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文档简介

1、平行平板型光学元件面形的测量平行平板型光学元件面形的测量 目目 录录l研究目的l测量原理l实验l总结一一.研究目的研究目的l平行平板型光学元件（例如平行平板玻璃、晶体薄片）广泛地应用在光通信和光测量领域；l面形偏差、光学均匀性等参数直接影响到系统的精度；l测量平行平板光学元件的面形是保证系统精度的前提。激光干涉仪测量面形中的问题reference planetest sampleFizeauFizeau激光良好的相干性会导致干扰条纹的产生解决方法l涂抹凡士林油Fizeaul不易彻底清洗光学元件l涂覆油脂会影响某些光学材料的表面质量 l变波长干涉仪 (ZYGO VeriFire)BACK解决方法

2、二.测量原理l在泰曼-格林干涉仪上引入短相干光源-钠光test platereference planeCCD钠光 干涉图的处理l测量过程中，采集到的是静态单幅干涉图。l采用虚光栅莫尔条纹法处理单幅干涉图，提取波面信息。 1.加入载频的干涉图( , )cos2( , )I x yabfxx y 虚光栅莫尔条纹法2.引入参考干涉图(虚光栅)2cos(1),(rrrxfyxIr= 0 , / 2 , , 3 / 2 虚光栅莫尔条纹法3.莫尔条纹( , )0.5 cos2 ()0.5 cos2 ()cos(2)cos(2)rrrrrrs x yabff xbff xafxbf x 虚光栅莫尔条纹法4

3、.滤波后的干涉图)(2cos5 . 0),( 1xffbayxSr 2/)(2cos5 . 0),( 2xrffbayxS)(2cos5 . 0),( 3xrffbayxS 2/3)(2cos5 . 0),( 4xrffbayxS5.四步移相法提取相位),(),(),(),()(231421yxSyxSyxSyxStgxffrBACK 三.实 验l实验设备：被测样品为前后表面平行度很好的K9玻璃，平均厚度为13mm。使用的干涉仪是英国N230型泰曼式干涉仪；光源选用相干长度较短的钠光灯，波长=589.3nm。实 验l测量得到的干涉图：实 验l被测平板前表面面形：PV=0.112= 66.0nm， rms=0.027= 17.1nm 。 实 验l实验比对PV=0.104= 65.8nm， rms=0.025= 15.8nm PV=0.112 = 66.0nm， rms=0.027 = 17.1nm 。 BACK 四.总结l在泰曼-格林式干涉仪中引入短相干光源钠光，解决了被测样品前后表面的反射光干涉混叠的问题，达到了测量平行平板型光学材料（如平行平板玻璃、晶体薄片）的面形的目的。

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