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1、常见透射电镜衍衬像分析常见透射电镜衍衬像分析Jenny2012年11月16日电子像的衍射衬度电子像的衍射衬度质厚衬度质厚衬度衍射衬度衍射衬度相位衬度相位衬度质量厚度差异造成的透射束强度的差异而形成的衬质量厚度差异造成的透射束强度的差异而形成的衬度。度。不同区域满足布拉格条件的衬度不同以及结构振幅不同区域满足布拉格条件的衬度不同以及结构振幅不同而产生的衬度。不同而产生的衬度。电子束在试样出口表面上相位不一致,使相位差转换电子束在试样出口表面上相位不一致,使相位差转换成强度差而形成的衬度。成强度差而形成的衬度。v 电子像的衬度 (contrast)样品的两个相邻部分的电子束强度差。振幅衬度振幅衬度
2、TEM样品厚度 10 nm100150nm20500 相位衬度 HRTEM Z contrast image STEM 适合观察菊池线衍射衬度 明场相 暗场相样品厚度与衍衬像及衍射花样的关系样品厚度与衍衬像及衍射花样的关系TEM样品质量决定着最终的成像质量和微区分析的深入与否。样品质量决定着最终的成像质量和微区分析的深入与否。成像模式和衍射模式的工作原理成像模式和衍射模式的工作原理成像模式衍射模式拍摄前需所做准备工作拍摄前需所做准备工作操作的一般步骤依次为:电操作的一般步骤依次为:电子枪合轴调整、聚光镜合轴子枪合轴调整、聚光镜合轴调整、聚光镜消像散、电镜调整、聚光镜消像散、电镜电压中心调整、物
3、镜消像散、电压中心调整、物镜消像散、中间镜消像散及投影镜合轴。中间镜消像散及投影镜合轴。JEOL-2010 SJTU 电镜合轴 了解TEM电镜基本构造J 通常电镜工程师会定期对电镜进行合轴等精确调整,建立了专家系统,若电镜光路偏离很大,可调出专家的初始设置,在这基础上进行微调。电镜下的视场和注意事项电镜下的视场和注意事项等倾和等厚条纹等倾和等厚条纹等厚条纹等倾条纹明场像和暗场像示意图明场像和暗场像示意图明场像示意图一般暗场像示意图中心暗场像示意图弱束暗场像严格地讲也是属于中心暗场像,所不同的是:中心暗场像是在双光束条件下用g:-g的成像条件成像;而弱束暗场像是在双光束的条件下用g:3g的成像条件成像。弱束暗场像主要用于显示缺陷,比如位错像,位错像的分辨率会更高。 明场像和暗场像举例明场像和暗场像举例奥氏体的明场像和暗场像011(200)明场像和暗场像举例明场像和暗场像举例位错线的观察位错线的观察刃位错和混合位错在操作中可以采用gb0作为不可见判据,从而判断位错的伯格斯矢量b。位错的观察位错的观察二维晶格像的应用二维晶格像的应用Moir
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