2022年真空泵行业发展现状及趋势分析

1、2022年真空泵行业发展现状及趋势分析根据国际真空技术统计工作组（International Statistics for Vacuum Technology，后 文简称ISVT）的分类，真空行业可根据真空度的不同要求和应用领域分为8个类别， 包括粗真空、工艺真空、工业真空、半导体、薄膜沉积（除半导体外）、太阳能、 仪器制造以及科学研究，ISVT将若干市场规模比较大的子领域比如半导体、科学仪 器、太阳能等进行了单独分类。图：真空分类2019年全球真空市场规模为45.4亿欧元（约350亿人民币），半导体行业应用占据 最大份额。根据ISVT，2019年半导体领域真空市场需求约17.3亿欧元（约13

2、5亿人 民币），半导体需求占比达到37%左右。2019年全球真空市场规模为45.4亿欧元（约350亿人民币），市场规模相对稳定， 半导体行业应用占据最大份额。根据ISVT数据，2017-2019年真空的市场规模为 44.9/48.8/45.4亿欧元，市场规模相对稳定。其中半导体需求占比达到37%左右，2019 年半导体领域真空市场需求约17.3亿欧元（约135亿人民币）。1.真空泵在半导体行业应用广泛，设备更新需求大真空泵被广泛应用在单晶硅制造、晶圆加工、封装测试等工艺中。真空泵在半导体 行业中可用于拉晶、Load Lock、Etching、CVD、ALD、封装、测试等工序。根据 Edward

3、s官网资料，一个月产4万片的晶圆厂，通常需要1000个减排系统，2000个 干泵，以及至少500个涡轮分子泵。图：干式真空泵在半导体行业中的应用（1）假设每月4万片产能的12寸晶圆产线需要干式真空泵2000台，涡轮分子泵500 台；（2）平均更新年限假定为10年（每年更换存量真空泵的10%）；（3）半导体 用干式真空泵价格假定15万元/台，分子泵假定12万元/台；（4）服务市场为总需求规模的25%，即为设备需求1/3。（2019年Altas真空部门服务收入占总收入的25%）。（5）2025年的装机预测取IC Insights的估计值，2021-2025年我们根据2025年的装 机预测做了平滑处

4、理。预计到2025年全球半导体真空泵的设备与服务需求达到217亿元，其中设备需求约 162亿元，服务需求约54亿元。存量需求占据主导，支撑需求稳中向上。根据测算， 存量真空泵的更新与服务市场占整个设备市场的60%70%左右，庞大的存量市场保 证了半导体真空泵的稳定需求。2.光伏下游扩产积极，真空泵需求快速扩张干式真空泵可用于硅片的拉晶环节、电池片的钝化镀膜环节（PECVD/ALD设备）、 组件的层压环节等。图：干式真空泵在光伏行业中的应用光伏巨头大规模扩产，真空泵需求快速扩张。2021年隆基股份硅片产能预计达到105GW，中环股份硅片产能达到85GW，电池片、组件环节厂商也纷纷加码产能。 根据

5、测算，2021-2023年光伏行业真空泵设备市场需求规模分别为49.8/54.3/47.3亿 元，较之前大幅增长。3.光伏到半导体，真空泵国产替代空间广阔全球真空市场集中度较高，龙头占据绝大部分份额。全球真空领域的主要公司有 Edwards（英国，被Atlas收购）、Pfeiffer Vacuum（普发，德国）、Ebara（荏原， 日本）、Kashiyama（坚山工业，日本）等。以2019年为例，以Atlas真空部门的收 入约26.9亿美元、Pfeiffer Vacuum公司收入约7.1亿美元，同年全球真空市场规模 45.4亿欧元（约51亿美元），我们可以得到Atlas的市占率约53%，处于绝

6、对龙头， Pfeiffer市占率约13.9%。图：2019年全球真空领域市场竞争格局目前国内真空泵企业已在光伏领域有较大突破，半导体领域逐步切入。光伏环节， 根据鲍斯股份2020年年报，公司真空泵产品打开光伏行业渠道，销售订单大幅增加， 根据鲍斯股份公告的2021年09月08日投资者关系活动记录表，2020年上半年公司真 空泵产品光伏领域占比60%，光伏领域主要客户是隆基；根据汉钟精机2020年年报， 公司真空产品在太阳能光伏产业已深耕多年，主要应用于拉晶及电池片制程，并实 现大批量供货及长时间可靠运行，以优异的性价比赢得了较大的市场份额；根据中 科仪招股说明书，公司干式真空泵产品也已被行业龙头企业隆基股份、晶盛机电大 批量采购使用。半导体领域，根据中科仪的招股说明