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文档简介

1、扫描电子显微镜SEM（JSM-5610LV）JSM-5610LV是日本电子光学实验室（JEOL）研制的高分辨率扫描电子显微镜，二次电子象的分辨率为3nm,背反射电子象的分辨率为4.5nm。操作简便快捷，充分利用个人电脑可以实现SEM的所有操作。一.工作原理由电子枪所发射出来的电子束,在加速电压的作用下,经过两个电磁透镜,会聚成一个细小的电子探针,在末级透镜上部扫描线圈的作用下,使电子探针在试样表面做光栅状扫描。高能电子与物质相互作用,在试样上产生各种信息如二次电子、背反射电子等。从试样中所得到各种信息的强度和分布各自同试样的表面形貌、成分、晶体取向、以及表面状态的一些物理性质（如电性质、磁性质

2、等）等因素有关,因此,通过接受和处理这些信息,就可以获得表征试样形貌的扫描电子象,或进行晶体学分析和成分分析。其工作原理图如下：扫描电子显微镜的工作原理框图二.JSM-5610LV扫描电子显微镜的工作模式HV模式：电子枪室工作气压约O.ImPa,成象类型SEI,BEILV模式：电子枪室工作气压约ImPa,成象类型BEI三种（成分象，形貌象，阴影象）三.JSM-5610LV扫描电子显微镜的主要性能指标HV模式分辨率（SEI）放大倍数保证3.0nm(Acc.V30kV，WD6mm)18300,000LV模式分辨率（BEI）样品室气压保证4.5nm(Acc.V30kV，WD8mm)可调气压10270Pa(最低气压1Pa)SEI:二次电子象WD：工作距离BEI:背反射电子象HV：高真空度Acc.V:加速电压LV:低真空度四.JSM-5610LV扫描电子显微镜的特点操作简便快捷，所有的操作均可以通过电脑鼠标来完成。完备实用的自动功能：自动电子枪共轴调整、自动聚焦、自动象散校正、自动亮度/对比度校正等。配方功能【recipefunction】便于设定图象观测的最佳条件。低真空度模式可以观测不带导电涂层的非导电样品。安装能谱分析仪和单道波谱分析仪后，可以进行样品成分分析。五.扫描电子显微镜的应用三维形貌的观察和分析；在观察形貌的同时，进行微区的成分分

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