电子行业水处理--消毒篇ppt课件

1、现行规范 美国半导体工业用纯水目的美国半导体工业用纯水目的 项 目级 级 级 级 TOC，mg/L0.020.050.100.40颗粒，粒/L500100025005000电阻率Mcm 18.3 17.917.517.0细菌数，个100mL061050 我国电子工业部高纯水水质试行规范我国电子工业部高纯水水质试行规范 阐明：一级高纯水适用于大规模集成电路，阐明：一级高纯水适用于大规模集成电路，微波器微波器 件以及有一样要求到半导体器件产件以及有一样要求到半导体器件产品。品。二级高纯水适用于普通电路，分立器二级高纯水适用于普通电路，分立器件以及件以及 有一样要求的半导体器件产品。有一样要求的半导

2、体器件产品。本表按本表按19801980年电子工业部规范摘录。年电子工业部规范摘录。 水质项目一级高纯水指标 二级高纯水指标 细菌总数，个/mL39微粒（直径0.5m，粒/mL）150300电阻率（25）Mcm 15 10电导率，s/cm 0.050.1有机物（以COD计） 0.3 0.5 高纯水设备 高纯水水处置技术的开展史：第一阶段：预处置阳床阴床混合床第二阶段：预处置反浸透混合床第三阶段：预处置反浸透EDI安装反浸透RO技术是一种利用膜分别去除水中离子的方法，虽然反浸透系统将水中95%-98%的离子去除，但还不能满足工业消费的要求，其后续工艺必需运用离子交换设备。近几十年以来，混合床离子

3、交换技术不断作为纯水制备的规范工艺。由于其需求周期性的再生且再生过程中运用大量的化学药品酸碱和纯水，因此已很难满足于无酸碱纯水系统。正由于传统的离子交换曾经越来越无法满足现代工业和环保的需求，于是将膜和树脂结合EDI技术成为水处置技术的一场革命。其离子交换树脂的的再生运用的是电，而不再需求酸碱，因此更满足于当今世界的环保要求。自从1986年EDI 技术工业化以来，全世界已安装了近2000套EDI 系统，尤其在制药、半导体、电力和外表冲洗等工业中得到了大力的开展，同时在废水处置、饮料及微生物等领域也得到广泛运用。EDI 安装是运用在反浸透系统之后，取代离子交换树脂，具有水质稳定、运转费用低、操作

4、管理方便、占地面积小等优点。 典型工艺流程(水质符合美国ASTM规范，电子部超纯水水质规范18M*cm，15M*cm，2M*cm和0.5M*cm四级预处置反浸透 水箱阳床阴床混合床纯化水箱纯水泵紫外线杀菌器精制混床精细过滤器用水对象 预处置一级反浸透加药机PH调理中间水箱第二级反浸透正电荷反渗膜纯化水箱纯水泵紫外线杀菌器0.2或0.5m精细过滤器用水对象 预处置反浸透中间水箱水泵EDI安装纯化水箱纯水泵紫外线杀菌器0.2或0.5m精细过滤器用水对象 预处置反浸透中间水箱水泵EDI安装纯化水箱纯水泵紫外线杀菌器精制混床0.2或0.5m精细过滤器用水对象 运用场所 半导体资料、器件、印刷电路板和集

5、成电路； 超纯资料和超纯化学试剂； 实验室和中试车间 汽车、家电外表抛光处置； 其他高科技精微产品。 实验室用高纯水机 适用范围 分析试剂及药品配置稀释用水 微生物、生物发酵培育用水 生物工程培育基用水 总有机碳TOC分析用水 微电子行业各种部件的清洗用水 医用注射用水 生理、病理、毒理学实验用 原子发射、吸收光谱用水 各种高效液相色谱、离子色 PCR运用及分析用水 精细电镀用水 大专院校、工矿企业实验室实验用水 生物学、电化学及介面研讨用水 动、植物细胞培育用水 有机物分析用水 高精细光学镜片冲洗用水 各种医疗用生化仪、 分析仪用水 医学制剂用水 试管婴儿用水 环境、环保实验分析用水 谱、气

6、候色谱用水 高分子实验用水 胶片冲洗用水工业用高纯水设备 反浸透+离子交换器组成的高纯水系统 典型的工艺流程 原水加压泵多介质过滤器活性炭过滤器软水器保安过滤器一级或二级反浸透机阳离子交换器阴离子交换器混床离子交换器不锈钢储水罐纯水加压泵紫外线杀菌器精细过滤器用水点 反浸透+EDI安装组成的高纯水系统 工艺流程 自来水加压泵多介质过滤器活性炭过滤器软水器保安过滤器二级反浸透机1m3不锈钢储水罐纯水加压泵EDI安装不锈钢储水罐纯水保送泵紫外线杀菌器精细过滤器用水点 YRRO-ET系列电子超纯水设备 功能 脱盐率高，运转压力低的进口超低卷式复合反浸透膜，产水水质优良，运转本钱低廉，运用寿命长。高效率，低噪音，质量优越的进口高压泵，减少能耗，降低运转噪声。进口在线原水及产品水电导仪，PH表可随时监测水质情况。进口在线产品水，浓水流量计可随时监测产品水量及系统回收率