ESD控制方案认证检验检测技术

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检测技术主讲：刘长雄QIHANG上海企航科技咨询有限公司2ESD控制方案认证检验

检测技术主讲：刘长雄QIHANG上海一、认证检验计划要求3一、认证检验计划要求3文件化的质量管理体系架构质量手册程序文件作业标准、检查标准质量记录、作业记录质量方针、目标文件化的管理体系写做记说一致ESD控制方案方案计划、验证计划、其它作业指导书验证记录、作业记录ESDS20.20标准要求ISO9001标准要求4文件化的质量管理体系架构质量手册程序文件作业标准、检查标准质1、静电放电控制方案计划目的：本标准的目的是提供行政和技术上的要求，以及建立，实施和维护静电放电的控制方案(文中称“方案”)。

各单位应制定一个静电放电控制方案计划，将方案中的每一个要求都一一列出。这些要求是：•培训•认证检验•接地及等电位相连系统•人员接地•静电放电保护区之要求•包装系统•标记静电放电控制方案计划是实施和检验静电放电控制方案的首要文件。其目标是全面实施和整合一个与内部质量系统要求相符合的方案。该静电放电控制方案计划应适用于单位内部工作的各个方面。51、静电放电控制方案计划目的：本标准的目的是提供行政和技术上2、认证检验计划认证检验计划的建立，是要确保单位能够满足静电放电方案计划的要求。认证检验计划应该明确要进行检验的技术要求，相关的测试范围及认证频率。根据此计划进行认证检验。认证检验计划还应规定，检测和测试方法及设备。如果单位采用的方法与本文件所列出的标准有差异，必须提供一个修改声明作为静电放电控制方案计划的一部分存档。认证检验纪录应该被确认并保存，以便证明符合了静电放电控制方案中的技术要求。所选择的测试设备应能够完成认证检验计划中定义的测量项目。检查频率建议可根据稽查之历史數据來订定62、认证检验计划认证检验计划的建立，是要确保单位能够满足静电3、合格检验与认证检验标准中有哪些合格检验及认证检验参数要求？哪些物品哪些地方要认证检验？要用什么检验设备？用什么方法检验？在静电放电控制产品和材料的初始选择的时候采用产品合格检验。可采用的方法为：产品规范复查，独立实验室评估或内部实验室评估。73、合格检验与认证检验标准中有哪些合格检验及认证检验参数要求4、哪些物品要定期验证？

ESDTR53-01：2019--静电放电保护设备和材料之达标验证---建议下列所述之静电放电防护品、材料及设备等应定期接受功能性验证检测：接地/搭接系统工作台面手腕带手腕带性能测试器防静电鞋地板材质服装座椅移动式设备(手推車)包装静电消除器人员接地系统设备定期保养、校准84、哪些物品要定期验证？ESDTR53-015、ESD物品检测频率与方式95、ESD物品检测频率与方式96、

静电用品测试标准项目标准手腕带及手腕带连接ANSI/ESDS1.1防静电服ANSI/ESDSTM2.1离子风机/离子静电消除器ANSI/ESDSTM3.1ANSI/ESDSP3.3台垫/工作台ANSI/ESDS4.1ANSI/ESDS4.2防静电地板/地面工程ANSI/ESDS7.1防静电座椅ANSI/ESDSTM12.1防静电鞋/拖鞋/脚束带ANSI/ESDSTM9.1ESDSP9.2地板-鞋系统ANSI/ESDSTM97.1ANSI/ESDSTM97.2屏蔽包装袋ANSI/ESDSTM11.31防静电材料ANSI/ESDSTM11.11-STM11.12STM13.1交流设备\烙铁及工具ESDSTM13.1-2000取放设备ESDSP10.1-2000术语、方法及技术要求ADV11.2ESDADV1.0标识：ANSI/ESDS8.1接地：ANSI/ESDS6.1工作站：ESDADV53.1包装：ANSI/ESDS541操作指南ESDADV2.0（手册）106、

静电用品测试标准项目标准手腕带及手腕带连接ANSI/7、ESDA认可的认证机构•DNVCertification,Inc.•BSI,Inc.•QMI,ADivisionofCSAGroup•NationalQualityAssurance,USA(NQA,USA)•LloydsRegisterQualityAssurance,Inc.(LRQA)•TUVAmerica,Inc•SGSSA•PSBCertification•BVQi(NA),Inc.117、ESDA认可的认证机构•DNVCertificati二、符合性验证技术12二、符合性验证技术121、接地/搭接系统符合性验证目的：确保EPA工作站内所有之工作台面、固定式装置、手持式装置及人员接地装置等均应連接至共同接地点(Commonpointground；CPG)。共同接地点再行連接至ESD接地/搭接參考点。一般ESD接地/搭接參考点应为交流电(AC)设备接地点。若采用辅助接地时，应搭接至交流电(AC)设备接地。检测设备：(A)直流奥姆计：可量测范围应为0.1Ω～1MΩ，精确度应为±10%。(B)交流电插座分析器：指示设备接地导线是否存在。地线与中线、火线与中性线、火线与接地线是否装置颠倒、设备接地线阻抗是否符合规范要求、(C)交流电电路测试器(阻抗计)：量测设备接地导体自电源插座至主电源控制盘中性搭接点间之阻抗值，也具可检测接线正确性。(D)兩条适当长度之检测連接导线。现场CPG须标识出来最好是AC地与静电地线分开131、接地/搭接系统符合性验证目的：确保EPA工作站内所有之万用表/直流奥姆计电压档：量交流、直流电压值电阻档：量接地、手环阻抗插头与拉环间阻抗为1MΩ±10%设备对CPG＜1.0欧姆与防雷地线距离20M!总接地＜10欧姆14万用表/直流奥姆计电压档：量交流、直流电压值设备对CPG＜1断路器的使用15断路器的使用15交流电插座分析器左零右火上地是否正确地、中线阻抗交流电插座分析器交流电电路测试器(阻抗计)＜1.0欧姆16交流电插座分析器左零右火上地是否正确交流电插座分析器交流电电接地点对CPG＜1.0欧姆17接地点对CPG＜1.0欧姆17钳形接地电阻测试仪•测量原理：测量回路电阻，仪表的钳口部分由电压线圈及电流线圈组成。电压线圈提供激励信号，并在被测回路上感应一个电势E。在电势E的作用下将在被测回路产生电流I。仪表对E及I进行量测，并通过欧姆定理：R=E/I测量范围：0.1Ω-1000Ω,分辨率；0.01Ω.＜1.0欧姆18钳形接地电阻测试仪•测量原理：测量回路电阻，仪表的钳口部分由自动厂房静电接地系统监测器：可同时并实时监测兩个作业员腕带和兩个工作枱面的ESD接地狀况有独立的安全警报声响告警装置采用电阻回路监控方式，准确而有效连续式静电腕带及工作台监测器：配有數字显示操控面板及管理锁实时量测接地系统之AC与DC阻抗可实时监测并有声光警报，256组记忆装置，可接计算机列印监测纪錄报告可侦测ESD接地和AC接地是否混接19自动厂房静电接地系统监测器：可同时并实时监测兩个作业员腕带和2、防静电手腕带接地实时监测器符合性验证标准没有作要求202、防静电手腕带接地实时监测器符合性验证标准没有作要求203、工作台面符合性验证目的：确保ESD防护工作台面、架子、抽屉、ESD防护储存设备是否搭接至接地/搭接參考点。电阻是否符合。(1)检测设备：高阻表(MeggerMeter/HighResistanceOhmmeter)(A)测量范围:1×103Ω～1.999×1013Ω(至少要10次方以上，最大可测电阻1×1016Ω)(B)圆柱电极：符合ANSI/EOS/ESD4.1规定。重2.27±0.06kg、半径63.5±0.25mm体积圆柱、导电接触材料硬度等级应为ShoreA：50-70。10V测试电压量测金属表面，兩电极间之电阻应小于1.0×103Ω。(C)直流(DC)奥姆计：可量测范围应为0.1～1MΩ，精确度应为±10%。(D)兩条适当长度之检测連接导线。213、工作台面符合性验证目的：确保ESD防护工作台面、架子、(2)检测程序：(A)验证前，勿立即清洁ESD防护工作台面。(B)将所有ESDS从工作台面移除。(C)工作台面上导电物品及具独立接地的交流电气设备仍维持接地。(D)将一条检测导线一端連接至电极，另一端連接至整合性电阻测试器。(E)将另一条检测导线一端連接至整合性电阻测试器，另一端連接至接地參考点。(F)将电极置于工作台面正中央，测试电压设定为10V，经一段适当之测试时间或待讀值稳定。(G)若指示电阻小于1.0×106Ω，则再行继续测试。地面距离100CM其它工作表面距离30CM，测试3--5次取平均.(H)若指示电阻等于或大于1.0×106Ω，则将测试电压改设定100V，再行重新测试工作表面。检测应包括ESD防护工作台上易磨损处或具明显脏污处。22(2)检测程序：(A)验证前，勿立即清洁ESD防护工作工作表面点对点阻抗测试大于1.0x106Ω，但应小于1.0x109Ω电压小于200V测五次取平均。23工作表面点对点阻抗测试大于1.0x106Ω，但应小于1.0x工作表面点对点阻抗测试大于1.0x106Ω，但应小于1.0x109Ω电压小于200V24工作表面点对点阻抗测试大于1.0x106Ω，但应小于1.0x工作表面点对地阻抗测试大于1.0x106Ω，但应小于1.0x109Ω电压小于200V测五次取平均25工作表面点对地阻抗测试大于1.0x106Ω，但应小于1.0x表面阻抗测试仪将表放在被测表面上，按住红色的测量钮，持续发亮的发光二极管（LED）指示出测量的表面阻抗量级。测五次取平均。量程指示

103=1千欧姆绿色LED

104=10千欧姆绿色LED

105=100千欧姆绿色LED

106=1兆欧姆黄色LED

107=10兆欧姆黄色LED

108=100兆欧姆黄色LED

109=1000兆欧姆黄色LED

1010=10000兆欧姆黄色LED

1011=100000兆欧姆黄色LED

1012=1000000兆欧姆红色LED

1012=绝缘红色LED

此表还可测量对地电阻每十二个月需校准表面阻抗表26表面阻抗测试仪将表放在被测表面上，按住红色的测量钮，持续发亮4、防静电手腕带符合性验证检测设备：(A)整合性电阻(率)测试器：量测范围至少为1.0×1010Ω奥姆计，开路测试电压为DC10V与100V(±10%)。(B)手持式电极：不锈钢圆柱棒、长度75mm(3inches)以上，直径25mm(1inches)、钢棒一端接香蕉插头或螺纹端子测试线。(C)一条适当长度检测导线。＜3.5×107欧姆0.8×106欧姆--

1.2×106欧姆274、防静电手腕带符合性验证检测设备：＜3.5×107欧姆05、人体综合阻抗测试检测设备：(A)整合性电阻(率)测试器：量测范围为5.0×104～1.0×1010Ω奥姆计，开路测试电压为DC7～30V。(B)手持式电极：不锈钢圆柱棒、长度75mm(3inches)以上，直径25mm(1inches)、钢棒一端接香蕉插头或螺纹端子导线。(C)足部电极：导电金属板305mm2(12inches2)。(D)兩条适当长度之检测連接导线。＜3.5×107欧姆＜1.0×109欧姆285、人体综合阻抗测试检测设备：＜3.5×107欧姆＜1.06、静电鞋阻抗测量<1×109欧姆<100伏<3.5×107欧姆296、静电鞋阻抗测量<1×109欧姆<3.5×1077、防静电移动式设备(手推車)符合性验证<1×109欧姆307、防静电移动式设备(手推車)符合性验证<1×1098、防静电地板符合性验证(1)检测设备：---与工作表面测量一致(A)整合性电阻(率)测试器：量测范围至少为1.0×1010Ω之奥姆计，并且其开路测试电压为DC10V与100V(±10%)。6次方以下用10V档。否则用100V档。(B)圆柱电极：重2.27±0.06kg、半径63.5±0.25mm体积圆柱、导电接触材料硬度等级ShoreA：50-70。当选用10V测试电压，量测金属表面时，其兩电极间之电阻应小于1.0×103Ω。(C)兩条适当长度之检测連接导线。318、防静电地板符合性验证(1)检测设备：---与工作表面测点对地测量注意：地面距离100CM，其它30CM、测试5次取平均＜1×109欧姆32点对地测量注意：地面距离100CM，其它30CM、测试5次取点对点测量注意：地面距离100CM，其它30CM、测试5次取平均4—6为导电地板，6—9为静电耗散地板＜1×109欧姆33点对点测量注意：地面距离100CM，其它30CM、测试5次取9、防静电服装符合性验证(1)检测设备:一般为高阻仪(A)整合性电阻(率)测试器：开路测试电压为DC100V(±10%)，范围至少为1.0×1012Ω。(B)兩圆柱电极：重量为2.27±0.06kg、半径63.5±0.25mm体积圆柱、导电接触材料硬度等级ShoreA：50-70。(C)兩条适当长度之检测連接导线。(D)绝缘支撑板：平坦绝缘板，大小足以支撑进行ESD材料检测工作。符合ASTMD-257规定，绝缘板表面电阻应大于1.0×1013Ω/sq。349、防静电服装符合性验证(1)检测设备:一般为高阻仪34静电工作服表面阻抗测试防静电装服(袖口对袖口)符合性验证可接地＜1×109欧姆普通静电服＜1×1011欧姆系统电阻＜3.5×107欧姆新品反复摩擦20次静电电压小于100V35静电工作服表面阻抗测试防静电装服(袖口对袖口)符合性验证可接10、防静电座椅符合性验证综合阻抗点对地3610、防静电座椅符合性验证综合阻抗点对地36点对点<1×109欧姆37点对点<1×109欧姆37点对点测量<1×109欧姆38点对点测量<1×109欧姆3811、其它用品表面阻抗<1×109欧姆3911、其它用品表面阻抗<1×109欧姆3912、静电消除器（离子风扇）符合性验证检测设备：(A)充电板监测器(CPM：chargeplatemoniter)：可携式验证工具组包括：电场计、可拆式(隔離导电)平板、平板充电器及接地线等组件。(B)码表或其它适当量测放电时间之工具。(C)测量尺。4012、静电消除器（离子风扇）符合性验证检测设备：40离子风机产生原理：A、强电场的条件下空气电晕电离，产生正负离子；B、A射线和β射线作用空气分子使之成为空气离子；C、高能射线（X射线）作用空气分让基电离……离子风机按形式分为:台式离子风机，卧式离子风机，悬挂式离子风机，微型离子风机输入电压：100VAC50、60Hz,120VAC/60Hz,230VAC/50Hz最大功率：25W左右离子平衡：0+/-25V（有的设备是本能，无需调较）消散速度：由1000V至100V小于1.5秒（最大风量）覆盖范围：30cm*150cm显示：亮-有高压电产生离子显示报警：测量仪内的感应器损坏保养三步曲清洁检测调较STM3.1-2000消散时间：用户自定

残留电压＜±50伏特41离子风机产生原理：A、强电场的条件下空气电晕电离，产生正负离检测程序放电时间(衰减时间)试验：(a)启动检测设备，并依照制造商建议予以设备置于稳定狀态。(b)将检测平板短暂性接地，并设定(或验证)为零电压值。(c)请勿于離子化气流场内，将可携式验证仪器进行归零(或进行充电)动作。(d)将检测平板充电至超过各电极初始检测电压之适当伏特數(例如1200～1500V)。(e)将检测板面向静电消除风扇的气流方向。(f)放电时间量测始于检测板电压衰减至初始测试电压(例如1000V)时，并停止于检测板电压衰减至最终测试电压(例如100V)。(g)针对另一电极重复上述程序。(h)记錄各电极放电时间(秒)。残余电压(offsetvoltage)(剩余離子數量)试验：(a)启动检测设备，并依照制造商建议予以设备置于稳定狀态。(b)将检测平板短暂性接地，并设定(或验证)为零电压值。(c)请勿于離子化气流场内，将可携式验证仪器进行归零(或进行充电)动作。(d)将检测板面向静电消除风扇的气流方向。(e)等待使用者规范之时间。(f)纪錄检测板上之残余电压(offsetvoltage)(或剩余離子數量)。42检测程序放电时间(衰减时间)试验：42带电平板监测仪(ChargePlateMonitor)离子平衡电压、静电消散时间、人体静电压、防静电材料性能等测量--ANSIEOS/ESDS3.1监测空气离子平衡监测电荷从固定电压点到需要终结点(通常为原始电量的10％）的衰减速度.43带电平板监测仪(ChargePlateMonitor)离立式离子风机测量消散时间：用户自定

残留电压＜±50伏特44立式离子风机测量消散时间：用户自定

残留电压＜±50伏特4悬挂式离子风机测量45悬挂式离子风机测量4513、防静电包装材料之符合性验证ANSI/ESDS541ESDS物品之包装材料定期检测程序建议：反正摩擦后电压少于100V4613、防静电包装材料之符合性验证ANSI/ESDS541静电防护材料分类及测量47静电防护材料分类及测量47三其它设备的使用及测量48三其它设备的使用及测量481、静电场表(FieldMeter)(静电电压表)有效检测ESD工作场所设备，工作台面，工具的带静电电荷。电场测量范围+/-20Kv*2LED确定标准测距:25mm+/-1mmESD－STM3.1-2000lonization标准可配离子平衡测量板（+/-200V）精度:低范围精度为：正负0.1kv；高范围精度为：正负1kv静电场可测:+/-(0.00-20.0kV)（自动显示调整）491、静电场表(FieldMeter)(静电电压表)有效检测2、温/湿度计测量范围：室内温度（-30℃~50℃）湿度（20%~99%）EPA区相对湿度30%--70%，502、温/湿度计测量范围：室内温度（-30℃~50℃）湿度（23、静电电荷量测量测量器件上的静电荷1.将器件放入法拉第罩,记录读数A2.将器件移出法拉第罩,记录读数B移动电荷=B,稳定电荷=A-B513、静电电荷量测量测量器件上的静电荷51烙铁尖端部位与接地点之间电阻值，通电热狀态下时电阻值应小于2.0Ω(或电压低于2mV)；未通电冷狀态下时，电阻值应小于2.0Ω。烙铁尖端电压测量及消散电流测试时，所测得之尖端电压应小于AC/DC20mV，消散电流应小于10mA。每日或定期检测消散电流及电阻值，以确保尖端电压应小于20mV。4、电烙铁52烙铁尖端部位与接地点之间电阻值，通电热狀态下时电阻值应小于25、手持工具防静电手持工具之电阻测试方法。标准建议电阻值应为小于109Ω电池驱动式或气动式手持工具电阻值应小于1.0×1012Ω。535、手持工具防静电手持工具之电阻测试方法。标准建议电阻值应为6、自动取放设备AHE（ESDSP10.1）自行制订认证检验规定<100伏546、自动取放设备AHE（ESDSP10.1）自行制订认证7、ESD电脑监视系统557、ESD电脑监视系统555656QIHANG上海企航科技咨询有限公司57QIHANG上海企航科技咨询有限公司1ESD控制方案认证检验

检测技术主讲：刘长雄QIHANG上海企航科技咨询有限公司58ESD控制方案认证检验

检测技术主讲：刘长雄QIHANG上海一、认证检验计划要求59一、认证检验计划要求3文件化的质量管理体系架构质量手册程序文件作业标准、检查标准质量记录、作业记录质量方针、目标文件化的管理体系写做记说一致ESD控制方案方案计划、验证计划、其它作业指导书验证记录、作业记录ESDS20.20标准要求ISO9001标准要求60文件化的质量管理体系架构质量手册程序文件作业标准、检查标准质1、静电放电控制方案计划目的：本标准的目的是提供行政和技术上的要求，以及建立，实施和维护静电放电的控制方案(文中称“方案”)。

各单位应制定一个静电放电控制方案计划，将方案中的每一个要求都一一列出。这些要求是：•培训•认证检验•接地及等电位相连系统•人员接地•静电放电保护区之要求•包装系统•标记静电放电控制方案计划是实施和检验静电放电控制方案的首要文件。其目标是全面实施和整合一个与内部质量系统要求相符合的方案。该静电放电控制方案计划应适用于单位内部工作的各个方面。611、静电放电控制方案计划目的：本标准的目的是提供行政和技术上2、认证检验计划认证检验计划的建立，是要确保单位能够满足静电放电方案计划的要求。认证检验计划应该明确要进行检验的技术要求，相关的测试范围及认证频率。根据此计划进行认证检验。认证检验计划还应规定，检测和测试方法及设备。如果单位采用的方法与本文件所列出的标准有差异，必须提供一个修改声明作为静电放电控制方案计划的一部分存档。认证检验纪录应该被确认并保存，以便证明符合了静电放电控制方案中的技术要求。所选择的测试设备应能够完成认证检验计划中定义的测量项目。检查频率建议可根据稽查之历史數据來订定622、认证检验计划认证检验计划的建立，是要确保单位能够满足静电3、合格检验与认证检验标准中有哪些合格检验及认证检验参数要求？哪些物品哪些地方要认证检验？要用什么检验设备？用什么方法检验？在静电放电控制产品和材料的初始选择的时候采用产品合格检验。可采用的方法为：产品规范复查，独立实验室评估或内部实验室评估。633、合格检验与认证检验标准中有哪些合格检验及认证检验参数要求4、哪些物品要定期验证？

ESDTR53-01：2019--静电放电保护设备和材料之达标验证---建议下列所述之静电放电防护品、材料及设备等应定期接受功能性验证检测：接地/搭接系统工作台面手腕带手腕带性能测试器防静电鞋地板材质服装座椅移动式设备(手推車)包装静电消除器人员接地系统设备定期保养、校准644、哪些物品要定期验证？ESDTR53-015、ESD物品检测频率与方式655、ESD物品检测频率与方式96、

静电用品测试标准项目标准手腕带及手腕带连接ANSI/ESDS1.1防静电服ANSI/ESDSTM2.1离子风机/离子静电消除器ANSI/ESDSTM3.1ANSI/ESDSP3.3台垫/工作台ANSI/ESDS4.1ANSI/ESDS4.2防静电地板/地面工程ANSI/ESDS7.1防静电座椅ANSI/ESDSTM12.1防静电鞋/拖鞋/脚束带ANSI/ESDSTM9.1ESDSP9.2地板-鞋系统ANSI/ESDSTM97.1ANSI/ESDSTM97.2屏蔽包装袋ANSI/ESDSTM11.31防静电材料ANSI/ESDSTM11.11-STM11.12STM13.1交流设备\烙铁及工具ESDSTM13.1-2000取放设备ESDSP10.1-2000术语、方法及技术要求ADV11.2ESDADV1.0标识：ANSI/ESDS8.1接地：ANSI/ESDS6.1工作站：ESDADV53.1包装：ANSI/ESDS541操作指南ESDADV2.0（手册）666、

静电用品测试标准项目标准手腕带及手腕带连接ANSI/7、ESDA认可的认证机构•DNVCertification,Inc.•BSI,Inc.•QMI,ADivisionofCSAGroup•NationalQualityAssurance,USA(NQA,USA)•LloydsRegisterQualityAssurance,Inc.(LRQA)•TUVAmerica,Inc•SGSSA•PSBCertification•BVQi(NA),Inc.677、ESDA认可的认证机构•DNVCertificati二、符合性验证技术68二、符合性验证技术121、接地/搭接系统符合性验证目的：确保EPA工作站内所有之工作台面、固定式装置、手持式装置及人员接地装置等均应連接至共同接地点(Commonpointground；CPG)。共同接地点再行連接至ESD接地/搭接參考点。一般ESD接地/搭接參考点应为交流电(AC)设备接地点。若采用辅助接地时，应搭接至交流电(AC)设备接地。检测设备：(A)直流奥姆计：可量测范围应为0.1Ω～1MΩ，精确度应为±10%。(B)交流电插座分析器：指示设备接地导线是否存在。地线与中线、火线与中性线、火线与接地线是否装置颠倒、设备接地线阻抗是否符合规范要求、(C)交流电电路测试器(阻抗计)：量测设备接地导体自电源插座至主电源控制盘中性搭接点间之阻抗值，也具可检测接线正确性。(D)兩条适当长度之检测連接导线。现场CPG须标识出来最好是AC地与静电地线分开691、接地/搭接系统符合性验证目的：确保EPA工作站内所有之万用表/直流奥姆计电压档：量交流、直流电压值电阻档：量接地、手环阻抗插头与拉环间阻抗为1MΩ±10%设备对CPG＜1.0欧姆与防雷地线距离20M!总接地＜10欧姆70万用表/直流奥姆计电压档：量交流、直流电压值设备对CPG＜1断路器的使用71断路器的使用15交流电插座分析器左零右火上地是否正确地、中线阻抗交流电插座分析器交流电电路测试器(阻抗计)＜1.0欧姆72交流电插座分析器左零右火上地是否正确交流电插座分析器交流电电接地点对CPG＜1.0欧姆73接地点对CPG＜1.0欧姆17钳形接地电阻测试仪•测量原理：测量回路电阻，仪表的钳口部分由电压线圈及电流线圈组成。电压线圈提供激励信号，并在被测回路上感应一个电势E。在电势E的作用下将在被测回路产生电流I。仪表对E及I进行量测，并通过欧姆定理：R=E/I测量范围：0.1Ω-1000Ω,分辨率；0.01Ω.＜1.0欧姆74钳形接地电阻测试仪•测量原理：测量回路电阻，仪表的钳口部分由自动厂房静电接地系统监测器：可同时并实时监测兩个作业员腕带和兩个工作枱面的ESD接地狀况有独立的安全警报声响告警装置采用电阻回路监控方式，准确而有效连续式静电腕带及工作台监测器：配有數字显示操控面板及管理锁实时量测接地系统之AC与DC阻抗可实时监测并有声光警报，256组记忆装置，可接计算机列印监测纪錄报告可侦测ESD接地和AC接地是否混接75自动厂房静电接地系统监测器：可同时并实时监测兩个作业员腕带和2、防静电手腕带接地实时监测器符合性验证标准没有作要求762、防静电手腕带接地实时监测器符合性验证标准没有作要求203、工作台面符合性验证目的：确保ESD防护工作台面、架子、抽屉、ESD防护储存设备是否搭接至接地/搭接參考点。电阻是否符合。(1)检测设备：高阻表(MeggerMeter/HighResistanceOhmmeter)(A)测量范围:1×103Ω～1.999×1013Ω(至少要10次方以上，最大可测电阻1×1016Ω)(B)圆柱电极：符合ANSI/EOS/ESD4.1规定。重2.27±0.06kg、半径63.5±0.25mm体积圆柱、导电接触材料硬度等级应为ShoreA：50-70。10V测试电压量测金属表面，兩电极间之电阻应小于1.0×103Ω。(C)直流(DC)奥姆计：可量测范围应为0.1～1MΩ，精确度应为±10%。(D)兩条适当长度之检测連接导线。773、工作台面符合性验证目的：确保ESD防护工作台面、架子、(2)检测程序：(A)验证前，勿立即清洁ESD防护工作台面。(B)将所有ESDS从工作台面移除。(C)工作台面上导电物品及具独立接地的交流电气设备仍维持接地。(D)将一条检测导线一端連接至电极，另一端連接至整合性电阻测试器。(E)将另一条检测导线一端連接至整合性电阻测试器，另一端連接至接地參考点。(F)将电极置于工作台面正中央，测试电压设定为10V，经一段适当之测试时间或待讀值稳定。(G)若指示电阻小于1.0×106Ω，则再行继续测试。地面距离100CM其它工作表面距离30CM，测试3--5次取平均.(H)若指示电阻等于或大于1.0×106Ω，则将测试电压改设定100V，再行重新测试工作表面。检测应包括ESD防护工作台上易磨损处或具明显脏污处。78(2)检测程序：(A)验证前，勿立即清洁ESD防护工作工作表面点对点阻抗测试大于1.0x106Ω，但应小于1.0x109Ω电压小于200V测五次取平均。79工作表面点对点阻抗测试大于1.0x106Ω，但应小于1.0x工作表面点对点阻抗测试大于1.0x106Ω，但应小于1.0x109Ω电压小于200V80工作表面点对点阻抗测试大于1.0x106Ω，但应小于1.0x工作表面点对地阻抗测试大于1.0x106Ω，但应小于1.0x109Ω电压小于200V测五次取平均81工作表面点对地阻抗测试大于1.0x106Ω，但应小于1.0x表面阻抗测试仪将表放在被测表面上，按住红色的测量钮，持续发亮的发光二极管（LED）指示出测量的表面阻抗量级。测五次取平均。量程指示

103=1千欧姆绿色LED

104=10千欧姆绿色LED

105=100千欧姆绿色LED

106=1兆欧姆黄色LED

107=10兆欧姆黄色LED

108=100兆欧姆黄色LED

109=1000兆欧姆黄色LED

1010=10000兆欧姆黄色LED

1011=100000兆欧姆黄色LED

1012=1000000兆欧姆红色LED

1012=绝缘红色LED

此表还可测量对地电阻每十二个月需校准表面阻抗表82表面阻抗测试仪将表放在被测表面上，按住红色的测量钮，持续发亮4、防静电手腕带符合性验证检测设备：(A)整合性电阻(率)测试器：量测范围至少为1.0×1010Ω奥姆计，开路测试电压为DC10V与100V(±10%)。(B)手持式电极：不锈钢圆柱棒、长度75mm(3inches)以上，直径25mm(1inches)、钢棒一端接香蕉插头或螺纹端子测试线。(C)一条适当长度检测导线。＜3.5×107欧姆0.8×106欧姆--

1.2×106欧姆834、防静电手腕带符合性验证检测设备：＜3.5×107欧姆05、人体综合阻抗测试检测设备：(A)整合性电阻(率)测试器：量测范围为5.0×104～1.0×1010Ω奥姆计，开路测试电压为DC7～30V。(B)手持式电极：不锈钢圆柱棒、长度75mm(3inches)以上，直径25mm(1inches)、钢棒一端接香蕉插头或螺纹端子导线。(C)足部电极：导电金属板305mm2(12inches2)。(D)兩条适当长度之检测連接导线。＜3.5×107欧姆＜1.0×109欧姆845、人体综合阻抗测试检测设备：＜3.5×107欧姆＜1.06、静电鞋阻抗测量<1×109欧姆<100伏<3.5×107欧姆856、静电鞋阻抗测量<1×109欧姆<3.5×1077、防静电移动式设备(手推車)符合性验证<1×109欧姆867、防静电移动式设备(手推車)符合性验证<1×1098、防静电地板符合性验证(1)检测设备：---与工作表面测量一致(A)整合性电阻(率)测试器：量测范围至少为1.0×1010Ω之奥姆计，并且其开路测试电压为DC10V与100V(±10%)。6次方以下用10V档。否则用100V档。(B)圆柱电极：重2.27±0.06kg、半径63.5±0.25mm体积圆柱、导电接触材料硬度等级ShoreA：50-70。当选用10V测试电压，量测金属表面时，其兩电极间之电阻应小于1.0×103Ω。(C)兩条适当长度之检测連接导线。878、防静电地板符合性验证(1)检测设备：---与工作表面测点对地测量注意：地面距离100CM，其它30CM、测试5次取平均＜1×109欧姆88点对地测量注意：地面距离100CM，其它30CM、测试5次取点对点测量注意：地面距离100CM，其它30CM、测试5次取平均4—6为导电地板，6—9为静电耗散地板＜1×109欧姆89点对点测量注意：地面距离100CM，其它30CM、测试5次取9、防静电服装符合性验证(1)检测设备:一般为高阻仪(A)整合性电阻(率)测试器：开路测试电压为DC100V(±10%)，范围至少为1.0×1012Ω。(B)兩圆柱电极：重量为2.27±0.06kg、半径63.5±0.25mm体积圆柱、导电接触材料硬度等级ShoreA：50-70。(C)兩条适当长度之检测連接导线。(D)绝缘支撑板：平坦绝缘板，大小足以支撑进行ESD材料检测工作。符合ASTMD-257规定，绝缘板表面电阻应大于1.0×1013Ω/sq。909、防静电服装符合性验证(1)检测设备:一般为高阻仪34静电工作服表面阻抗测试防静电装服(袖口对袖口)符合性验证可接地＜1×109欧姆普通静电服＜1×1011欧姆系统电阻＜3.5×107欧姆新品反复摩擦20次静电电压小于100V91静电工作服表面阻抗测试防静电装服(袖口对袖口)符合性验证可接10、防静电座椅符合性验证综合阻抗点对地9210、防静电座椅符合性验证综合阻抗点对地36点对点<1×109欧姆93点对点<1×109欧姆37点对点测量<1×109欧姆94点对点测量<1×109欧姆3811、其它用品表面阻抗<1×109欧姆9511、其它用品表面阻抗<1×109欧姆3912、静电消除器（离子风扇）符合性验证检测设备：(A)充电板监测器(CPM：chargeplatemoniter)：可携式验证工具组包括：电场计、可拆式(隔離导电)平板、平板充电器及接地线等组件。(B)码表或其它适当量测放电时间之工具。(C)测量尺。9612、静电消除器（离子风扇）符合性验证检测设备：40离子风机产生原理：A、强电场的条件下空气电晕电离，产生正负离子；B、A射线和β射线作用空气分子使之成为空气离子；C、高能射线（X射线）作用空气分让基电离……离子风机按形式分为:台式离子风机，卧式离子风机，悬挂式离子风机，微型离子风机输入电压：100VAC50、60Hz,120VAC/60Hz,230VAC/50Hz最大功率：25W左右离子平衡：0+/-25V（有的设备是本能，无需调较）消散速度：由1000V至100V小于1.5秒（最大风量）覆盖范围：30cm*150cm显示：亮-有高压电产生离子显示报警：测量仪内的感应器损坏保养三步曲清洁检测调较STM3.1-2000消散时间：用户自定

残留电压＜±50伏特97离子风机产生原理：A、强电场的条件下空气电晕电离，产生正负离检测程序放电时间(衰减时间)试验：(a)启动检测设备，并依照制造商建议予