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文档简介

JEM-2100操作说明一、合轴操作照明系统合轴〔1〕.找亮：当翻开灯丝，并且灯丝电流放射之后，应当在荧光屏上找到电子束，假设翻开10K左右，移动轨迹球，撤除全部光阑，根本上以上操作可以解决大多数没亮的状况假设照旧找不到亮，则需调整GUNTILT进展找亮固然，也可以在用户模式下直接对GUN进展清零操作NTRL！正常状况下就能找到电子束了。(2)灯丝像调整:放大倍数为X40K，将光斑用beamshift移动到屏幕中心，渐渐降BRIGHTNESS可以观看到灯丝像消灭。GUNTILT常数值，即稍能看到一点灯丝像阴影。〔3〕1、5合轴：将束斑调到SPOTSIZE5，用beamshift将束斑移动至屏幕中间，切换至SPOTSIZE1，用gunshift将偏移的束斑移动至屏幕中间，重复此过程直到当切换SPOTSIZE15时束斑根本上不发生偏移即可。CONDSTIG键将束斑调圆即可。加聚光镜光阑：聚光镜光阑红点位置表示退出，其余的点的大小表示当前所12完后用beamshift将光斑移动至屏幕中心，这时顺时针转动BRIGHTNESS将光斑放大到与屏幕同大，假设光阑没有加正，则光斑不是均匀掩盖屏幕，即光斑补随BRIGHTNESS同心放大，此时调整光阑前端和右侧的两个旋钮使光斑圆心与屏幕同心即可。IMAGEWOBBLEX或Y，观看图像震惊，Z键直至将图像震惊幅度最小即可成像系统合轴HTWOBBLE让样品振颤，用BRIGHTTILT调整样品尖端在振颤时不偏离屏幕中间黑点，即样品同心收缩即可。细聚焦：调整OBJFOCUS按钮，使要观看的样品调至正交处，可通过欠交，正交，过交现象来确认正交。找一处孔的边界，在欠交下，孔边缘会消灭亮边，而在过交下，孔的边缘会消灭黑边，介于欠、过交之间，无黑、亮边时就是正交处。X300K粒，不断变化欠交和过交位置，观看非晶颗粒外形有无方向性拉伸，假设有拉伸则说明有物镜象散，用OLSTIG调整至无方向拉伸即可。二、插拔样品杆插入样品杆时，先将杆插入样品室，手微微向里顶住，将开关拨至PUMP状态，然后30〔绿灯亮了就可以了杆至转不动为止，再渐渐将样品杆完全送入样品室。动，再拔一小段距离，再转回起始位置，将开关拨至AIR处放气，至皮拉尼值为220以上，即可将杆拔出。三、加高压将高压HT160KV后点HTON，等高压加载完毕暗电流稳定后点自动上升压AUTOHT 设步长STEP为0.5左右，时间为10sec目标电压200KV后点击START，等待高压自

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