洁净室微震防护.复习过程

1、CTC第一页，共14页。Century Technology(ShenZhen) Co., LTD.Century Technology(ShenZhen) Co., LTD.深耕中国超越世纪深耕中国超越世纪CTCCTC潔淨室微振說明潔淨室微振說明2016-02016-07 7- -1616第二页，共14页。CTCCTC課程大綱課程大綱一、何為振動二、振動與潔淨室之關係三、防振基座(j zu)介紹第三页，共14页。CTC依時域特性依時域特性(txng)(txng)區區分分第四页，共14页。CTC依振幅依振幅(zhnf)(zhnf)區分區分(位移(wiy)量)第五页，共14页。CTC第六页，共1

2、4页。CTC廠區的振動來源廠區的振動來源廠內振動來源廠外振動來源廠外振動來源第七页，共14页。CTC 如何如何(rh)(rh)克服這些振動？克服這些振動？第八页，共14页。CTC型式說 明備 註(A)、鋼板及補強腳、鋼板及補強腳機台無振動或剛性需求，但重量稍重，以鋼板或輕重型補強腳座分散機台重量。(補強高架地板強度的不足)如:一般輕型機台(B)、荷重隔離基座、荷重隔離基座機台本身會產生振動或本身重量很重，高架地板無法承受，必須拆除高架地板設置鋼結構基座。(原高架地板需拆除)如:曝光機機械手臂(Robot)(C)、水泥隔離基座、水泥隔離基座機台本身對於微振動(位移)特別敏感，必須拆除高架地板,以

3、水泥基座來達到最佳的隔振效果。 (原高架地板需拆除) 如:檢查機 防振基座(j zu)之分類克服克服(kf)人員站立海灘人員站立海灘克服房屋建置海灘克服房屋建置海灘克服望遠鏡建置海灘克服望遠鏡建置海灘第九页，共14页。CTC重型重型(zhngxng)腳座腳座輕型腳座輕型腳座鋼板分散鋼板分散(fnsn)板板 防振基座(j zu)之分類A - 鋼板分散板及補強腳座鋼板分散板及補強腳座適用於機台無振動或剛性需求適用於機台無振動或剛性需求,但重量稍但重量稍重時使用重時使用克服人員站立海灘克服人員站立海灘第十页，共14页。CTC 防振基座(j zu)之分類機台有振動需求或本身重量很重，需要機台有振動需求

4、或本身重量很重，需要(xyo)作隔離平台與高架地板作區隔。作隔離平台與高架地板作區隔。B - 荷重荷重(hzhng)隔離基座隔離基座克服房屋建置海灘克服房屋建置海灘第十一页，共14页。CTC 防振基座(j zu)之分類C - 水泥水泥(shun)隔離基座隔離基座 C TYPE 側視圖側視圖 C TYPE 立體圖立體圖對於微振動位移極為敏感的機台，對於微振動位移極為敏感的機台，以水泥以水泥(shu(shun)n)基座來達到最佳的基座來達到最佳的隔振效果隔振效果( (抗低頻效果佳抗低頻效果佳) )。 克服望遠鏡建置海灘克服望遠鏡建置海灘第十二页，共14页。CTCC - 水泥水泥(shun)隔離基座隔離基座此基座型式此基座型式(xn(xn sh) sh)適合對於微振動極為敏感的機台，防止其他外部振動適合對於微振動極為敏感的機台，防止其他外部振動源傳遞進來。源傳遞進來。 如：檢測機台，高精