洁净室尘土来源分析以及究极除尘手法介绍 09

1、第九章：第九章：dust的举动和测定的举动和测定9.1 dust(Particle)的举动9.1.1 重力落下运动9.1.2 惯性的运动9.1.3 静电的附着9.1.4 与空气分子冲突的布朗运动9.2 dust的测定9.2.1 particle counter9.2.2 测定的原理影响CR内的粒子运动的力有室内的气流、重力、移动时的惯性力、带电后的静电产生的吸引力和阻力、与空气分子的冲突等。挙動左右。浮力影響受力違。一般小重力影響受、気流乗浮遊。大、重力左右受、落下。、空気抵抗受、落下、空気抵抗空気圧力関係圧力高、抵抗大、落下。随着气流浮游的粒子中，气流改变方向时，由于惯性力，其变化很难推定，

2、有些则和气流分离。比如说，垂直流向wafer的气流改变方向时，小而轻的粒子就会随着气流而改变方向，相反大而重的粒子由于惯性力，没能随着改变方向而是直接附着到wafer上面了。在日常生活中我们经常可以看到，dust会被带电的物体所吸引粘在一起。周围物体的带电性越强，粒子越小，就越容易受到静电的影响而变得容易附着。另一方面，粒子本身和空气分子冲击后也很容易带电。粒子带电的情况下，会受到很强的静电影响。粒子越小，由于受到热运动的周围空气分子的影响，与其冲突，就与四处扩散。这种现象称之为布朗运动。；粒子越小，其扩散的范围越大，越容易和气流分离附着到wafer上。另外，由于布朗运动粒子会互相冲突，连接在

3、一起而变大。布朗运动中的粒子随着扩散会渐渐地聚集在房间的四角。那么不同大小的粒子又会进行什么样的运动呢？在本章中，主要是将布朗运动的扩散速度和重力落下速度进行比较。粒子越大，越容易受到重力影响快速的下降，相反粒子越小受到重力的影响很小，却容易受到布朗运动影响而容易扩散。在维持管理CR的洁净度方面，需要CR内粒子的信息，也就是说要正确地掌握粒子的大小和个数。在此我们学习测量空气中粒子的方法。测量空气中浮游粒子的装置叫做particle counter。这种装置是将所要测量空间的空气吸入，采用光散乱的方式来测量粒子的大小和个数。能够显示counter的性能的代表性指数有三个，分别是粒子的大小，sa

4、mpling的空气流量和计数效率。最近有一种可以每分钟0.1立方英尺的吸引速度来测量0.05 的高性能的counter。但是人们却多使用以每分钟1立方英尺的吸引速度来测量0.1 的counter。其实在高性能的CR中，想要正确的测量粒子，就需要吸入更多的空气。光散乱式particle counter，首先照射吸入进来的空气，测定空气中的粒子发出的散乱光。析出的散乱光被转换为电子信号得出输出脉冲，从而计算出粒子的个数和大小。作为光源一般多使用雷射光，多采用波长为633纳米的helium neon laser 光。粒子的个数是根据输出脉冲的个数，粒子的大小是根据输出脉冲的强度来计算的。此时，计算粒

5、子大小时，需要一个根据曲折率决定的基准粒子，也就是通常所说的PSL，是曲折率为1.595的polystyrene latex 的球形粒子。也就是说和这个粒子产生的散乱光进行比较，来推定粒子的大小。实际上，每个粒子的曲折率是不一样的，而且有着复杂的形状，所以此时推定出来的大小未必与实际一致。Particle counter得出的测定值是将粒子看作某个大小的球状粒子，得出来相对直径。問題-1CR内的（ ）混乱后，CR中浮游的dust就会附着到wafer上。A；气流B：人的活动C：温度调整D：湿度调整問題-2管理CR内的dust所需要的信息有dust的大小和（ ）。A：重量B：形状C；个数D：空间分布問題-3大的粒子受到（ ），开始重力落下运动。A：静电B；空气抵抗C：浮力D：惯性力問題-4Particle越小，受到周围空气分子冲击后，就会四处扩散。这种活动称之为（ ）。A：惯性运动B：散乱运动C；布朗运动D：冲突运动問題-5Particle越（ ），越容易受到静电的影响互相吸附。A