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1、激发频率对硅烷等离子体放电参数激发频率对硅烷等离子体放电参数的影响的影响 庄娟庄娟 王德真王德真大连理工大学大连理工大学物理与光电工程学院物理与光电工程学院三束材料改性国家重点实验室三束材料改性国家重点实验室 第十三届全国等离子体科学技术会议第十三届全国等离子体科学技术会议 RHF-PECVD理论模型的建立理论模型的建立 一维自洽流体模型一维自洽流体模型 利用有限差分方法，对各种粒子的连续性利用有限差分方法，对各种粒子的连续性方程、动量方程和电流平衡方程进行联立方程、动量方程和电流平衡方程进行联立求解求解 电子密度、离子密度的时空演化电子密度、离子密度的时空演化粒子的连续性方程粒子的连续性方程

2、eedeatteieennnxjtniidireceiiinnnknxjtnnnnknxjtndireceattnj,ie是粒子 的密度和流密度 和相应于电子、正离子和负离子粒子的动量方程粒子的动量方程EnxnDjeeeeeEnxnDjiiiiiEnxnDjddeiZnnnnjjjei),(),(),(),(txjtxjtxjetxieic)(),(0tVdxtxEad)(),(1)(0ttVdxtxidtiadcT0 x0), 0(tVddx )(),(tVtdVad边界条件：初始条件：39101)0 ,()0 ,(),(cmxnxnoxnie0), 0(), 0(), 0(tntntnie

3、，0), 0(), 0(), 0(tntntnie)(),(),(titxittxETc电流连续性方程电流连续性方程负离子密度随频率变化负离子密度随频率变化尘粒种子SiH3-的密度随频率增加而增加，纳米尘粒密度增加。沉积速率提高 电子密度随频率变化电子密度随频率变化频率增加,等离子体中电子密度增加，电子与硅烷气体分子碰撞频率增加, SiH3-和SiH3 数量增加,沉积速率相应增加 。正离子密度随频率变化正离子密度随频率变化正离子有比较高的速度，被加速离开等离子体，这些粒子的快速失去，避免它们在鞘层中进一步生长成大粒子。有利于纳米尘埃粒子的沉积。 电场随频率变化电场随频率变化频率增加电场强度降低。氢原子和离子能量降低,对薄膜表面的轰击作用 减少，有利薄膜生长。f=50MHzf=13.56MHzf=28MHz结结 论论 （1）频率增加，）频率增加，SiH3-密度增加密度增加 （2）频率增加）频率增加,电子密度和电子密度和SiH3密度增加密度增加 （3）频率增加）频率增加,电场强度降低电场强度降低 （4）控制

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