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文档简介

1、静电静电防护防护基础基础知识知识静电防护基础知识一、什么是静电静电防护基础知识静电静电( (ElectrostaticElectrostatic,static electricitystatic electricity) ) 通俗地来说,静电就是静止不动的电荷。它一般存在于物体的表面。是正负电荷在局部范围内失去平衡的结果。静电是通过电子或离子转移而形成的。静电可由物质的接触和分离、静电感应、介质极化和带电微粒的附着等物理过程而产生。伤害结果:u突发性失效10%零件突然失效u 潜在性失效90零件电参数微变,使用 寿命变短。难以检测,危害性更大 一般来说,静电只有在发生静电放电时,才会对元器件造成

2、伤害和损伤。静电伤害的形式: 静电吸附灰尘,降低元器件绝缘电阻(缩短寿命)。 静电放电(ESD)破坏,造成电子元件失效。 静电放电产生的电磁场对电子元器造成电磁干扰。静电防护基础知识二、什么是静电放电静电放电(静电放电(Electrostatic DischargeElectrostatic Discharge,ESDESD) 处于不同静电电位的两个物体间的静电电荷的转移就是静电放电。这种转移的方式有多种,如接触放电、空气放电。 静电放电的特点: l 高电压几百伏几万伏l 持续时间短(几百纳妙)l 低能量几十几百微焦耳l 快速的电流上升时间几十纳秒 静电防护基础知识人体电位(人体电位(KVKV

3、)电击感度电击感度1.01.0没有感觉没有感觉2.02.0手指外侧有感觉,但不疼痛手指外侧有感觉,但不疼痛2.52.5有针刺感、哆嗦感、但不疼痛有针刺感、哆嗦感、但不疼痛4.04.0有较强针刺感,手微疼痛;光有较强针刺感,手微疼痛;光暗时能见到放电微光暗时能见到放电微光5.05.0从手掌到腕部感到疼痛从手掌到腕部感到疼痛6.06.0手指感到剧痛,腕部有强烈的手指感到剧痛,腕部有强烈的电击感电击感7.07.0手指、手掌剧痛,有麻木感手指、手掌剧痛,有麻木感静电放电的主观感受静电防护基础知识三、静电的产生 静电产生的方式有很多,如接触、摩擦、冲流、冷冻、电解、压电、温差等,但主要是两种形式,即p

4、摩擦产生静电摩擦产生静电( (图图1)-1)-受材料性质、湿度、接触受材料性质、湿度、接触面积、接触压力、分离速度、表面积、接触压力、分离速度、表面洁净度等因素影响面洁净度等因素影响 p 感应产生静电感应产生静电( (图图2) 2) 图1图2静电防护基础知识序序号号材料材料序号序号材料材料序号序号材料材料正电荷方向正电荷方向 8 8羊毛羊毛16 16硬橡皮硬橡皮1 1空气空气9 9丝绸丝绸17 17镊、铜镊、铜2 2人的手人的手10 10铝铝18 18黄铜、银黄铜、银3 3兔毛兔毛11 11纸纸19 19聚酯人造纤维聚酯人造纤维4 4玻璃玻璃12 12棉布棉布2020聚乙烯聚乙烯5 5云母云母

5、13 13钢钢21 21聚丙烯聚丙烯6 6头发头发14 14木材木材2222聚氯乙烯聚氯乙烯(PVC)(PVC)7 7尼龙尼龙15 15琥珀琥珀负电荷方向负电荷方向 常见物体带电顺序静电防护基础知识四、与静电相关的几个物理量静电荷 存在的剩余电荷 库仑定律库仑定律 定律的内容:真空中两个点电荷之间的相互作用力,跟它们的电荷量的乘积成正比,跟它们距离的平方成反比,作用力的方向在它们的连线上。 F=Kq1q2(r2) 静电压静电压 带静电电荷物体之间或它们与大地之间的电势差。静电防护基础知识静电压 V=Q/C=Q*d/(A*)Q电荷量C电容量d等效平板电容器两板之间的距离A等效平板电容器的面积 两

6、板间物质的介电常数 环境的湿度和空气中离子的密度也直接环境的湿度和空气中离子的密度也直接影响静电产生的大小。影响静电产生的大小。静电防护基础知识五、 静电放电的几种模式p 人体放电模式HBM(human body model) p 机器放电模式MM(machine model)p 充电器件放电模式CDM (charged-device model)静电防护基础知识六、静电放电敏感器件(SSD)静电损伤机理:u 热击穿; 由于半导体的热时间常数比静电放电脉冲时间长,所以静电放电产生的热量从热量耗散面积向外散热好少因而在器件形成较大的温度梯度.u 介质击穿; 加在绝缘层两端的电压超过介质击穿电压时

7、,会发生介质击穿.u 气体电弧放电; 如果器件中没有被钝化的薄电极之间间距很小场强超过气体击穿场强时会引起电弧放电,造成瞬间气体电弧放电,造成瞬态电流过大使器件受到损坏.静电防护基础知识 静电敏感度介于01999V的元件为1级 静电敏感度介于20003999V的元件为2级 静电敏感度介于400015999V的元件为3级 静电放电敏感器件(SSD)等级静电防护基础知识七、 静电防护材料、设备:导电材料:表面电阻率(表面阻抗)小于1105欧姆或体电阻率小于1104欧姆/厘米 耗散材料:表面电阻率大于或等于1105而小于11012欧姆,或体电阻率大于或等于1104而小于11011欧姆/厘米的材料。

8、屏蔽材料:表面电阻率小于1104欧姆或体电阻系数小于1103欧姆/厘米 绝缘材料:表面电阻率大于11012欧姆或体电阻率大于11011欧姆/厘米 静电防护基础知识表面电阻率表面电阻率 沿试样表面电流方向的直流电场强度与电流密度之比,单位为: 。体积电阻率体积电阻率 沿试样体积电流方向的直流电场强度与电流密度之比,单位为: /cm2 。 静电保护区静电保护区EPA(Electrostatic protected area ) 防静电等级要求较高的工作区。配备各种防静电装备(用品)和设置接地系统(等电位连接),能限制静电的积累和电位,具有确定边界和专门标记的生产,维护,存储,使用,装配SSD的场所

9、。静电防护基础知识等级等级防护区的静电电位最高限值防护区的静电电位最高限值1 1100V100V2 2500V500V3 31000V1000V静电防护基础知识静电防护等级电子工业中的静电问题静电的主要来源:l 人体静电(特别强调)l 仪器和设备的静电l 元器件本身的静电l 其它静电如元件的制造、搬运、储存、测量等 静电的安全泄放电流:小于静电的安全泄放电流:小于5 5毫安毫安静电防护基础知识二、人体静电p 人体电势是最重要的静电源人体电势是最重要的静电源, ,这主要有三个方面的原因这主要有三个方面的原因: : 1. 1.人体接触面广人体接触面广, ,活动范围大活动范围大. . 2. 2.人体

10、与大地间的电容很低人体与大地间的电容很低. . 3. 3.人体的电阻很低相当于一个良导体人体的电阻很低相当于一个良导体p 影响人体静电的因素影响人体静电的因素: : 1. 1.人体静电与人体所接触的环境以及活动的方式有人体静电与人体所接触的环境以及活动的方式有. .如下图所示如下图所示的的 动作与静电的变化动作与静电的变化; ;静电防护基础知识 10010001500810V走坐脚抬起1550V(站起)脚放下1400V坐下动作5KV/S3.8KV/S3.2KV/SV人在不同动作时的静电压变化静电防护基础知识p 影响人体静电的因素影响人体静电的因素: : 1. 1.人体静电与环境湿度有关人体静电

11、与环境湿度有关, ,湿度越低则静电势越高湿度越低则静电势越高; ; 2. 2.人体静电与衣物人体静电与衣物, ,鞋帽的材料有关鞋帽的材料有关, ,化纤制品较棉制品更易产生化纤制品较棉制品更易产生静电静电; ; 3. 3.人体静电与个人的体质有关人体静电与个人的体质有关, ,主要表现在人体等效电阻和人体等主要表现在人体等效电阻和人体等效电容上效电容上. . 4. 4.人体静电与个人的操作速度有关人体静电与个人的操作速度有关, ,操作速度越快操作速度越快, ,人体静电势越人体静电势越高高. . 5. 5.人体各个部位所带的静电电荷不是均等的人体各个部位所带的静电电荷不是均等的, ,一般认为手腕的静

12、电一般认为手腕的静电势最高势最高静电防护基础知识二、仪器和设备的静电 仪器设备外壳也会由于摩擦或静电感应带上静电仪器设备外壳也会由于摩擦或静电感应带上静电. .如传输如传输带在传动的过程中与转轴接触和分离产生的静电带在传动的过程中与转轴接触和分离产生的静电; ;接地不接地不良仪器金属外壳在电场中感应产生静电等良仪器金属外壳在电场中感应产生静电等三、器件本身的静电 电子器件的外壳电子器件的外壳( (主要指陶瓷主要指陶瓷, ,玻璃和塑料封装管壳玻璃和塑料封装管壳) )与绝缘与绝缘材料相互摩擦材料相互摩擦, ,也会产生静电也会产生静电. .静电防护基础知识基本思路及方法:1、控制静电产生工艺控制法防

13、止静电产生2、防护静电耗散及泄漏(主讲)静电耗散及泄漏法静电屏蔽与接地静电中和法环境增湿电子产品ESD的防护设计静电防护标识静电防护原理静电防护基础知识一、静电耗散及泄漏: 将生产环境和各种操作过程中产生的静电迅速耗散,以及泄漏是防止静电危害行之有效的方法.静电耗散及泄漏的一般要求 1.静电耗散原理:将电子生产用的种类用品(装备)用ESD防护材料来制备. 2.静电泄漏定义:带电体上的电荷通过内部和其表面等途径,而使之部分或全部消失的现象. 以上要求通常都是同是使用耗散与接地的特殊情况 耗散与接地的特殊情况是指防静电系统的悬浮接地与等电位防静电材料(装备)使用中的安全问题二、静电中和: 静电中和

14、定义:带电体的电荷与其内部和外部相反符号的电荷(电子或离子)的复合而使所带的静电电荷部分或全部消失的现象. 静电中和原理:利用无资源自感式,直流高压,交流高压,同位素电离等腰三角形原理通过金属放电针或放射线使空气电离产生正负离子与静电源上的正负电荷中和,从而消除静电源上积累的静电.三、静电屏蔽与接地: 静电屏蔽及接地通常用于对高压电源产生静电电场屏蔽,某些对静电极敏感电路的屏蔽从而避免静电场对SSD和SSD组件的感应及静电产生. 静电屏蔽的作用是通过将一个区域封闭起来的壳体实现的.壳体可以做成金属隔板式,盒式,也可以做电缆屏蔽和连接器屏蔽静电防护基础知识五、环境增湿: 环境相对湿度增加,则非导

15、体材料(如衣服,工作台)表面的电阻减小,使物体积蓄的静电电荷可以更快的泄漏. 附下表为环境湿度对静电的影响.四、电子产品ESD的防护设计: SSD ESD保护电路的设计. 电子设备的ESD保护.静电防护基础知识运动形式运动形式 静电电压(静电电压(V) 相对湿度相对湿度6590% 相对湿度相对湿度1020% 在乙烯地板上行走在乙烯地板上行走 250 12,000 在合成地毯上行走在合成地毯上行走 1,500 35,000 在铺有地毯的工作台上滑动塑胶盒在铺有地毯的工作台上滑动塑胶盒 1,500 18,000 坐在发泡胶椅垫上工作坐在发泡胶椅垫上工作 1,500 18,000 坐在普通木椅上工作

16、坐在普通木椅上工作 100 6,000 拿起塑料袋拿起塑料袋 600 7,000 用塑胶薄膜包装用塑胶薄膜包装PCB 3,000 16,000 从从PCB上撕下胶带上撕下胶带 1,500 12,000 静电防护基础知识 湿度对静电的影响湿度对静电的影响EPA定义和总体技术要求 1.防静电工作区定义:配备各种防静电装备(用品)和设置地系统(等电位连接)能限制静电的积累和具有确定边界和专门标记的生产,维护,存储,使用,装配SSD的场所 . 2.防静电工作区的范围:生产车间和库房;电子机房(计算机,程控,测试机房);电子维修站(包括临时维修点和移动式)等.EPA硬件组成和要求软件与管理方面要求EPA

17、内防静电用品,生产设备,特殊装备的要求EPA环境要求防静电工作区(EPA)构成和技术要求静电防护基础知识1、人体防静电材料防静电衣、帽:表面阻抗106 109 防静电腕带:电阻106 10% 防静电鞋:表面阻抗106 防静手套,指套:表面阻抗106 109 EPA内防静电用品,生产设备特殊装备的要求一、静电防护用品静电防护基础知识作业员穿着防止静电的作业衣服的要求 1.摘下袖子的情况下,胳膊前端的肌肉露出来。2.比作业台高的部分衣服的拉链不能打开(作业台下面的可以)。 防静电作业衣服静电防护基础知识防静电手带2、 不松缓确实直接接触皮肤。3、 为防止漏电,引线带绝缘皮。 用导电性材料做成腕带固

18、定在手腕上接地。 1、 为了防止作业员在电气漏电部分误触感电,必须加进1M程度的限流电阻。静电防护基础知识防静电鞋 要求: 两脚不能抬起来;不要垫鞋垫。 作用: 1.在人体发生的静电迅速完全流到地上;2.抑制导电床和导电鞋间的摩擦带电。 静电防护基础知识2、防静电包装制品包装袋IC管储存盒海绵搬运车座椅静电防护基础知识3、防静电地板和台垫防静电地板漆防静电地板防静电台垫静电防护基础知识4、静电消除器:消电器、电中和器或离子平衡器等 利用高压电场或放射性射线的作用使空气局部电离,造成大量离子和电子对,其中与带电体极性相反的离子(或电子)向带电体趋近并与之发生中和作用,达到消除静电的目的。5、防静

19、电蜡: 涂刷非防静电材料表面,达到防静电效果。有时效性,须定期涂刷。静电防护基础知识二、接地系统1、安全保护接地: 就是将电气设备不带电的金属外壳部分与接地体之间作良好的金属导通连接.当没有保护接地的电气设备绝缘损坏时,其外壳有可能带电,如果人体触及电气设备的外壳就有可能被电击伤或造成生命危险2、工作接地: 工作接地是将电力系统中的某一点(通常是指中性点)直接或经特殊设备(如消弧线圈,阻抗电阻等)与大地作金属连接,称为工作接地.主要有:降低人体的接触电压,讯速切断故障,降低电气设备和电力线路的设计绝缘水平等作用.3、静电接地: 将带静电物体或有可能产生静电体与大地构成电气回路的接地叫做静电接地

20、.静电接地电阻一般要求不大于10欧姆备注:重复接地,防雷接地,屏蔽接地,直流接地,信号接地等,在这不作详解.静电防护基础知识3、静电环量测n检测频率:检测频率:1次/班n检测方法:检测方法: 1 1、确认静电环测试仪器 手按测试钮手按测试钮 HIGN红灯亮红灯亮夹夹1M电阻电阻GOOD绿灯亮绿灯亮夹子直接接触夹子直接接触LOW红灯亮红灯亮静电环测试仪三项都OK,则仪器OK.2、量测静电环1)手戴好静电环,夹子夹好接地线。2)仪器夹子夹好接地线。3)手压仪器,绿灯亮。静电防护基础知识工厂静电防护要求1、人员防静电条件 所有人员若有机会接近无保护的ESDS(静电敏感器件)30CM范围以内,就必须采

21、取静电防护措施.固守岗位的最低防护要求为佩戴防静电手腕;移动岗位则必佩戴防静电手套,穿着防静电工衣,工鞋;对于一些必要的或关键岗位还须加离子风机.2、生产器材及设施静电防护条件 所有生产,运输,存储过程中使用到的器材和设施;若表面电压超过+/-100V的,具有机会接近无保护的ESDS(静电敏感器件)30CM范围以内就必须采取静电防护措施.3、静电防护操作及岗位的一般要求 在防静电区域出入口处的醒目位置,应设置永久性的防静电警示标识和警告标志. 所有防静电区域应进行温湿度的管制,推荐相对温度为:20oC25oC;湿度为:50%70%严禁在相对湿度底于30%的情况下进行操作ESDS器件. 在防静电

22、区域(点)内应避免生产瞬时高电压源或瞬时高压作业.静电防护基础知识防静电作业区域内所有防静电设施不得随意移动或拆除,应当是永久性的防静电区域内的所有设备都必须接地良好(被测试整机,测试设备,装置夹具,波峰焊 机,电批,铬铁,周转车等),防静电工作台面必须是导电的,不得随意加普通的塑料板,纸皮,抹布等物品防静电工作区的工作台上,不得放置非生产性物品,如餐具,茶叶,提包钥匙饰品,手机,报刊,纸巾等物品. 防静电工位的人员使用文件夹,文件袋都应该是防静电的;不得使用普通的文件,文件袋.防静电工位应避免设在大功率辐射源磁场附近.防静电工作岗位的腕带必须在每个班次上班前进行检测,合格后才能进行操作.所有人员接触ESDS及组件之前应戴好防静电腕带,保证腕带与皮肤接触良好,并接入防静电地线系统,在戴腕带的皮肤上不得涂护肤油,防冻等油性物质.静电防护基础知识所有ESDS及组件在其存储,周转过程中均必须采取合适的静电防护措施,使用防静电包装材料和容

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