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PAGEPAGE3氟化物气体应用：二氟硅烷1.别名middot;英文名二氟二氢硅；Difluorosilane．2.用途含氟非晶硅膜、制造非晶硅的原料气。3.理化性质分子量：68.10熔点：-122.0℃沸点(101.325kPa)：-77.8℃气体密度：2.35kg/m3熔化热：6.148kJ/kg气化热：292.092kJ/kg临界温度：34℃蒸气压(-124.3℃)：2.666kPa(-98.3℃)：26.664kPa(-87.8℃)：53.329kPa比热容(气体，25℃)：749.443J/(kgmiddot;K)二氟硅烷在常温常压下为具有腐蚀性的可燃性有毒气体。长时间放置时缓慢分解，但比SiHF3分解速度慢。2SiH2F2rarr;SiH4+SiF4在水或苛性苏打的水溶液中水解产生氢气。与乙醇、氨和胺反响。参见六氟化二硅。 内容总结
〔1〕氟化物气体应用：二氟硅烷
1.别名middot
〔2〕参见六氟化二硅
内容总结
（1）氟化物气体应用：二氟硅烷
1.别名middot
（2）Difluorosilane．
2.用途
含氟非晶硅膜、制造非晶硅的原料气
（3）参见六氟化二硅
（4）内容总结
〔1〕氟化物气体应用
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