第六章电感式传感器

1、 第第6 6章章 电感式传感器电感式传感器 6.1 6.1 电感式传感器电感式传感器 6.1.1 6.1.1 电感传感器的工作原理和等效电路电感传感器的工作原理和等效电路 6.1.2 6.1.2 电感式传感器的结构类型及特性电感式传感器的结构类型及特性 6.1.3 6.1.3 电感传感器的测量电路电感传感器的测量电路 6.2 6.2 差动变压器式电感传感器差动变压器式电感传感器 6.2.1 6.2.1 工作原理工作原理 6.2.2 6.2.2 差动变压器式传感器的特性差动变压器式传感器的特性 6.3 6.3 电涡流式传感器电涡流式传感器 6.3.1 6.3.1 电涡流式传感器的工作原理及特性电

2、涡流式传感器的工作原理及特性 6.3.2 6.3.2 电涡流式传感器结构型式及特点电涡流式传感器结构型式及特点 6.3.3 6.3.3 影响涡流传感器灵敏度的因素影响涡流传感器灵敏度的因素 6.3.4 6.3.4 测量电路测量电路 6.4 6.4 电感式传感器的应用电感式传感器的应用 6.4.1 6.4.1 电感传感器的应用电感传感器的应用 6.4.2 6.4.2 电涡流传感器的应用电涡流传感器的应用 电感式传感器电感式传感器是利用电磁感应原理，将被测的物理是利用电磁感应原理，将被测的物理量如位移、压力、流量、振动等转换成线圈的自感系数量如位移、压力、流量、振动等转换成线圈的自感系数L L或互

3、感系数或互感系数M M的变化，再由测量电路转换为电压或电流的的变化，再由测量电路转换为电压或电流的变化量输出，实现由非电量到电量转换的装置。变化量输出，实现由非电量到电量转换的装置。 自感式传感器自感式传感器（又称电感式传感器）即（又称电感式传感器）即将非电量转换将非电量转换成自感系数变化的传感器成自感系数变化的传感器。 互感式传感器互感式传感器（又称差动变压器式传感器）即（又称差动变压器式传感器）即将非电将非电量转换成互感系数变化的传感器量转换成互感系数变化的传感器。 本章主要介绍本章主要介绍自感式、互感式和涡流式自感式、互感式和涡流式三种传感器。三种传感器。 自感式传感器原理图衔 铁线 圈

4、铁 芯 I A l1 S1 l2 S2 Usr . 6.1 6.1 电感式传感器电感式传感器 6.1.1 6.1.1 电感传感器的工作原理和等效电路电感传感器的工作原理和等效电路 6.1 6.1 电感式传感器电感式传感器 6.1.1 6.1.1 电感传感器的工作原理和等效电路电感传感器的工作原理和等效电路 1工作原理工作原理 电感传感器有衔铁、铁芯和匝数为电感传感器有衔铁、铁芯和匝数为W的线圈三部分构成。传感器测量的线圈三部分构成。传感器测量 物理量时衔铁的运动部分产生位移，导致线圈的电感值发生变化，根据定物理量时衔铁的运动部分产生位移，导致线圈的电感值发生变化，根据定 义，线圈的电感为义，线

5、圈的电感为 式中式中 RM磁阻，它包括铁芯磁阻和空气隙的磁阻，即磁阻，它包括铁芯磁阻和空气隙的磁阻，即 铁磁材料各段的磁阻之和，当铁芯一定时，其值为一定；铁磁材料各段的磁阻之和，当铁芯一定时，其值为一定； li 各段铁芯长度；各段铁芯长度； m mi 各段铁芯的磁导率；各段铁芯的磁导率； Si 各段铁芯的截面积；各段铁芯的截面积； R -空气隙的磁阻，空气隙的磁阻，R = 2= 2 / /m m0 0S。M2RWL=M2RWL =mRSlRiii=MiiiSlm 即可得电感为即可得电感为 因为铁磁材料其磁阻与空气隙磁阻相比较小，计算时可忽略因为铁磁材料其磁阻与空气隙磁阻相比较小，计算时可忽略不

6、计，这时有不计，这时有: : 由上式可知，当线圈及铁芯一定时，由上式可知，当线圈及铁芯一定时，W W为常数，如果改变为常数，如果改变d d 或或S S时，时，L L值就会引起相应的变化。电感传感器就是利用这一原理值就会引起相应的变化。电感传感器就是利用这一原理做成的。最常用的是变气隙长度做成的。最常用的是变气隙长度d d 的电感传感器。由于改变的电感传感器。由于改变d d 和和S S都是使气隙磁阻变化，从而使电感发生变化，所以这种传感器都是使气隙磁阻变化，从而使电感发生变化，所以这种传感器也叫变磁阻式传感器。也叫变磁阻式传感器。=SSlWLiii022mmm202SWL = 2 2、等效电路、

7、等效电路 电感传感器是一个带铁芯的可变电感，由于线圈的铜耗、铁芯的涡电感传感器是一个带铁芯的可变电感，由于线圈的铜耗、铁芯的涡流损耗、磁滞损耗以及分布电容的影响，它并非呈现纯电感。等效电路流损耗、磁滞损耗以及分布电容的影响，它并非呈现纯电感。等效电路如图所示，其中如图所示，其中L L为电感，为电感，R Rc c为铜损电阻，为铜损电阻，R Re e电涡流损耗电阻，磁滞损耗电涡流损耗电阻，磁滞损耗电阻电阻R Rh h，C C为传感器等效电路的等效电容。等效电容为传感器等效电路的等效电容。等效电容C C主要是由线圈绕组主要是由线圈绕组的固有电容和电缆分布电容引起。电缆长度的变化，将引起的固有电容和电

8、缆分布电容引起。电缆长度的变化，将引起C C的变化。的变化。当电感传感器确定后，这些参数即为已知量。当电感传感器确定后，这些参数即为已知量。 C L Rc Rh Re 自感式传感器等效电路自感式传感器等效电路 * *这里需要注意的是传感器等效电路的等效电容这里需要注意的是传感器等效电路的等效电容C，它主要是由线圈绕组的分布电容，它主要是由线圈绕组的分布电容和电缆电容引起。电缆长度的变化，将引起和电缆电容引起。电缆长度的变化，将引起C的变化的变化。 C L Rc Rh Re 忽略分布电容且不考虑各种损耗时，电感传感器阻抗为忽略分布电容且不考虑各种损耗时，电感传感器阻抗为: : 当考虑并联分布电容

9、时，阻抗为当考虑并联分布电容时，阻抗为Z Zs sLRZj=CLRCLRZsj1jj1j= 2222222222211j1QLCLCQLCLCLQLCLCR-= Q Q品质因数，品质因数，Q Q= =wL/RwL/R。 当电感传感器当电感传感器 Q Q值高时，即值高时，即1/1/Q Q2 21 1，则上式可变为：，则上式可变为： 考虑分布电容时，电感传感器的有效串联电阻和有效电感都增加了，考虑分布电容时，电感传感器的有效串联电阻和有效电感都增加了， 而线圈的有效品质因数却减小。而线圈的有效品质因数却减小。 电感传感器有效灵敏度为：电感传感器有效灵敏度为： 考虑分布电容后，电感传感器的灵敏度增加

10、了。因此，必须根据测试考虑分布电容后，电感传感器的灵敏度增加了。因此，必须根据测试 时所用电缆长度对传感器进行标定，或者相应调整并联电容。时所用电缆长度对传感器进行标定，或者相应调整并联电容。ss222sj1j1LRLCLLCRZ=-LLLCLLd11d2ss-= 6.1.2 6.1.2 自感式传感器的结构类型及特性自感式传感器的结构类型及特性 常见的自感式传感器有常见的自感式传感器有变间隙式、变面积式和螺线管式变间隙式、变面积式和螺线管式三类。三类。 1 1、变间隙式电感传感器、变间隙式电感传感器 衔 铁线 圈铁 芯 I A l1 S1 l2 S2 Usr .。可确定测出xLZLRxm)(

11、若使得衔铁向上移动取为若使得衔铁向上移动取为- ，得此时电感为，得此时电感为： 则电感增量为：则电感增量为： 线圈电感的相对变化量为：线圈电感的相对变化量为： 若若 0l，则可得则可得m-=0022SWL-=-=1100LLLL-=110LL =40302000LL 同理可得当衔铁向下移动时的同理可得当衔铁向下移动时的 LL0为为 由上式可见，线圈电感与气隙长度的关系为非线性关系，非线性由上式可见，线圈电感与气隙长度的关系为非线性关系，非线性度随气隙变化量的增大而增大，只有当度随气隙变化量的增大而增大，只有当 很小时，忽略高次项的存很小时，忽略高次项的存在，可得近似的线性关系（这里未考虑漏磁的

12、影响）。所以，在，可得近似的线性关系（这里未考虑漏磁的影响）。所以，单边变单边变间隙式电感传感器存在线性度要求与测量范围要求的矛盾间隙式电感传感器存在线性度要求与测量范围要求的矛盾。 电感电感L与气隙长度与气隙长度 的关系如图所示。它是一条双曲线，所以非的关系如图所示。它是一条双曲线，所以非线性是较严重的。为了得到一定的线性度，一般取线性是较严重的。为了得到一定的线性度，一般取 / 0=0.10.2。- - -=40302000LL 0 - L L0+ L- L 差动式变间隙电感传感器，要求上、下两铁芯和线圈的几何尺寸与差动式变间隙电感传感器，要求上、下两铁芯和线圈的几何尺寸与电气参数完全对称

13、，当衔铁偏离对称位置移动时，使一边间隙增大，而电气参数完全对称，当衔铁偏离对称位置移动时，使一边间隙增大，而另一边减小，两个线圈电感的总变化量为另一边减小，两个线圈电感的总变化量为 忽略高次项，其电感的变化量为忽略高次项，其电感的变化量为 可见，差动式的灵敏度比单边式的增加了近一倍，而且差动式的可见，差动式的灵敏度比单边式的增加了近一倍，而且差动式的（ L1+ L2）L0式中不包含（式中不包含（ 0）的偶次项，所以在相同的（）的偶次项，所以在相同的（ 0）下，其非线性误差比单边的要小得多。所以，实用中经常采用差）下，其非线性误差比单边的要小得多。所以，实用中经常采用差动式结构。差动变间隙电感传

14、感器的线性工作范围一般取动式结构。差动变间隙电感传感器的线性工作范围一般取 0 = 0.30.4。 =503002LL2LL 2 2、变面积式电感传感器、变面积式电感传感器 对单边式结构，在起始状态时，铁芯与衔铁在气隙处正对着，其对单边式结构，在起始状态时，铁芯与衔铁在气隙处正对着，其截面积为截面积为S S00= =abab。当衔铁随被测量上、下移动时，。当衔铁随被测量上、下移动时，( a ) ( b ) b a x 0 bxaS-= 则线圈电感则线圈电感L L为为: : 线圈电感线圈电感L L与面积与面积S S（或（或x x）呈线性关系，其灵敏度）呈线性关系，其灵敏度k k为一常数，即为一常

15、数，即 正确选择线圈匝数、铁芯尺寸，可提高灵敏度，但是采用图（正确选择线圈匝数、铁芯尺寸，可提高灵敏度，但是采用图（b b）差动式结构更好。差动式结构更好。xabWL-=0202m0202mbWxLk= 3 3、螺线管式、螺线管式 螺线管式电感传感器如图所示。它由螺线管式电感传感器如图所示。它由螺线管形线圈、磁性材料制成的柱形铁芯螺线管形线圈、磁性材料制成的柱形铁芯和外套组成。螺管式电感传感器建立在磁和外套组成。螺管式电感传感器建立在磁路磁阻随着衔铁长度不同而变化的基础上。路磁阻随着衔铁长度不同而变化的基础上。设线圈长度和平均半径分别为设线圈长度和平均半径分别为l l和和r r，铁芯，铁芯进入

16、线圈的长度和铁芯半径分别为进入线圈的长度和铁芯半径分别为x x和和r ra a，铁芯有效磁导率为铁芯有效磁导率为0 0 。 x (b) l (a) l x r ra r ra 线圈的电感量线圈的电感量L L为为 L L与与x x呈线性关系，其灵敏度呈线性关系，其灵敏度K K为为 实际上，由于漏磁因素等的影响，管内磁场强度实际上，由于漏磁因素等的影响，管内磁场强度B B的分布并非完的分布并非完全均匀，故特性具有非线性。但是，在铁芯移动范围内，能够寻找一全均匀，故特性具有非线性。但是，在铁芯移动范围内，能够寻找一段非线性误差较小的区域或者采用差动式结构，如图（段非线性误差较小的区域或者采用差动式结

17、构，如图（b b）所示，则）所示，则可得到较理想的改善。可得到较理想的改善。 2aa220 xrlrlWLmm=2aa20rlWxLKmm= 在差动式结构中，由于两线圈部分完全对称，故当铁芯处于中央对在差动式结构中，由于两线圈部分完全对称，故当铁芯处于中央对称位置时，两线圈电感相等，即称位置时，两线圈电感相等，即=22aa2202010 xrlrlWLLmmxrlWLxrlWL-=2aa2022aa201mmmm2aa202rlWKmm= 6.1.3 6.1.3 电感传感器的测量电路电感传感器的测量电路 电感传感器最常用的测量电路是交流电桥式测量电路，它有三种基电感传感器最常用的测量电路是交流

18、电桥式测量电路，它有三种基本形式，即电阻平衡臂电桥、变压器电桥、紧耦合电感比例臂电桥。本形式，即电阻平衡臂电桥、变压器电桥、紧耦合电感比例臂电桥。Usr .Z1 Z2 L1 L2 R1 R2 Rs1 Rs2 ZL UscUsr .Z1Z2 I . A B . UscUsr . I1 I2Z1Z2 Lc Lc M Usc . 1 2 3 (a) (b) (c) 1电阻平衡臂电桥电阻平衡臂电桥 图（图（a）所示是差动电感传感器所用的电阻平衡臂电桥，它把传感）所示是差动电感传感器所用的电阻平衡臂电桥，它把传感器的两个线圈作为电桥的两个桥臂器的两个线圈作为电桥的两个桥臂Z1和和Z2，另两个相邻的桥臂用

19、纯电，另两个相邻的桥臂用纯电阻阻R代替，对于高代替，对于高Q值的差动电感传感器，其输出为值的差动电感传感器，其输出为 电桥输出电压与电桥输出电压与 有关，相位与衔铁的移动方向有关。有关，相位与衔铁的移动方向有关。=0srsc2UU 2 2、变压器式电桥电路、变压器式电桥电路 相邻两工作臂为相邻两工作臂为Z Z1 1、Z Z2 2，是差动电感传感器的两个线圈的阻抗。另，是差动电感传感器的两个线圈的阻抗。另两臂为变压器次级线圈的两半，输出电压取自两臂为变压器次级线圈的两半，输出电压取自A A、B B两点。且传感器线圈两点。且传感器线圈为高为高 Q Q值，那么我们就可以推导其输出特性公式为值，那么我

20、们就可以推导其输出特性公式为UUZZZUUU21211BAsc-=-= 当衔铁上移时当衔铁上移时 因为在因为在Q值很高时，线圈内阻可以忽略，所以值很高时，线圈内阻可以忽略，所以 同理可推出同理可推出 由式可见，衔铁上移和下移时，输出电压相位相反，且随由式可见，衔铁上移和下移时，输出电压相位相反，且随 的变的变化输出电压也相应地改变。化输出电压也相应地改变。ZZZ=1ZZZ-=2UZZUUZZZZU221211sc=-=ULLULLU2j2jsc=ULLU2sc-= 3 3、紧耦合电感比例臂电桥、紧耦合电感比例臂电桥（详见教科书（详见教科书） 紧耦合电感比例臂电桥常用于差动式电感或电容传感器，它

21、由以紧耦合电感比例臂电桥常用于差动式电感或电容传感器，它由以差动形式工作的传感器的两个阻抗作电桥的工作臂，而紧耦合的两个差动形式工作的传感器的两个阻抗作电桥的工作臂，而紧耦合的两个电感作为固定臂电感作为固定臂，组成电桥电路。紧耦合电感及其组成电桥电路。紧耦合电感及其T T型等效变换如图型等效变换如图所示。所示。 1 1 2 2 2 2 3 3 M LC LC Z13 Z12 Zp Zs Zs (a) (b) 6.2 6.2 差动变压器式电感传感器差动变压器式电感传感器 差动变压器式电感传感器：是把被测量变换转换为线圈互感变化来检测的传感器，即:互感系数M 差动变压器本身是一个差动变压器本身是一

22、个变压器变压器，初级线圈输入，初级线圈输入交流电压，次级线圈感应出电信号，当互感受外界影交流电压，次级线圈感应出电信号，当互感受外界影响变化时，其感应电压也随之起相应的变化。响变化时，其感应电压也随之起相应的变化。 由于变压器的次级线圈接成由于变压器的次级线圈接成差动差动的形式，故称为差的形式，故称为差动变压器。动变压器。 (e)(e)、(f) (f) 变面积式差动变压器变面积式差动变压器 (a)(a)、(b) (b) 变隙式差动变压器变隙式差动变压器(c)(c)、(d) (d) 螺线管式差动变压器螺线管式差动变压器 6.2.1 6.2.1 工作原理工作原理 差动变压器，有两个铁芯，上下两只铁

23、芯上均有一个初级线圈差动变压器，有两个铁芯，上下两只铁芯上均有一个初级线圈W W1 1（也称励磁线圈）和一个次级线圈（也称励磁线圈）和一个次级线圈W W2 2（也叫输出线圈）。上下两个初级（也叫输出线圈）。上下两个初级线圈串联后接交流励磁电源电压线圈串联后接交流励磁电源电压U Usrsr，两个次级线圈则，两个次级线圈则按电势反相串联按电势反相串联。 1 Usr (a) 2 2 1 UscUsr (b) Usc 6.2.2 6.2.2 差动变压器式传感器的特性差动变压器式传感器的特性 U Usrsr 初级线圈激励电压；初级线圈激励电压； L L1 1、R R1 1 初级线圈电感和电阻；初级线圈电

24、感和电阻； M M1 1、M M2 2 分别为初级与次级线圈分别为初级与次级线圈 l l、2 2间的互感；间的互感； L L2121、L L22 22 两个次级线圈的电感；两个次级线圈的电感； R R2121、R R22 22 两个次级线圈的电阻；两个次级线圈的电阻； 初级初级 次级线圈的匝数分别为次级线圈的匝数分别为 W W1 1、 W W2 2，当有气隙时，当有气隙时， 传感器的磁回路中的总磁阻传感器的磁回路中的总磁阻 近似值为近似值为R R UscUsr R1R21R22 L21 L22 L1 e21 e22 M1 M2 在初始状态时，初级线圈电感为在初始状态时，初级线圈电感为 初始时，

25、初级线圈的阻抗分别为初始时，初级线圈的阻抗分别为 此时初级线圈的电流为此时初级线圈的电流为 当有气隙变化当有气隙变化d d 时，两个初级线圈的电感值分别为时，两个初级线圈的电感值分别为 211211RWLL=11111LRZj=12112LRZj j=11sr12LRUIj=m=SWL0212m-=SWL0211 次级线圈的输出电压次级线圈的输出电压U USCSC为两个线圈感应电势之差为两个线圈感应电势之差而感应电势分别为而感应电势分别为式中式中M M1 1及及M M2 2为初级与次级之间的互感系数，其值分别为为初级与次级之间的互感系数，其值分别为 得得 2221SCEEU-=-=-=1222

26、1121IMEIMEjj=-=mmSWWIWMSWWIWM02112220211121-=-=220211121sc2mSWWIIMMUjj 整理上式整理上式 当当w wR R 时：时： 传感器的灵敏度：传感器的灵敏度： 因此：差动变压器式传感器的特性是因此：差动变压器式传感器的特性是线性的线性的； 其灵敏度取决于：其灵敏度取决于：磁系统的结构参数、初、次级线圈的匝磁系统的结构参数、初、次级线圈的匝数比、激磁电源电压的大小数比、激磁电源电压的大小。 可以通过可以通过改变匝数比改变匝数比及及提高电源电压提高电源电压的办法来提高灵敏度。的办法来提高灵敏度。11sr1211sc22LRUWWLUjj

27、-=sr012scUWWU-=0sr12SCUWWUS= 6.3 6.3 电涡流式传感器电涡流式传感器 电涡流传感器属电涡流传感器属主动测量技术主动测量技术，即：在测试中，测量仪器主动发射能，即：在测试中，测量仪器主动发射能量，观察被测对象吸收（透射式）或反射能量，不需要被测对象主动作量，观察被测对象吸收（透射式）或反射能量，不需要被测对象主动作功。功。 涡流传感器的测量属于涡流传感器的测量属于非接触测量非接触测量，特别是用于测量运动的物体。，特别是用于测量运动的物体。 电涡流式传感器特点：电涡流式传感器特点： 结构简单、体积小、频率响应宽、灵敏度高等特点，在测试技术中日结构简单、体积小、频率

28、响应宽、灵敏度高等特点，在测试技术中日益得到重视和推广应用。益得到重视和推广应用。 电涡流传感器的应用没有特定的目标电涡流传感器的应用没有特定的目标 ，一切与涡流有关的因素，在，一切与涡流有关的因素，在原则上都可用于测量目的。原则上都可用于测量目的。 6.3.1 6.3.1 电涡流式传感器的工作原理及特性电涡流式传感器的工作原理及特性 电感线圈产生的电感线圈产生的磁力线经过金属导体磁力线经过金属导体时，金属导体就会产生时，金属导体就会产生感应电感应电流流，该电流的流线呈闭合回线，类似水涡形状，故称之为，该电流的流线呈闭合回线，类似水涡形状，故称之为电涡流电涡流。 原理：原理： 电涡流式传感器是

29、以电涡流式传感器是以电涡流效应电涡流效应为基础，由一个线圈和与线圈为基础，由一个线圈和与线圈邻近的金属体组成。当线圈通入交变电流时，在线圈的周围产生一交变邻近的金属体组成。当线圈通入交变电流时，在线圈的周围产生一交变磁场磁场H H1 1，处于该磁场中的金属体上产生感应电动势，并形成涡流。金属体，处于该磁场中的金属体上产生感应电动势，并形成涡流。金属体上流动的电涡流也将产生相应的磁场上流动的电涡流也将产生相应的磁场H H2 2。H H2 2与与H H1 1方向相反，对线圈磁场方向相反，对线圈磁场H H1 1起抵消作用。从而引起起抵消作用。从而引起线圈等效阻抗线圈等效阻抗 Z Z或或等效电感等效电

30、感L L或或品质因数品质因数相应变化。相应变化。 金属体上的电涡流越大，这些参数的变化亦越大。金属体上的电涡流越大，这些参数的变化亦越大。 R R1 1、L L1 1线圈原有的电阻、电感（周围无金属体）；线圈原有的电阻、电感（周围无金属体）； R R2 2、L L2 2电涡流等效短路环的电阻和电感；电涡流等效短路环的电阻和电感； 励磁电流的角频率；励磁电流的角频率； M M 线圈与金属体之间的互感系数；线圈与金属体之间的互感系数； 电源电压。电源电压。 H 电 涡 流 L 磁 通 I R2 R1 M I2 L2 I1 L1 U U电涡流式传感器的工作原理及等效电路电涡流式传感器的工作原理及等效

31、电路 根据其等效电路，列出电路方程根据其等效电路，列出电路方程 解方程组，其结果为解方程组，其结果为 =-=-0jjjj2212121111ILIRIMUIMILIR2222222122222221222222211jLLRMLLLLRMLRLRMRIUZ-=-= H 电涡流 L 磁通 I R2 R1 M I2 L2 I1 L1 U 结论：结论：Z Z、L L、M M均为互感的函数。均为互感的函数。 对于已定的线对于已定的线 圈，圈，Z Z、L L 和和 Q Q 取决于：金属取决于：金属 体与线体与线 圈的相对圈的相对位置，金属体的材料、尺寸、形状等。位置，金属体的材料、尺寸、形状等。 当一个

32、参数随被测量而变化，其它参数不变时，采用电当一个参数随被测量而变化，其它参数不变时，采用电涡流式传感器，并配用相应的测量线路，可得到与该被测量相涡流式传感器，并配用相应的测量线路，可得到与该被测量相对应的电信号（电压、电流或频率）输出。对应的电信号（电压、电流或频率）输出。 应用：应用： 测量位移、金属体厚度、温度等参数，并可作探伤用。测量位移、金属体厚度、温度等参数，并可作探伤用。 22222212222222121111LRMRRLRMLLRLQ-= 6.3.2 6.3.2 电涡流式传感器结构及特点电涡流式传感器结构及特点 1 1变间隙式变间隙式 变间隙式传感器通常变间隙式传感器通常采用采

33、用扁平线圈扁平线圈，金属体与线圈平面平行放，金属体与线圈平面平行放置，如图（置，如图（a a）所示。）所示。 金属体是传感器的另一组成部分，它的物理性质、尺寸与形状金属体是传感器的另一组成部分，它的物理性质、尺寸与形状也与传感器特性密切相关。也与传感器特性密切相关。 金属体的电导率高、磁导率低者，其灵敏度高。同时，金属体金属体的电导率高、磁导率低者，其灵敏度高。同时，金属体不应过小、过薄，否则对测量结果均有影响。不应过小、过薄，否则对测量结果均有影响。 2 2变面积式变面积式 组成同变间隙式相似。组成同变间隙式相似。 原理：原理：是利用金属体与传感器线圈之间是利用金属体与传感器线圈之间相对覆盖

34、面积相对覆盖面积的变化，的变化，引起涡流效应变化的原理工作的。引起涡流效应变化的原理工作的。 优点：优点：其灵敏度和线性范围比变间隙式好。其灵敏度和线性范围比变间隙式好。 为了减小轴向间隙的影响，常采用图（为了减小轴向间隙的影响，常采用图（b b）所示的差动形式，）所示的差动形式，将两线圈串联，以补偿轴向间隙变化的影响。将两线圈串联，以补偿轴向间隙变化的影响。 6.3.2 6.3.2 电涡流式传感器结构及特点电涡流式传感器结构及特点 3 3螺线管式螺线管式 组成：组成：由绕在同一骨架上的两个线圈由绕在同一骨架上的两个线圈 l l、2 2和套在线圈外的金属短和套在线圈外的金属短路套筒所组成，筒长

35、约为线圈的路套筒所组成，筒长约为线圈的6060。 特点：特点： 线性比较好，但灵敏度不太高。线性比较好，但灵敏度不太高。 线圈 2 短路套筒 线圈 1 6.3.2 6.3.2 电涡流式传感器结构及特点电涡流式传感器结构及特点 4 4低频透射式低频透射式 励磁电压励磁电压U U1 1 施加于线圈施加于线圈L L1 1 的两端，在的两端，在L L2 2两端产生感应电动势两端产生感应电动势U U2 2。 当当L L1 1与与L L2 2之间无金属体时，之间无金属体时，L L1 1产生的磁场产生的磁场全部贯穿全部贯穿L L2 2，U U2 2最大；当有金属体时，因涡最大；当有金属体时，因涡流形成的反磁

36、场作用，流形成的反磁场作用，U U2 2将降低。将降低。 涡流越大，即金属导电性越好或金属板涡流越大，即金属导电性越好或金属板越厚，越厚，U U2 2将越小。将越小。 当金属体材料一定时，当金属体材料一定时，U U2 2将与金属板厚度相对应。将与金属板厚度相对应。 6.3.2 6.3.2 电涡流式传感器结构及特点电涡流式传感器结构及特点 注意：注意：电涡流传感器的线圈与被测金属体之间是电涡流传感器的线圈与被测金属体之间是磁性耦合磁性耦合的，利用的，利用耦耦合程度的变化作为测试值合程度的变化作为测试值。因此，传感器的线圈装置仅为因此，传感器的线圈装置仅为“实际测试传实际测试传感器的一半感器的一半

37、”，另一半是被测体。，另一半是被测体。 被测体的被测体的物理性质、尺寸和形状物理性质、尺寸和形状都与测量装置的特性密切相关。都与测量装置的特性密切相关。 在在电涡流式传感器的使用中，必须考虑电涡流式传感器的使用中，必须考虑。 6.3.3 6.3.3 影响涡流传感器灵敏度的因素影响涡流传感器灵敏度的因素 1 1被测体材料对测量影响被测体材料对测量影响 线圈的阻抗线圈的阻抗 Z Z与材料电阻率与材料电阻率r r 、磁导率、磁导率有关，它们将影响电涡有关，它们将影响电涡流的贯穿深度，影响损耗功率，也就引起传感器灵敏度的变化。流的贯穿深度，影响损耗功率，也就引起传感器灵敏度的变化。 2 2被测体大小和

38、形状对测量的影响被测体大小和形状对测量的影响 被测物体的面积比传感器的面积大很多时，灵敏度不发生变化；当被测物体的面积比传感器的面积大很多时，灵敏度不发生变化；当被测物体面积为传感器线圈面积的一半时，其灵敏度减少一半；面积更被测物体面积为传感器线圈面积的一半时，其灵敏度减少一半；面积更小时，灵敏度显著下降。小时，灵敏度显著下降。 被测体为圆柱体时，它的直径被测体为圆柱体时，它的直径D D必须为线圈直径必须为线圈直径d d的的3.53.5倍以上，才倍以上，才不影响被测结果，在不影响被测结果，在D Dd d为为 l l时，灵敏度将降低为时，灵敏度将降低为7070左右。左右。 被测体的厚度也不能太薄

39、。但一般来说，只要有被测体的厚度也不能太薄。但一般来说，只要有0.2mm0.2mm以上的厚度，以上的厚度，测量不会受到影响（铜、铝箔等为测量不会受到影响（铜、铝箔等为0.07mm0.07mm以上）。以上）。 3 3传感器形状和大小对传感器的灵敏度影响传感器形状和大小对传感器的灵敏度影响 传感器的主要构成是线圈，它的形状和尺寸关系到传感器的灵敏度传感器的主要构成是线圈，它的形状和尺寸关系到传感器的灵敏度和测量范围，而灵敏度和线性范围是与线圈产生的磁场分布有关。和测量范围，而灵敏度和线性范围是与线圈产生的磁场分布有关。 单匝载流圆导线在轴上的磁感应强度单匝载流圆导线在轴上的磁感应强度，根据毕奥根据

40、毕奥沙伐沙伐拉普拉斯拉普拉斯定律计算可得定律计算可得： 由图由图：半径小的载流圆导线，在靠近圆导线处产生的磁感应强度大；半径小的载流圆导线，在靠近圆导线处产生的磁感应强度大；而在远离圆导线处，则是半径大的磁感应强度大。而在远离圆导线处，则是半径大的磁感应强度大。 这说明，线圈外径大的，线圈的磁场轴向分布大，测量范围大，线这说明，线圈外径大的，线圈的磁场轴向分布大，测量范围大，线性范围相应就大，但磁感应强度的变化梯度小，因此灵敏度就低；性范围相应就大，但磁感应强度的变化梯度小，因此灵敏度就低；232220P2xrIrB=m 6.3.4 6.3.4 测量电路测量电路 1.1.调频式电路调频式电路

41、传感器线圈接入传感器线圈接入LCLC振荡回路，当传感器与被测导体距离振荡回路，当传感器与被测导体距离x x改变时，改变时，在涡流影响下，传感器的电感变化，导致振荡频率的变化。在涡流影响下，传感器的电感变化，导致振荡频率的变化。 变化的频率是距离变化的频率是距离x x的函数的函数 ：f f = = L L( (x x) )。 频率可由数字频率计直接测量，或者通过频率可由数字频率计直接测量，或者通过f fV V变换，用数字电压变换，用数字电压表测量对应的电压。表测量对应的电压。 频 率 计 电 压 表 F V 振荡器 C L x 2调幅式电路调幅式电路 传感器线圈传感器线圈L L和电容器和电容器C C并联组成并联组成谐振回路谐振回路，石英晶体组成石英晶体，石英晶体组成石英晶体振荡电路。石英晶体振荡器是一个恒流源，给谐振回路提供一个频率振荡电路。石英晶体振荡器是一个恒流源，给谐振回路提供一个频率（f f0 0）稳定的激励电流）稳定的激励电流I I0 0，LCLC回路输出电压为回路输出电压为 原理：原理：当金属导体远离或被去掉时，当金属导体远离或被去掉时，LCLC并联谐振回路频率即为石英振并联谐振回路频率即为石英振荡频率荡频率f f0 0，回路呈现的阻抗最大，谐振回路上的输出电压也最大；，回路呈现的阻抗最大，谐