下载本文档
文档简介
犐犆犛２９．０４５
犎８３
中华人民共和国国家标准
犌犅／犜１１０９４—２００７
代替ＧＢ／Ｔ１１０９４—１９８９
水平法砷化镓单晶及切割片
犎狅狉犻狕狅狀狋犪犾犫狉犻犱犵犿犪狀犵狉狅狑狀犵犪犾犾犻狌犿犪狉狊犲狀犻犱犲狊犻狀犵犾犲犮狉狔狊狋犪犾犪狀犱犮狌狋狋犻狀犵狑犪犳犲狉
２００７０９１１发布２００８０２０１实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
书
犌犅／犜１１０９４—２００７
前言
本标准是对ＧＢ／Ｔ１１０９４—１９８９《水平法砷化镓单晶及切割片》的修订。
本标准与原标准相比，主要变动如下：
———单晶生长方向上增加了近几年在生产中大量使用的＜１１０＞晶带上由＜１１１＞Ｂ方向向最远的
＜１００＞Ａ方向偏转０°～２０°生长单晶，明确提出了生长偏角由生产工艺参数决定；
———明确了晶锭作为单晶产品；
———切割片中取消了目前基本已被淘汰的直径为４０ｍｍ、５０ｍｍ以及矩形和Ｄ形片的规定；
———增加了目前大量使用的直径５０．８ｍｍ、６３．５ｍｍ切割片和国际上少量使用的直径７６ｍｍ
切割片的规定等等。
本标准实施之日代替ＧＢ／Ｔ１１０９４—１９８９。
本标准由中国有色金属工业协会提出。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会归口。
本标准起草单位：北京有色金属研究总院。
本标准主要起草人：武壮文、王继荣、张海涛、于洪国。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为：
———ＧＢ／Ｔ１１０９４—１９８９。
Ⅰ
书
犌犅／犜１１０９４—２００７
水平法砷化镓单晶及切割片
１范围
本标准规定了水平法砷化镓单晶、单晶锭及切割片的要求、试验方法及检验规则等。
本标准适用于水平法砷化镓单晶、单晶锭及切割片，产品主要用于光电器件、微波器件和传感元件
等的制作。
２规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有
的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究
是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。
ＧＢ／Ｔ１５５５半导体单晶晶向测定方法
ＧＢ／Ｔ２８２８．１计数抽样检验程序第１部分：按接收质量限（ＡＱＬ）检索的逐批检验抽样计划
ＧＢ／Ｔ４３２６非本征半导体单晶霍尔迁移率和霍尔系数测量方法
ＧＢ／Ｔ８７６０砷化镓单晶位错密度的测量方法
ＧＢ／Ｔ１４２６４半导体材料术语
ＧＪＢ１９２７砷化镓单晶材料测试方法
３术语、定义
ＧＢ／Ｔ１４２６４确立的以及下列术语和标准适用于本标准。
３．１
水平法犺狅狉犻狕狅狀狋犪犾犫狉犻犱犵犿犪狀犵狉狅狑狀
本标准中特指水平布里奇曼法，简写为：ＨＢ。
３．２
单晶狊犻狀犵犾犲犮狉狔狊狋犪犾
本标准中出现的单晶专指水平布里奇曼法砷化镓单晶。
３．３
晶锭犻狀犵狅狋
本标准中出现的晶锭专指水平布里奇曼法砷化镓单晶晶锭。
３．４
晶片狑犪犳犲狉
本标准中出现的晶片专指水平布里奇曼法砷化镓
温馨提示
- 1. 本站所提供的标准文本仅供个人学习、研究之用，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或网络传播等，侵权必究。
- 2. 本站所提供的标准均为PDF格式电子版文本（可阅读打印），因数字商品的特殊性，一经售出，不提供退换货服务。
- 3. 标准文档要求电子版与印刷版保持一致，所以下载的文档中可能包含空白页，非文档质量问题。
最新文档
- 顶岗实习报告总结幼儿园（30篇）
- 采购部试用期转正工作总结（30篇）
- 甘肃省会宁县市级名校2023-2024学年中考生物仿真试卷含解析
- 部门年度个人工作总结（7篇）
- 费用增加申请报告（13篇）
- 财务年终述职报告（30篇）
- 2024春季云南建投交通建设股份限公司校园招聘25人高频考题难、易错点模拟试题（共500题）附带答案详解
- 2024广西龙州县机关事务管理局招聘工作人员11人历年高频考题难、易错点模拟试题（共500题）附带答案详解
- 农产品食品安全评价技术 课件 模块四 农药残留量检测
- 13《精彩极了和糟糕透了》课件
- 三年级语文下册第七单元(集体备课)教材分析说课稿课件
- 镇江市2022年中考化学试卷(附答案)
- 高等学校毕业生体格检查表
- 日常生活中悖论问题研究性课题
- 高中语文必修三《一个消逝了的山村》原文一个消逝了的山村
- 输送主播协议(中介服务)
- 2022医院创建三级甲等医院实施方案
- 民族团结先进班级申报材料
- 江苏师范大学科文学院辅导员管理办法
- 静脉采血最佳实践共识10-30-6
- 基于android的移动OA系统分析与设计
评论
0/150
提交评论