• 现行
  • 正在执行有效
  • 1995-12-22 颁布
  • 1996-08-01 实施
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ICs31.030L97中华人民共和国国家标准GB/T15871-1995硬面光掩模基板Hardsurfacephotomasksubstrates1995-12-22发布1996-08-01实施国家技术监督局发布

GB/T15871-1995前本标准非等效采用SEMI标准SemiP1一92《硬面光掩模基板》。本标准基板技术要求全部按SemiP1-92中第4章至第8章制定。本标准附录A是提示的附录、本标准由中华人民共和国电子工业部提出。本标准由电子工业部标准化研究所归口。本标准起草单位：长沙韶光徽电子总公司、电子工业部标准化研究所。本标准主要起草人：吴保华、王亦林、赵雨生、谈仁良。

中华人民共和国国家标准GB/T15871-1995光面一板Hardsurfacephotomasksubstrates1范围本标准规定了硬面光掩模用玻璃基板的要求、试验方法、检验规则等内容.本标准适用于硬面光抢模用玻璃基板(以下简称基板)。2引用标准下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB191—90包装储运图示标志GB2828—87逐批检查计数抽样程序及抽样表(适用于连续批的检查)GB2829—87周期检查计数抽样程序及抽样表(适用于生产过程稳定性的检查)GB3102.3-93力学的量和单位GB7238-87玻璃及铬板表面平整度的测试方法GB9622.2-88电子玻璃平均线热膨胀系数的测试方法SJ/T10584-94微电子学光掩蔽技术术语3定义本标准采用SJ/T10584规定的定义。4要求4.1外形尺寸“.1.1方形基板的外形尺寸应符合表1和图1的规定。表表1方形基板的外形尺寸mm边长（L）厚度(T)格垂直度mirminmax63.5X63.562.7063.500.05/25：401.401.600.05/25.4076.201.4076X7675.401.6088.9×88.988：1088.900.05/25.401.40.601.401.60100×100100.80101.600

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