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文档简介

1、1.Abort取消操作2.Abnormal异常3.Acetic AcidCH3COOH )醋酸4.Acetone ( CH3COCH3 )丙酮5.Acid酸6.Add增加7.Adjust调整8.Air Shower洁净走道9.Alignment对准10.Alloy合金11.AluminumAl)铝12.AmmoniaNH4OH )氢氧化胺(俗称: 氨水)13.Analysis分析14.AR氩气15.Automation自动化B 开头的单字I1.Bake烘烤2.Bank暂存3.Barcode条形码4.Batch整批5.BHLD被工程师或客户 Bank HoldRun 的货A 开头的单字短时间内不

2、会6.Blue Tape蓝膜7.Boat石英晶舟8.Bottom底部9.Breakdown Voltage击穿电压10.Broken破片;损坏11.Buffer生产暂存区12.Buffer Chemical缓冲液C 开头的单字1.Calibration校正;调整2.Camera照相机;摄影机3.Cancel清除4.Candela ( cd )烛光5.Cart手推车6.Cassette晶舟7.Certify技能认证8.Chamber反应室9.Charge电荷10.Chipping崩裂11.Chip Suction Pen真空吸笔12.Chip Transfer - m(Machine)翻转机13

3、.Clean Bench清洗台14.Clean Room洁净室15.Cleaning清洗CVD(Chemical Vapor Deposition)化学汽相沉积Data资料;数据Date日期Cleaning SequenceClearCoatCoaterCoatingCompletedConfirmContactContaminationControl Wafer ( C/W )ControllerCooling WaterCrucible ,PotCuringCustomerCycle Time D 开头的单字1.Daily Monitor清洗程序清除涂布上光阻机台上光阻;涂布上整个表面结束

4、;完成确认接触污染控片控制器冷却水坩埚烘烤客户生产周期每日检测DefocusDel(Delete)DelayDepartmentDeposition(DEP)DevelopDeveloperDie , ChipDI WaterDicingDownDrainDry EtchingDry PumpDummy Wafer ( D/W )E 开头的单字E/R(EtchingRate)Emergency StopEMOEndpointEngineerEpi -wafer散焦;无法聚焦清除;删除延迟部门沉积显影显影器;显影液晶粒(台);芯片(陆)去离子水切割当机泄出干蚀刻干式 ( 无油封 ) 的真空泵挡片

5、蚀刻率紧急停止紧急停止按钮终点值工程师磊晶片(台);外延片(陆)Error MessageEtchingEvaporationExhaustExpanding MachineExposure F 开头的单字FACFacilityFilmFocusForwardCurrentForwardVoltage ( Vf )FQCFurnaceGallium (Ga)GOR(General OperationRule)Group H 开头的单字1.HandleG 开头的单字错误讯息蚀刻蒸镀抽出;抽风管;排(废)气扩张机曝光;曝光量厂务厂务水电气系统薄膜聚焦;焦距顺向电流顺向电压最终检验员炉管镓厂区操作规

6、则群组处理强调高真空高电压史7.HMDS界面活性剂8.Hold扣留;暂停9.Hold Date留置日期HighlightHigh VacuumHigh VoltageHistory留置原因11.Hold User留置者12.Hot Run很急件13.Hydrochloric AcidHCL)盐酸14.Hydrofluoric AcidHF)氢氟酸15.Hydrogen Peroxide 开头的单字H2O2 )双氧水1.Idle休息2.Initial初始状态3.Inspection检验4.IPA(Isopropyl Acetone)异丙醇5.IPQC制程检验员6.IQC进料检验员10. Hold

7、 Reason项目Item TOC o 1-5 h z J 开头的单字JobJob - NameK 开头的单字Key LockKeyboardL 开头的单字LeakLHLDLight EmittingDiode (LinkLithographyLogLost在 Run 货LotLot HistoryInformationLot -IDLot InformationLot NoteLot Note InformationLot Owner工作程序名称代号功能键;指令键键盘泄漏被 Hold 住的货 (Hold 在上一站 )LED ) 发光二极体连结;线微影记录机台是清空的,无人操作机台或机台没批货

8、批货历史资料批货编号批货信息批货批注批货批注信息货主Lot ProcessStatusLot StatusLPHLCall 工程师或执行Run CardLuminous Intensity(Iv ) M 开头的单字MaintainMaintenanceManufactureMarkMaskMergeMetalMicroscopeMisalignMissing LotMiss operation ( MO )Multi批货生产状态批货状态被工程师 Hold 在当站,请依 Lot Note光的强度(单位:cd , mcd )维护维修;保护制造记号光罩合并金属显微镜;实体显微镜对偏失踪批货错误操作多重的Native OxideLayerNHLD而设的 Hold(Hold 在下一站 )Ni

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