半导体扩散设备

1、1 1 1/1“ “(Action) & (Action) & (Renovation)”(Renovation)”KEC-C KEC-C 5 5 2011. 08. 112011. 08. 111 1 2/1“ “(Action) & (Action) & (Renovation)”(Renovation)” BIP BIP DIFFDIFF 2011.02011.08 8. .1111 1:1 1:1 作 業 內 容敎敎 育育 內內 容容備備 考考8/111.FURNACE工作原理2.TEMPRESS结构组成 由Load station. Furnace.

2、Gas Cabinet. Main Power. DPC.DTC.TSC等部分组成3.业务感想8/121.Implant的四个真空DRY PUMP工作原理*I/S: Ion Source Pump *B/L: Beam Line Pump*CYRO Pump *E/S: End Station Pump2.Source Control界面.Implant SET UP界面了解3.Beam 波形调整方法8/15Furnace的开、关以及紧急情况对策*设备的POWER ON方法*设备的POWER OFF方法*设备的紧急关闭与开启方法1.在开启MAINSWITCH时，先要复位（想左旋转）2.电源的开

3、启一定要严格遵守一定的顺序，不可颠倒.1 1 3/1“ “(Action) & (Action) & (Renovation)”(Renovation)” 陆爱国陆爱国 BIP BIP DIFFDIFF 2011.02011.08 8. .1111 1:1 1:1 作 業 內 容敎敎 育育 內內 容容備備 考考8/16SYSTEM Control不可控制原因（一）1. Display不能工作：*Power Supply不良 * Display Unit有不良点 2. 实际温度超过1500 ： * Converter Card * Processor Card不良3. 实际温度不

4、稳定的情况： * 1 Zone : Pre Amp Card不良 * All Zone：Converter Card不良1.Control NG原因分析2. Control 故障处理方法*Converter Card：变频器*Processor Card：数据处理器*Preamp Card：前置放大器8/17SYSTEM Control不可控制原因（二）1.实际温度为25 .但显示是0 ： Pre Amp Card不良2.实际温度ALL ZONE 是1499.9 ：T/C 接口OPEN3.Display：software Vers Error *Basic Unit上的Software不良 *

5、POWER不良4.Recipe不能正常运行出现JUMP :Recipe有误或丢失1. Control NG原因分析2. Control 故障处理方法8/18SYSTEM Control不可控制原因（三）1.POWER Control正常，实际温度却不能UP2.DTC Control正常，温度却显示为1499.9 3.POWER正常状态，温度却持续上升4.POWER正常，温度上升的速度很慢5.SPIKE T/C交换后温度不良6.Breaker Trip（断路器跳闸）情况1. Control NG原因分析2. Control 故障处理方法1 1 4/1“ “(Action) & (Acti

6、on) & (Renovation)”(Renovation)” 陆爱国陆爱国 BIP BIP DIFFDIFF 2011.02011.08 8. .1111 1:1 1:1 作 業 內 容敎敎 育育 內內 容容備備 考考8/19BOAT IN/OUT不可故障分析：1.检查”MANUAL/AUTO”SWITCH是否在AUTO”状态/POWER是否打开2.FAN的LED变红，检查Filter过滤器是否停止3.检查PADDLE运行轨道状态（污染，障碍物.超重.不在一条直线）4.通过FPD” servo status display”检查MOTER的状态，确认AXIS是否在正确的条件下1.C

7、ontrol NG原因分析2. Control 故障处理方法FPD :Flat Panel Display 控制显示器SCDU :Servo Drive Control Unit 伺服驱动控制装置8/22GAS CONTROL不能执行情况Program Control正常情况下，GAS流量异常1.Solenoiod Valve确认点检2.DC POWER SUPPLY 24V电压检查3.AIR VALVE动作检查4.MFC电压检查5.INTERFACE BOARD检查6.H2不能供给时（K型T/C检查）1.Control NG原因分析2. Control 故障处理方法3.设备点检确认1 1 5

8、/1“ “(Action) & (Action) & (Renovation)”(Renovation)”一个月制造学习 作 業 內 容敎敎 育育 內內 容容備備 考考8/231.PS.TOX检测方法2.PS.TOX检测设备的使用方法和原理8/24VBEF检测方法：1.制品的确认（N型还是P型.检测的条件及SPEC范围)2.检测条件的调节3.EM极.BASE极查找4.波形的调整与读数以及台账的记录1.不同品种的制品检测条件不同2.不同品种的制品SPEC范围不同3.EM.BASE极不要混调8/258/26hFE散布图制作方法1 1 6/1“ “(Action) & (Ac

9、tion) & (Renovation)”(Renovation)” 作 業 內 容敎敎 育育 內內 容容備備 考考8/29Program Control正常而GAS流量异常情况原因：1.Solenoid vale（螺线管阀门）确认点检2.DC power supply 24V电压检查3.AIR vale动作.Interface Board检查4.MFC电压检查5.H2不能供给时“K”型T/C检查1.Control NG原因分析2. Control 故障处理方法3.设备点检确认8/30Gas Cabinet 故障分析1.GAS压力过低 检查Regulator（调节器）设定，检查GAS是

10、否提供；过滤器阻塞；瓶中的GAS用完；MFC故障2.NO flow 气体阀关闭；调节器不受控制；MFC故障解决方案：1.更换过滤器 2.更换气体阀 3.更换MFC1.Control NG原因分析2. Control 故障处理方法8/31CSD coating设备介绍1.设备的工作原理及要求2.设备的主要组成.操作及Program的编写方法3.设备故障分析与解决方法（1）CHUCK VACUUM异常发生不良原因（2）SOURCE涂在WAFER表外观异常现象发生不良原因.（3）因MOTOR不能SPIN而不能Coating不良原因1.不良原因分析2.故障处理方法1.CUP拆卸注意点2.作业前确认作业

11、RECIPE3.作业完成后5分钟内测出TOX,SOURCE 6MK-37有很强的挥发性 陆爱国陆爱国 BIP BIP DIFFDIFF 2011.02011.08 8. .1111 1:1 1:1 1 1 7/1“ “(Action) & (Action) & (Renovation)”(Renovation)” 作 業 內 容敎敎 育育 內內 容容備備 考考9/1Trouble shooting：1. Excess Temperature报警:Thermocouple热电偶损坏.温度低于设定的值.2. Alarm buzzer：查询touch panel上显示报警信息3. T

12、emperature太低：SCR(可控硅整流器)FUSE(保险丝故障).POWER问题4. Temp Controller报警： Thermocouple热电偶损坏，温度不稳定，未达到设定的值1.Control NG原因分析2. Control 故障处理方法9/2ETC: Excess Temperature Controller介绍1.ETC的工作原理及功能2.ETC描述及格部位的功能（1）Load ZoneT1：Load.Center.Source3个Zone，T1代表Tube1，T2代表Tube2（2）PV1874.0 ：PV代表Process Value（3)AL1(AL2.AL3):

13、三个区域可设定最高温度（4）1 1：选择的Tube（5） ：Alarms 复位功能（6）Loop :Tube的选择（7)Ind：Zone的选择 陆爱国陆爱国 BIP BIP DIFFDIFF 2011.02011.08 8. .1111 1:1 1:1 1 1 8/1“ “(Action) & (Action) & (Renovation)”(Renovation)”DPC 陆爱国陆爱国 BIP BIP DIFFDIFF 2011.02011.08 8. .1111 1:1 1:1 DTCDMCTouch screenTSCETCT/CS T/CAI/ODI/OTEMPRESS

14、系统结构图1 1 9/1“ “(Action) & (Action) & (Renovation)”(Renovation)” 作 業 內 容敎敎 育育 內內 容容備備 考考9/201.Cvrve Tracer副标准具检测方法2.BASE DIFF T/P Marking以及确认方法3.BASS DIFF TUBE先行条件作业方法9/21GAS PANEL1.气路系统由MFC.气动阀对气流进行控制。2.气动阀门可以控制单独气路的通断，除设备维护外气动阀门是一直打来的。3.GAS PANEL由Pressure Gauge压力计.Pressure Regulator压力调节器.Di

15、gital Pressure Switch数字压力计.Pneumatic Valve气动阀.过滤器.MFC (Mass Flow Controllers）等部分组成4.MFC系统控制核心主要是Flow Sensor控制， Flow Sensor是由2个Temperature Sensor 和一个发热元件组成。5.一个机台有一根O2气管.两根N2气管.其中一根N2气管为TUBEI和TUBE2供气。另一根为TUBE3和TUBE4供气。 陆爱国陆爱国 BIP BIP DIFFDIFF 2011.02011.08 8. .1111 1:1 1:1 1 1 10/1“ “(Action) & (

16、Action) & (Renovation)”(Renovation)” 作 業 內 容敎敎 育育 內內 容容備備 考考9/22Bubbler Systems1.Bubbler 系统的工作原理及组成（1）工作原理：是基于微型处理器的温度控制系统，能够对Pocl3进行精确稳定的温度控制（2）组成部分：控制部分.源箱和基座2.基座是由散热器.加热器以及温度传感器组成，实现对磷源温度的控制3.TLC工作原理：通过载气带进TUBE，可以略微提高Oxidation的速度，最主要用于捕获Mobile Ion Charge，还可以用来Clean Oxidation Tube。1.Bubbler 系统

17、的工作原理及组成2.TLC工作原理TLC：C2H2Cl2 二氯乙烯9/23Helium Leak Check方法1.将要检测的连接点接好2.打开压力调节器3.打开hand valve4.打开MFC(这一部必须通过DPC操作）5.打开GAS System所有阀门Helium Leak Check方法9/26Helium Leak Check方法1.把Switch打到OFF状态 Heater断电，Tube降温至常温2.拆除Paddle及相关部件3.拆除Tube，拔出Spike T/C和Profile T/CHelium Leak Check方法*TUBE拆装过程中应小心，必须两人一起操作*Torc

18、h Heater确认点检是否完好 陆爱国陆爱国 BIP BIP DIFFDIFF 2011.02011.08 8. .1111 1:1 1:1 1 1 11/1“ “(Action) & (Action) & (Renovation)”(Renovation)” 陆爱国陆爱国 BIP BIP DIFFDIFF 2011.02011.08 8. .1111 1:1 1:1 作 業 內 容敎敎 育育 內內 容容備備 考考9/27Leak Check方法1.Check条件：ATM状态.Tube处于Vacuum状态2.Check过程（1）当开关(15)ON(16)OFF时，S-PUMP

19、进行（2）当开关（15)和（16）同时ON时，M-PUMP进行（3）当开关（15)和（16）同时OFF时，LECK CHECK进行3.CHECK结果确认1.TUBE真空VACUUM状态确认，即Boat in和End CAP是否密封2.Motor A8 CHECK结果大小确认（Spec为10-20正常）9/28*H2 OPEN NG原因分析：1.Torch Heater TEMP不能达到7502.冷却水没有打开，Torch外部温度很高3.T type T/C位置有偏移不能感应最高温度及表面有氧化膜4.U/V SENSOR清洁状态不良*H2 OPEN NG解决方法1.用万用表检测Heater是否有

20、故障 2.检查冷却水阀3.检查K TYPE T/C 4.U/V SENSOR清洁1.H2 OPEN NG原因分析方法2. H2 OPEN NG解决方法9/291.DTC/DPC各有哪些Board2.DTC/DPC各Board的作用1 1 12/1“ “(Action) & (Action) & (Renovation)”(Renovation)” 陆爱国陆爱国 BIP BIP DIFFDIFF 2011.02011.08 8. .1111 1:1 1:1 作 業 內 容敎敎 育育 內內 容容備備 考考9/30一.Boat Control故障原因分析及解决方法1.Boat Loa

21、der不能移动：检查是否在AUTO状态2.Boat Loader移动是跳动：检查Boater轴承等;检查是否有障碍物；检查内部Switch；检查后进行Reset.3.Boat Loader只能移动一点：确认程序是否合理.二.Boat Loader Reset的方法 POWER OFFS/W TURN TO“0” POWER ON Wait15秒POWER OFF TURNTO“1” POWER ON1.POWER ON后需等待10s-20s2.MANUAL状态下运行Boat3.若复位后BOAT IN/OUT不可以，且“smooth stop :on”状态时，说明SINGLE混乱，需将S-300

22、电源关闭然后打开，Boater 重新Reset即可10/4一.DIFF工程点检事项及其注意点1.日常点检事项（1）GAS流量是否在规定的范围内（2）TORCH冷却水是否打开或有无LEAK (3)TUBE与TORCH连接是否到位2.日常Parts点检二.GAS校准方法及注意点1.结束后把数据改回原来的设定值 2.没有流量的情况下，保持管道流通才可以改变大小。1.点检事项确认2.注意点细心10/5S-300操作与维护1. S-300构造介绍2. S-300操作方法与日常维护3. S-300 Calibration 方法作业时，不能用制品。并需要两名操作者，同时作业。1 1 13/1“ “(Acti

23、on) & (Action) & (Renovation)”(Renovation)” 作 業 內 容敎敎 育育 內內 容容備備 考考10/6一.Torch内部结构组成部分Tube .Balloon. Heater. K型T/C.H2/O2inlet. Sensor二.Torch工作原理 H2与O2反应生成水蒸气进入TUBE，形成WET OXIDE Si +2H2O SiO2+2H2三.Torch常见故障原因分析与解决方法 (1)Torch表面温度高，原因是冷却水不良（2）Sensor感应不好，导致H2没有打开（3）Heater能力不足或K型T/C位置不良导致没有达到设定的温度 一.Torch内部结构组成部分二.Torch工作原理三.Torch常见故障原因分析与解决方法10/7Vertical Furnace设备知识1.设备整体介绍及性能优势（1） Vertical Fur