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文档简介

1、设半导体制造工艺主编，机械工设计说明设半导体制造工艺主编，机械工设计说明3D 虚拟车间教学 ，整合数字化教学资源，模拟企业真实生产环境，营造学生 学习的氛围，优化教学过程。从而解决传统教学无法解决的教学难题，提作品特色：学习资源数字化有丰富的课件、动画、 等资源可供学生随时 查阅；学习过程任务化教师“做中教”，学生“做中学”，以学生为主体；学习工具 化运用 3D 虚拟车间，寓教于乐，激发学生学习 ；技能一、学习目标与内容1 学习目标2学习主要内容3D 虚拟车间”这一仿真 ，按照任务提示一3学习重点及难点教学难点：了解氧化设备结构和运行。4问题设计3学习重点及难点教学难点：了解氧化设备结构和运行

2、。4问题设计二、学习者特征分析、学习环境选择与学习资源设计1学习环境选择（打（4）2学习资源类型（打（1）件（2）工 （3）专站（4）（6）（8）仿三3学习资源内容3学习资源内容、学习情境创设1学习情境类型2学习情境设计五、教法学法设计教学方法：学习方法：四六、学习活动组织学习设计（打，并填写相关内容按教师设定的四个任务，自主探索完成氧化工艺操作，并观察设备运2协作学习设计（打，并填写相关内容六、学习活动组织学习设计（打，并填写相关内容按教师设定的四个任务，自主探索完成氧化工艺操作，并观察设备运2协作学习设计（打，并填写相关内容、学生按小组总结教师针对学生总结、学生按小组总结教师针对学生总结3

3、教学结构流程的设计环内教学过程设计意图教师活动学生活动准环内教学过程设计意图教师活动学生活动准课前查阅学生上传作。出 的时情1. 了解氧化工艺操作的环境1 展示两种硅片，引导学生观察颜 别，思考其净化车间 ，展3D工艺操作 。化层之后颜色会发生变净化车间 并思制造 3D 虚拟车间。了解 使用方法。 3D 虚拟车 习 ，创任学习氧化工艺流程和操作确定学习任点评学生作业， 多见任学习氧化工艺流程和操作确定学习任点评学生作业， 多见解各操作步骤顺序和注意下达学习任务，分为更衣、 、氧化、检测四个净化要求， 、氧化、检测各流程要求观察氧化设纠正作业中存在的错任氧化工艺流氧化工艺操作要领和注意完成更衣、 、氧化、检测四个工艺环节的操后在课程 上 企业果做错那就再次进行练设备运行情况，了解其依托 3D 虚难点 的 突评组织学生 考核。查看自己的成绩和用通过 考提评组织学生 考核。查看自己的成绩和用通过 考提延出错的操作继续七、学习评价设计1测试形式与工具（打（4）学2测试内容1.3D 2.运用 3D 虚拟车间开展工艺流程教学可以推广到本课程的光刻、刻蚀等工序的八1.3D 2.运用 3D 虚拟车间开展工艺流程教学可以推广到本课程的光刻、刻蚀等工序的八、板书设计及教学1.教学内容及板书

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