电子束光刻系统参数要求

1、电子束光刻系统参数要求采购预算：1300 万，具体参数要求如下：一、工作条件电源电压： AC 230V 10%，50 Hz 三相环境温度： 15-25 ，电子枪区域 21 +/- 0.25 相对湿度： 40 - 70%、设备配置高斯束电子束曝光系统电子束曝光系统主机热场发射电子枪 50KeV/100KeV可切换，电子枪寿命不低于 8000 - 12000 小时210mm*210mm运动范围激光干涉样品台激光干涉仪 精度 0.15nm自动动态对焦，像散矫正，写场畸变矫正系统自动激光高度测量升级 125MHz图形发生器升级 1mm大写场2 工位真空仓自动进样系统预对准显微镜系统预装 Linux 的

2、计算机系统（至强 4 核处理器， HP Z840 同等或以上档 次）含电子束曝光设备系统控制软件电子束曝光数据处理优化软件及临近效应修正 / 蒙特卡洛模拟计算软 件，含数据处理用计算机系统标配 3 个以上样品架，包括 6”掩模版， 6”硅片， 4”硅片， 2”硅片 及散片。其中一个可同时安放至少 4 个样品包括 2”硅片，散片样品。（用 户也可根据需要自行选择）配备至少 20kVA的不间断电源。其他附件、零配件三、技术服务技术文件（印刷版和详细电子版各一套 ）设备的基本结构和使用说明书、操作手册及维修保养说明书主机和各功能部件的性能指标、基本结构和使用说明书，全套维修保养说明书软件的操作手册各

3、类操作指令手册安装调试设备安装：a） 合同生效两周内投标方应提供设备安装、调试等必备的技术文件，协助 用户提前作好设备安装的准备工作。b） 设备抵达安装现场后一周内，供应商按照用户通知的日期选派经验丰富 的工程师负责检验和安装调试，二个月内完成验收。验收标准： 卖方须提供该设备出厂质量检测标准和试验方法， 应及时更换在验收中指标 未达到要求的部件，验收指标必须满足或优于标书的技术指标。技术培训安装后进行 2 周的现场培训（地点在厦门大学），内容包括仪器的技术原理、 操作、数据处理、 基本维护等确保所有基本参数准确可以运用。 公司提供免费参 加国内设备用户交流培训会。售后和保修服务4.1 保修服

4、务期至少 3 年（自设备验收合格之日起） 。保修期内： a，保修包括所有投标商制造部分，包括人工费，差旅费及零部件费，免运 输费用。不在保修范围内的部件及事项需在合同中注明。b，故障响应：在保修期内仪器出现问题，接到用户报修要求，响应时间为24 小时内，如果无法通过网络和电话诊断排除故障，需要在 72 小时到达现场。 c，保修期外，出现故障，每次维修，必须问题排除后再支付费用。维修部 分质保半年。d，维修不得超过 10 个工作日（运输时间和在中国海关报关时间不计入） ， 每超过 1 个工作日维修部分的保修在原有保修的基础上， 相应顺延。 如果超过三 十个工作日不能解决问题， 厂家售后服务经理必

5、须给出具体解决方案和时间的书 面承诺。e，投标商厂家要承诺十年內对以上要求做出必须实践的保证，不得以投标 商厂家人员更换等因素拒不执行。保修期后，中标方（供应商）涉及维修的所有配件，在保修期外享受整机优 惠；或以一定的优惠价格出售买方，须列出价格清单。软、硬件的升级保修服务期内供方应向用户提供设备软件升级服务； 与之相关的硬件升级只收 取成本。保修服务期后， 提供设备软件必要的更新服务， 软件功能升级和硬件升 级收取成本费。交货日期合同签订后需在 9 个月内交货。本次设备采购采用综合评分法，具体办法如下：序号评分界定分值1、 技术因素（满分 65 分，其中 为必须满足项）1-1电子枪（ 8 分

6、）1）电子枪加速电压：不低于 100 kV （满足得 1 分，正偏离加 1 分），可在 100 kV 和 50 kV 之间切换（满足得 1 分）32）电子枪束流范围： 5 pA 到 100 nA（满足得 1分，高束流值正偏 离至 200 nA得 2分，至 300 nA以上得 3分），连续可调，自动切 换并校准后立即可用（满足得 0.5 分）3.53）电子枪寿命不低于 8000 - 12000 小时（满足得 0.5 分）0.54）可实现全自动设置和操作，包括电子枪预热、对焦调整、像散 调整、偏转校正、束流和束斑尺寸切换调节，自动校准，自动上 下换片，自动连续曝光等（满足得 1 分）11-2电子束

7、（ 12 分）1）100 kV 加速电压下不同束流的束斑尺寸：100 pA 以下束流（ 1.9 nm ）；（满足得 2分）100 nA 束流（ 50 nm）；（满足得 2分）42）最小束斑尺寸不大于 1.9 nm3）电子束自动对焦高度调节范围：不小于50 m（满足得 1 分）14）束流漂移： 最大值 0.5%（开环不进行周期校准下） （满足得 2 分）25）束位置稳定性：最大值 50 nm/hr ，典型值 10 nm/hr （开 环不允许周期性校准情况下） （每满足一项得 2 分）46）曝光 Dose 调节范围： 32bit （232 级）0.57）标配采用背散射电子传感器进行快速精确标记定位

8、和SEM成像0.51-3图形发生器（ 9.5 分）1）最大扫描频率：不小于 100 MHz （ 1分，正偏离加 2分）32）偏转系统：主刻写场采用 20bit 低噪声偏转系统（ 1 分）；子刻 写场采用 14bit 偏转系统（ 0.5 分）1.53）最大刻写场范围： 1048 m1048 m（100 kV ），写场连续可 调（满足得 1分，正偏离得 2 分）2序号评分界定分值4）主场畸变： 20 nm 1mm写场（ 100 kV）（满足得 1 分，正偏 离得 3 分）31-4工件台（ 8.5 分）1）样品台最大运动行程：不小于 190 mm 170 mm（满足得 1 分， 正偏离得 2 分，可

9、写满整 8 寸晶圆得 3 分）32）样品台最高运动速度：不小于 15 mm/s（满足得 1 分，正偏离得2 分）23）样品台稳定性：样品台运动由激光干涉仪测量后实时反馈控制电子束偏转进行自动补偿0.54）样品台激光干涉仪分辨率：不大于0.6 nm （满足得 1分，正偏离得 3 分）31-5光刻精度（ 9 分）1）最小线宽： 8 nm（ 100 kV ，100m写场）15 nm（100 kV ， 1 mm写场）2）拼接精度（直写模式） ： 20 nm（ 100 kV，200m写场）（满足得 1 分，正偏离得 2 分） 30 nm（ 100 kV，200m写场）（满足得 1 分，正偏离得 2 分）

10、43）套刻精度（直写模式） ：20 nm（ 100 kV， 200m写场）（满足得 1 分，正偏离至 10nm 得 1.5 分，正偏离至 5 nm 得 2 分） 30 nm（ 100 kV ， 1mm写场）（满足得 1 分，正偏离至 20 nm 得1.5 分，正偏离至 10 nm 得 2 分）44）定位套刻标记速度：自动寻找 50 个对准标记时间不大于 90 s （满足得 1 分）11-6自动进样仓（ 5 分）1）配置全自动两工位真空进样室，实现至少三个样品架的承载和自动上下料（满足得 1 分）12）标配 3个以上样品架，包括 6”掩模版， 6”硅片，4”硅片， 2” 硅片及散片。其中一个可同

11、时安放至少 4 个样品包括 2”硅片，散 片样品（全部满足得 3 分，否则 0 分）3序号评分界定分值3）配备和系统配套的预对准显微镜，通过样品架上的旋钮直接调 整样品旋转角度，精度 0.2 度（满足得 1 分）11-7其他软硬件（ 2 分）1） 配备电子束曝光图形处理软件包Genisys （含数据准备处理，临近效应校准模块和蒙特卡洛模拟计算模块） （满足得 1 分） 2）配备安装以上软件包的数据处理计算机工作站 （至强 4 核处理 器，HP Z840同等或以上档次） （满足得 0.5 分） 3）配备至少 20kVA 的不间断电源（满足得 0.5 分）21-8整体性能评价，由评标专家根据各投标

12、人投标产品的整体性能进行综合评价， 优得 5 分，良得 3 分，一般得 1分。51-9服务部分： 维保、保 障、和培训 及其他（ 6 分）1）保修期内售后服务方案： a、质保应包括所有投标商提供部分，包括人工费，差旅费及 零部件费，免运输费用。b、故障响应：在保修期内仪器出现问题， 接到用户报修要求， 响应时间为 24 小时内，如果无法通过网络和电话诊断排除故障， 需要在 72 小时到达现场。c、保修期外，出现故障，每次维修，必须问题排除后再支付 费用。维修部分保修半年。d、维修不得超过 10个工作日 （运输时间和在中国海关报关时 间不计入） ，每超过 1 个工作日维修部分的保修在原有保修的基

13、础 上，相应顺延。 如果超过三十个工作日不能解决问题，厂家售后服 务经理必须给出具体解决方案和时间的书面承诺。e、投标商厂家要承诺十年內对以上要求做出必须实践的保证， 不得以投标商厂家人员更换等因素拒不执行。 以上要求，投标人提供的服务方案满足一项得 0.2 分。12）保修期后服务方案： 保修期后，中标方（供应商）涉及维修的所有配件，保修期外享受 整机优惠，或以一定的优惠价格出售买方，须列出所有配件及价格 清单。投标人提供配件优惠承诺并列出清单得 0.5 分。0.53）软、硬件的升级：a） 供方应向用户提供终身仪器软件升级服务；b） 与之相关的硬件升级只收取成本；0.5序号评分界定分值（满足得

14、 0.5 分、不满足得 0 分）4）至少提供 3年的保修服务，提供 3年不得分； 提供 4年保修服 务得 1 分，提供 5年保修服务得 3分。35）培训方案：安装验收合格后进行 2 周的现场培训（地点在厦门大学） 。公 司提供免费参加国内设备用户交流培训会。培训和开发支持方案： （ 1）具有完善的培训方案：培训目标明 确、培训安排合理、培训内容全面、培训资源和能力情况。培训内 容包括设备的技术原理、操作、数据处理、基本维护等确保所有基 本参数准确可以运用。 （ 2）配合装机调试。（满足得 1分、不满足得 0 分）12、商务因素（满分 5 分）2-1同类业绩投标人 2015 年至今具有本次招标同类产品销售业绩，每台加 1 分，最高得 4 分。投标人须同时提供该业绩项目的中标公告（提 供相关网站中标公告的下载网页并注明网址）或中标通知书复印 件、销售合同复印件，以及能够证明该业绩项目已经采购人验收合 格的相关证明文件复印件。42-2交货期基准交货周期 9个月。投标人承诺交货期达到该要求的得1 分，交货期超