GB/T 10067.410-2014电热装置基本技术条件第410部分：单晶炉

ICS2518010

K61..

中华人民共和国国家标准

GB/T10067410—2014

.

电热装置基本技术条件

第410部分单晶炉

:

Basicspecificationsforelectroheatinstallations—

Part410Sinlecrstalrowinfurnace

:gygg

2014-12-05发布2015-04-16实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T10067410—2014

.

前言

电热装置基本技术条件现有个部分

GB/T10067《》19:

第部分通用部分

———1:;

第部分电弧加热装置

———2:;

第部分感应电热装置

———3:;

第部分中频无心感应炉

———31:;

第部分电压型变频多台中频无心感应炉成套装置

———32:;

第部分工频无心感应熔铜炉

———33:;

第部分间接电阻炉

———4:;

第部分网带式电阻加热机组

———41:;

第部分推送式电阻加热机组

———42:;

第部分强迫对流井式电阻炉

———43:;

第部分箱式电阻炉

———44:;

第部分真空淬火炉

———45:;

第部分罩式电阻炉

———46:;

第部分真空热处理和钎焊炉

———47:;

第部分台车式电阻炉

———48:;

第部分自然对流井式电阻炉

———49:;

第部分单晶炉

———410:;

第部分电热浴炉

———411:;

第部分高频介质加热设备

———5:。

根据需要还将陆续制定其他部分

。

本部分为的第部分应与的第部分和第部分配合使用

GB/T10067410,GB/T1006714。

本部分按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本部分由中国电器工业协会提出

。

本部分由全国工业电热设备标准化技术委员会归口

(SAC/TC121)。

本部分起草单位西安电炉研究所有限公司江苏华盛天龙光电设备股份有限公司西安理工晶科

:、、

股份有限公司中冶电炉工程技术中心国家电炉质量监督检验中心陕西省电炉工程技术研究中心

、、、。

本部分主要起草人陈巨才李留臣袁芳兰束天和朱琳

:、、、、。

Ⅰ

GB/T10067410—2014

.

电热装置基本技术条件

第410部分单晶炉

:

1范围

的本部分规定了对晶体炉的术语产品分类技术要求试验方法检验规则以

GB/T10067TDR、、、、

及标志包装运输和贮存

、、。

本部分适用于直拉法拉制半导体硅锗等单晶的单晶炉

、。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

钢制压力容器

GB150—2011

电工术语工业电热装置

GB/T2900.23—2008

环境空气质量标准

GB3095—2012

电磁辐射防护规定

GB8702—1998

污水综合排放标准

GB8978—1996

电热设备的试验方法第部分通用部分

GB/T10066.1—20041:

电热设备的试验方法第部分间接电阻炉

GB/T10066.4—20044:

电热装置基本技术条件第部分通用部分

GB/T10067.1—20051:

电热装置基本技术条件第部分间接电阻炉

GB/T10067.4—20054:

工业企业厂界环境噪声排放标准

GB12348—2008

大气污染物综合排放标准

GB16297—1996

电热设备产品型号编制方法

JB/T9691—1999

3术语和定义

界定的以及下列术语和定义适用于本文件

GB/T2900.23—2008、GB/T10066.4—2004。

31

.

单晶炉crystalgrowingfurnace

利用直拉法或区熔法拉制半导体单晶材料的一种工业电热

(czochralskimethod)(floatingzone)

设备

。

32

.

熔料量charge