德国ALD炉清洗方案

1、德国ALD公司生产SCU40C®多品炉化学清洗北京奥森特化工有限公司2008-12-7、概述.、德国ALD公司SCU40悭多晶炉内外冷却循环水系统化学清洗1、循环水系统清洗的范围2、清洗药剂的选择3、化学清洗步骤4、清洗药剂成本、概述：设备情况据厂家介绍，为德国ALD公司生产多晶硅铸锭炉。冷却水内循环系统，分为内循环和外循环两种。内循环是夹层式换热器，构成材质为不锈钢、碳钢和少量的铜零部件，配电冷却水系统为紫铜管材质，总水容积为约0.5m3左右，内循环冷却水系统设备内部因氧腐蚀而产生了大量的锈蚀产物。希望利用化学方法在保证设备金属基体不受损伤的情况下，清除锈蚀产物恢复金属清洁表面。厂

2、家介绍冷却水系统的情况如下：1。供水主管道是不锈钢材质，由阳光供应。现在已经清理完毕；2。设备内部通冷却水的通道有：2。1不锈钢材质，管内径从8-10到100毫米不等；2。2紫铜材质，内径约从10到20毫米不等；2。3橡胶材质，多为通冷却水的胶管，内径约为10-20毫米；2。4碳钢，是炉壁材料。炉子内壁为不锈钢，外壁为碳钢。3。初始的冷却水（要求的冷却水）为PH=7.5-8.5的纯水。可以提供变质后的水质分析报告；4。冷却水的工作压力是6公斤；5。正常工作时冷却水用量是200L/min.本公司建议采用由奥地利比姆博士有限公司的先进药剂“克垢之星一6号D3.2药剂”，对上述设备进行化学除锈清洗工

3、作，采用“特灵中性一1号药剂”对上述设备进行化学钝化处理。要使工业冷却水形成正常的循环系统，需要采取两项关键的处理措施：一是使升温的冷却水降低到可回用的温度，以保持较好的冷却效果，此过程称为循环水的冷却;二是使循环水质保持稳定，防止换热设备与管路结垢和腐蚀。虽然冷却水在每次使用后的物理性状变化很小，但长期循环使用后，会因水中某些溶解物浓缩或散失，尘土积累，微生物滋生等原因，造成设备内垢物沉积或金属设备表面腐蚀。为防止循环冷却水回用系统中垢物沉积或设备腐蚀而对冷却水进行处理的过程称为循环水处理。对于新安装的设备，具冷却水系统中的设备，在加工运输储存期间会发生腐蚀，带入切削油，防锈油，在安装过程中

4、，可能会留下碎屑油类泥沙或其他杂质。因此在投产之前，冷却水系统也应该进行化学除垢清洗。只用清水冲洗系统无法达到最佳换热效果。还会增快垢的生长。循环水系统存在的垢质，腐蚀（氧化铁氧化铜等）及切削油防锈油微生物繁殖会给设备运行带来严重危害。对于运转多年的设备，由于产生了垢质，对设备还会造成垢下腐蚀最终减少了设备的使用寿命。结垢对水系统设备造成的严重危害：1:降低换热效率。2:循环水量减少。3:降低了水处理药剂的使用效果。4:加速腐蚀。5:减少了设备的使用寿命。6:增加了运行成本二、多晶炉炉内（封闭）外（敞开）领冷却循环水系统化学清洗：1 、循环水系统清洗的范围冷却水系统的清洗主要消除冷却塔，冷却水

5、管道内壁，板式换热表面，铜管换热器，炉壁水道等的污垢，水垢，生物粘泥，腐蚀产物等沉积物。2 、化学清洗药剂的选择化学清洗是采用一种或几种化学药剂（或其水溶液）消除设备工艺面或水侧面污垢的方法。它是借助清洗剂对物体表面污染物或覆盖层进行化学转化溶解剥离以达到脱脂除锈和水垢的效果。首先要确定垢质的种类。垢质包括碳酸盐垢，硫酸盐垢，硅酸盐垢，氧化铁垢，氧化铜垢等。垢质确定后第二步确定循环水系统设备的材质或被清洗设备的材质。在以上两方面情况确定后就可以对药剂进行选择了。敞开式外循环水系统本公司建议采用由奥地利比姆博士有限公司的先进药剂“克垢之星一1号药剂”，对上述设备进行化学除锈清洗工作，采用“特灵中

6、性一1号药剂”对上述设备进行化学钝化处理。3、化学清洗步骤停机清洗是对真空工业炉内循环封闭式纯净水冷却水系统的清洗。因被清洗设备温度过高，所以必须进行停机清洗，否则将对被清洗设备造成酸碱腐蚀。如果是新安装的设备，应进行设备运转前的内循环冷却水系统清洗。加入克垢之星6号D3.2清洗剂进行除锈除氧化物。如果冷却水系统中油脂过多，还要进行除油脂工作。步骤为：除油脂-酸洗-中和钝化-预膜。除油脂使用克垢之星8号943,当设备运行使用多年，就要进行除水垢及其他污垢，要加大工业清洗剂的使用量。用量以垢量多少而决定。正常运转后加入缓蚀阻垢剂，进行水处理。A、停机化学清洗（真空工业炉内封闭式循环水系统）清洗范

7、围：内循环是夹层式换热器，构成材质为不锈钢、碳钢和少量的铜零部件，配电冷却水系统为紫铜管材质在确定了清洗剂的品种型号后，将冷却水系统中的循环水量降到最低量，够运行循环的量即可。一般不停机清洗是在低含量药剂浓度下进行的。药剂浓度外2-3%PH=1。先向冷却水中加入适量的清洗剂（北京奥森特化工有限公司出厂的工业清洗剂已加入了适量的缓蚀剂等其它助剂），可采用分批加入清洗药剂，使清洗液循环工作，温度控制在50摄氏度以下，随时调整酸洗液的添加量。当酸洗药剂加入到水系统中时，操作很危险。应减少加药剂量，多次投入的方法进行。当酸洗工作液浓度不发生变化，PH=1不升高，特别注意的是，内封闭式循环水系统，因炉壁

8、等设备为高温设备，高温下进行酸洗会对基材设备有很大腐蚀。所以必须降温后在进行清。保持循环4-5,小时就可结束酸洗工作，进行排酸液工作。当酸液排出后，注入新水，对系统进行冲洗。当出水口水质pH=6-7时，停止排水，改成循环运行。在循环水中加入我公司生产的特灵中性1号钝化，预膜一次完成药剂，进行预膜处理。加入量为循环水pH=9时就可以了。如果能将水温升到50摄氏度左右更好。如果无条件，可循环预膜3-4小时，也可达到预膜效果。循环预膜后将工作液排出冷却水系统，同时注入新水。当系统水质pH=7时，方可进行正常循环使用。同时加入我公司生产的缓蚀阻垢剂。BALD公司生产多晶硅铸锭炉清洗内循环系统：清洗水箱

9、-清洗泵一换热器入口母管一换热器一换热器出口母管一清洗水箱。当一个清洗循环系统清洗结束后再进行另一个循环系统的清洗工作。C、ALD公司生产多晶硅铸锭炉清洗步骤：清洗步骤：1、水冲洗：利用清水冲洗，将系统内的浮着赃物冲洗掉；并对所连接的临时系统磨压试验。此过程需要半个小时。2、循环清洗：药品加入：参见系统循环示意图。将被清洗系统已经注入的清水放掉约一半。之后，将计算量的克垢之星药剂逐步利用循环泵加入被清洗的系统中。循环清洗：采用下进上出的循环清洗，上端的排出口可作为回水兼具排气作用，此过程需要5-6个小时。化学监测：随时检测排出水水质情况，控制清洗效果。清洗液置换：除锈清洗结束后，向清洗梢内注入

10、清水，回流液回收或经中和处理后排放，以此步骤可用清水将系统内的清洗液置换掉。3、水冲洗：将废清洗悬浊液排净之后继续用水冲至排出水清澈为止，步骤同14、用特灵中性-1号进行中和钝化中和钝化处理。4个小时。5、用特灵中性-1号中和钝化液将清水顶排排出，当系统内全部被钝化液替代以后循环4个小时。清洗结束。清洗方法：6、 连接清洗系统临时管道，使临时系统形成以清洗泵为中心的循环回路。7、 清水冲洗，打压，（水质要求清澈透明，无机械杂质。最好使用纯水。）检查系统正常无泄露。8、 按要求浓度向循环箱加药，并开启某一小回路进药直到排出水见药并达到预定药剂浓度，倒换另一个一小回路进药。9、 依次类推直到全部系

11、统都充满药剂。开始分小系统药剂循环。10、 当排水PH值稳定以后，即可以确认清西2步完成。11、 配制钝化液，进行钝化程序。重复3、4步操作，然后静置4小时。12、 进行水冲洗程序。重复第3步操作，检测排出水接近进水质量。13、 所需主要设备：(1)清洗泵：1台工作压力是2公斤；12.5t/小时(防腐)(2)清洗水箱：1个0.2m3,(3)阀门、连接软管、硬管等。清洗注意：1、 临时系统必须能使药剂通达设备内部各点，使清洗系统能够随时倒换为任意组小循环回路单一循环或冲洗状态，并无短路现象。2、 临时系统所使用的管子，泵等部件的规格必须能够满足清洗所需流量的最低要求。3、 清洗检测要求及时准确，清洗药剂的浓度要求符合规定。4、 每一个清洗步骤进程中都应注意设备死角的排放处理。5、 清洗用药具有一定的腐蚀性，使用过程中要注意安全防护。D、采用主要药剂用药量： 清洗药剂：克垢之星-6号D3.2。用药量为：300公斤 钝化药剂：特灵中性-1号。用药量为：10公斤杀菌灭藻：灭克菌一BTS100公斤E、化学清洗注意事项:1、本品有极强刺激性，切勿溅到皮肤上！溅到皮肤上立即用大量