培训系列之(孙丽娜)真空工建理论基础

1、pa51001325. 11932.5 10/cm个Pa541010Pa13121010OmmH2PaOmmHmmHg8 . 96 .1312paatm51001325. 11TorrmmHgatm7607601)105 . 71 (322.13313TorrPaPaTorrPabar5101PaommHmmHgTorrbaratm1111112251010 PaPaPaPaPaPa1496125101010101010转到PaPa121010PaPa611010CPaCatm0308471024001PaPa961010PaPa1491010返回Pa710CPV CMPV CTV CTP 1

2、23, 001133, 002301038. 131. 8/104 .22273/1002. 6JKkVMVKJmolRmolmVKTmolNmolmol个MRMKJmolKmolmMPaTVPTVPTPV1133500011131. 8273/104 .221001325. 1NkTTNRNRTmNmNRTMPV00压强公式于是nkTPVNnKJNRk/1038. 11002. 631. 823230第三种形式代入得将代入得将RTmkTPNmNRkmkTPmn00212121222111nnTTPPkTnPkTnP则若kTnnnkTnkTnkTnPPPPiii)(212121RTPRTMPV

3、RTMPVRNmkNRmkNRmkRmkmkRNmNkRRTmkTPnkTPRTMPV0020001321返回实验定律（宏观）nkTP ），双原子（单原子为自由度个自由度平平平53)(2)3(2123322iiikTicmkTnnkT（微观）平ncmncnmP32)21(323122RTmkTcmkTc33322方均速率)(22)1 (220气体内能气体PViRTiMEmolRTikTNiEmol2223)2exp()2(4)(ckTmckTmcfdccfNdN)(1)(0dccfRTmkTcckTmkTmccckTmkTmcckTmccckTmckTmcckTmcdcdkTmckTmckTm

4、dcdcfdcdp220210)2exp(2021)2exp(20)2exp(2)(2exp(0)2exp(, 0)2(40)2exp()2(40)(222222222232223得所以因为即故因为pcpcpc返回cRTmkTdcckTmckTmdcccfNdcccNfcdccNfdNc88)2exp()2(4)()()(032230mkTdcckTmckTmdccfcNdccNfcc3)2exp()2(4)()(0422302022RTmkTc332pccc2返回ncz2nccnz2222)(2222121ncznz）（总pkTncczcz2232122332211pppCp返回)(107

5、. 31018. 21075. 21064. 31078. 31010101010222空气mmmmmHeHON212ni244)2(122nnexN)exp(0 xNNxx0NxN)exp(0 xNNxxRTPNmkTPmkTkTPcn22841410转到5241RTcnVscmLV220/6 .11scmPaP21820/)(1086. 2个C020TCTBAPvlglgRTPkTmPmkTmPcnmmGvvv22241021mskgcn41ddpcos1d小大低高TT小大cD31vCcK31c31流速定容比热vC)(32218313122sPamkTmnnmkTcdsdzdudfdLkT

6、m20)(cmPaSNRTNCmNCmkTCcKVVV0202323231dTTKdzdTKq2111KmWBBATTTT010)(10)(10000冷板热板相当于漫反射相当于弹性反射TTTTTTTTTTABABABA)(212121210TTPKqmTkK211210)(12KPascmJddddPTmkcD233323231sm /221122212113131nnncnnncDcD31vCcK31c31VVCDCKD,VCBK d211221221121TTnnkTnkTnPP122112212211PPTTnncncnddd1075. 432130sTVs返回)(tsrrfts0)(0

7、frr平衡位置AHdE）克米（2）克米（2600),(2322cmcmcmcm摩尔数分子数),(3gcmgg摩尔数分子数ANNAFF10)exp(0RTEd0PNRTt0151521010)()(105 . 34spaPt个1528210)107 . 3(41411ad)(2scm 分子数返回mkTP2)exp(0RTENNdAAdmkTRTEPNdA2)exp(0daAN)(TPf、，吸附等量线常数，吸附等压线常数，吸附等温线常数，)()()(32TfPTfPPfT)exp(2000RTEmkTNPNNdAm1010) 32(1bPbPbPRTEmkTNPRTEmkTPNmkTPRTENdA

8、dAdA1)1 ()1 ()exp(2)1 ()exp(2)1 (2)exp(010110bPAbPA1bPbP，则低压情况下，111，则高压情况下，bP1)(1PfAbPbP，在压强很小时，0NNAA)(1PfAbP，在压强很高时，nPscxcDQatmncmmscmmPac，量纲为金属为，是无量纲量；属为气体的溶解常数，非金溶解度，固体中溶解气体的浓度2/11/3333；浓度梯度，扩散系数，单位：量轴单位面积扩散的气体单位时间通过垂直于43223/)/(cmmpaxcsmDcmsmPaxQLPPKLPPDsLccDQDdcdxQxcDQnnnnccL)()()(2121210212cmKP

9、渗透量返回JeVeV195106 . 11101返回离子个原子离子个原子/10/50ArHeHeAr2coscos215/10厘米个返回1010322/105厘米个dEEEdEkTEEEhmdnFE1)exp()2(421323FEE FEE KT0FEE FEE 能级的电子数越多，电子的最大能量值也越大。但大部分电子处于的能级状态。金属的导电能力主要缘于这些自由电子的运动。将金属的束缚能级至费米能级范围称金属的导带，束缚能级称为导带底。FmEWa 11200210854. 88mFaem)exp()exp(2200kTATkTTDAjMM22022220/)/(/(cmAmAjDKcmAKm

10、AA、平均透射系数）、发射常数)4exp(00eEkTejje)exp(121EbEAj)exp()(222CETbCETAjKT0minimiieU2KI )(2102maxmaxhmvWmhmvW2maxmax210hm0)(0h返回*As710hEE)(12As1103*A*AAA2212122121)1 (2)(2)(mmmmmmmm02)(21mm21)(212210121mmmm122mm21222mmAAeAAeAAA2BABABABAeBABA*EeKnjeeeEeKnjiiiEKnKnejjjeeiiei)(ncmecmnecmcmneKnKneEjeeeeeeiiieeee

11、eii222)()(iiiicmeKeeeecmeKOA段被激导电，A之后自激导电；OC段非自持放电，CD不稳定的自持放电， DE过渡，E点之后是稳定的自持放电；OD黑暗放电，D之后光亮放电；D点放电的破裂或着火BD段汤生放电、繁流放电，DE过渡，EF正常辉光放电，FG异常辉光放电，EG辉光放电；GH弧光放电返回称为汤生第三电离系数；称为汤生第二电离系数个正离子；个电子；称为汤生第一电离系数个电子；个电子111ddee、着火、点燃自持击穿、破裂、雪崩非自持倍增系数111) 1(deQ倍增系数补充进入阳极的次级电子数比进入阳极的电子数 大的倍数)1ln(lnln)ln(ApdBpdVs)(pdfVs)(esdfVed如果数值适当，正离子的数量很快增加，继而引起破裂，此时破裂比较容易，因为破裂电压比较低。如果数值太小，即处于曲线的左支，相当于极间距离不变，真空度提高了，电子所能碰撞气体的次数减少了。因此，为了能够得到足够的离子来撞击阴极以取得充分的二次电子发射，必须提高端电压使电离几率增加，每次碰撞都能更有效的产生电离。虽然总的碰撞次数减少，但还能保持一定的数值。这样，放电的破裂电压就提高了。如果数值太大，即处于曲线的右支，相当于极间距离不变