分4.微观结构和成分对薄膜特性的影响三、考核与成绩评定考核： 大作业。成绩评定：大作业占70%，平时作业及日常考核质疑等占30%，按百分制给出最终成绩。四、大纲说明1. 本大纲是根据我校电子科学与技术（光电子）、光电信息科学与工程、光电信息工程专业培养计划及其知识结构要求，并适当考虑专业特色而制定的。2. 在保证基本教学要求的前提下，教师可以根据实际情况，对内容进行适当的调整和删节。3. 本大纲适合光电类相关专业。五、教材、参考书选用教材： 唐晋发 顾培夫 刘旭.现代光学薄膜技术M.浙江大学出版社,2006.参考书：1 卢进军 刘卫国.光学

4、薄膜技术M.西安工大学出版社，2005.2 唐晋发 顾培夫 刘旭.现代光学薄膜技术M.浙江大学出版社,2006.3 林永昌 卢维强. 光学薄膜原理M.国防工业出版社,1990. 编写教师： 蒋玉蓉责任教授签字：教学院长签字：英文课程介绍Modern Optical Thin Film TechnologyCourse Code: OPT04038Course Name: Modern Optical Thin Film TechnologyClass Hour: 24Credit: 1.5Course Description: The objective of this course is t

5、o familiarize students with theoretical design and fabrication techniques of optical thin film. Students will be able to design appropriate thin film structures for different demands and choose appropriate fabrication methods according to material characteristic. The main contents of the course are

6、as follows: 1. Theoretical calculation of optical thin film; 2. Design theory of optical thin film ; 3. Systemic design of optical thin film; 4. Fabrication techniques of optical thin film; 5. Microstructure and component of optical thin film. If time permits, I will give a brief introduction to the measurement technique of optical thin film, such as optical constant measurement. Application and progress of modern optical thin film will be covered. One of the goals of the cou