镀膜设备的维护与保养

经典word整理文档，仅参考，双击此处可删除页眉页脚。本资料属于网络整理，如有侵权，请联系删除，谢谢！第一章、对真空镀膜设备维护与保养的认识立和完善设备的维护与维修制度、维护内容、维修标准等。一、维护与维修制度，为了使真空镀膜设备在维护、维修及生产过程中出现问题能得到及时收集、传递、分析和处理而制定的管理制度。1.有完善的制度和设备的使用操作规程。、维修人员在维修时应挂放正在维修牌，并切断电源以防他人使用机器设备等。这也是对设备特别是维修和操作人员安全的重要保证。B、真空镀膜机（其实不单是真空镀膜机，应该是所有的设备）必需要有详C、日常保养同样也要有标准化的作业指导书。这里面包括了作业之前的准备工作（准备工具、清洁用品、必要冷却，吹水等等）及作业步骤，注意事、建立设备台帐。设备的台帐好比人一生的档案一样。从设备安装调试那空度和时间，电流，电压等各方面数据，以及重大维修记录）E、保养记录表。第日点检，以及周期保养应该都要有记录（附表）F、异常维修记录表。记录处理每次异常发生的原因、检查的步骤、得出的重要的财富。2.在工厂生产管理中设备的维护与维修是重要的一方面。应该有专职的、能力强的维修人员负责。二、设备的维护，要有日常维护和定期维护。1.日常维护就是在当天生产中发现设备有不良迹象，就马上解决。发现机械泵彻底的坏了再换，问题可就大了，可能引起转架电机烧毁等。2.定期维护，有人会问有了日常维护还有必要定期维护吗？其实每一种设备都21年半就效率也提高了。三、设备保养和维修最重要的是讲究“细心”二字，每一个师傅努力要求现象,不能盲目地拆卸。说到这里，很多人都遇到过真空部分的漏气的问题，真空抽不上去原因可能有以下几点：1.也许是漏率偏高就是我们常说的有漏气;2.也许是真空机组的抽气能力不够了，油被污染或氧化了；3.也许是真空室内太脏放气;4.真空室有漏水;5.抽空管道有漏气；到事半功倍的效果。四，养成良好的卫生习惯。的真空设备，真空设备还有他本身的特殊性。真空设备讲究是一个真空洁净度，量。军队里有一句很时髦的话,要像对待自己眼睛一样爱护武器,我们今天要倡议,第二章真空镀膜设备维护与保养一、真空材料的使用和选择。二、真空系统的保养。旋片真空泵原理、结构、使用与维修的1、1.1、旋片真空泵的使用A、使用前，应仔细产品使用说明书，开箱后应检查装运质量。收好备品备件和技术文件，拆除排气品防护件。按要求安装，接线，试转向。水泠泵接水。B、为防止因返油与反转而喷油，应先开启泵口，按规定转向把泵内存油用手盘到油箱中。同时查看油位，应在油标中心以上，但不要满油标，多了要放出。C、判断转向的辅助方法。把护套倒放在泵口上，如开泵后被吸住，是正向，被吹落，是反向。声音正常是正向，声音异常是反向。E、如在泵口配装带充气电磁阀，一般应横装，并与泵同时动作。F、相对湿度较高或被抽气体中含水汽等可凝性蒸汽时，应使用气镇阀。G、按说明书推荐选用真空泵油。注意酯类真空泵油不可与矿物油。H、检查泵的极限压力以压缩式水银真空计为准。全压力计应注间装一球阀。不测时关阀，可延长规管使用时间。1.2、旋片真空泵的维修A、首先要了解泵的类型、特点、现在状况。了解使用要求，确定修理目标。在进行维修之前，准备好检测手段。B、判断故障，确诊故障。判断准，可省事。确诊要验证。C、排除故障，先简后繁，先易后难。无须拆卸的不拆。以减少转子就报废了。D、有毒有害，有腐蚀性的泵，应请用户先行清洗，关告知必要的防护措施，以保障维修人员的健康。E、故障分类：建议把故障分为运转故障和性能故障。运转故障可包括泵不转，泵温太高，漏油，漏水，最大功率超标等。气镇性能等不达标或不能满足要求。1.3、故障判断与诊断例举A、泵不转。情况不明不能先开泵，以免加重故障。用手能盘动和不能盘动。a、泵能盘动而不转。原因可以是联轴器故障；皮带打滑；电机接线有误；电机损坏；电源没电等。b、不能盘动或盘起来很重的，原因可以是因为起动泵温太低，返油太多（加油太多，或有水汽在泵中凝结，或在排气管中凝结的水流回泵中）；有异物在泵内（进气管中的焊渣、氧化物；旋片弹簧等泵零件的碎屑）；旋片变形卡住；发生了咬合（铜套、转子、中壁、泵盖、定子、轴承）。B、泵温太高。指低级排气阀附近测得的最高油温超过使用说明高，进气温度太高，进气冷却装置失效，泵长期连续运转入中压力太效等。C、漏油。可以发生在轴封，油箱与泵零部件的密封面，放油塞、2X-8）等部位。可由密封件老化，安装不当，损坏失效，表面不平整、有杂质、粗糙和铸件疏松等引起。如果停泵后返油，油会进入气镇阀，不关气镇阀可能会漏油。自制橡胶垫时，一定要用耐油橡胶，要按照原设计形状，密封面太大时压不紧会漏油。D、漏水。可以发生在水管头，水套闷盖平面，放水孔螺塞，放水阀等处，水套钻穿，铸件缺陷，冻裂，也可能导致漏水。E、最大功率超标。可由长期连续工作入口压力太高、排气压力太高、杂物进入发生咬合、泵温太高、旋片等配合间隙太小、电压太高、泵液返入泵内太多等引起，会使电机损坏。应尽量避免在最大功率附近长期连续运转。如果表面有沉积物，要定期拆开清除。F、极限压力不过标。可由外漏、内漏、油孔堵塞、泵油质量不良或污染变质、有水汽等到可凝性物质、仪器仪表失真、泵运转不正常等引起。外漏较多时、排气口可看白色蒸汽。油标处有较多气泡，手在排加。这时，首先应检查气镇阀是否已关好。由于新泵出厂每台都在泵口测极限压力，所以如有外漏现象，应对泵口及管道、阀门、容器逐一检查。外轴封失效、油杯无油、油孔闷头漏气也可造成外漏。内漏可由泵内的运动间隙、排气阀等平面、排气阀的密封面、内轴封、泵盖平面、进气管、气镇阀密封件等引起磨损、腐蚀、咬合会使运转间隙加大。油孔阻塞时，打开加油孔听，泵的噪声会较轻，在油箱密封良好的情况下，如果手在排气口上有被吸的感觉，排气阀可能失效。如果泵油清洁，长期存放未用，可开气镇阀净化泵内水汽。若无效，要检查仪表。若泵油发黄发白已乳化，可全开气镇，调大气镇量净化运转，必要时可在泵口放入适量气体运转，可加快净化过程。若排出。极限压力是用座式压缩式水银真空计测量的。用经校准的热偶真极限压力升高会使高真空时段的抽气效率下降，也会使极限全压力升高。可以参照上述介绍来判断、检查、处理抽气效率下降和极限全压力升高的故障。G、噪声。泵的结构设计，电机与泵轴承的噪声，旋片等运动件是否滑畅、进油量太多、风扇、传动件产生的噪声、进气量大，开气镇运转、挡油板等泵内零件松动，安装不平等引起振动，都会影响泵的噪声。H、喷油。防止喷油用的油盒回油孔的大小、位置、密封状况，挡油板的设计、安装，排气口部分的减雾器、挡油帽、油气分离器，直联泵排气口的气流速度可以高达30M/S，吹开油面时，泵内的循环油和气流带出的油就将考验防止喷油的各项措施。1.4、其他，有些泵有油泵，有油分离器，有油路上的单向阀，有消雾器，有入口过滤器（防油蒸汽返流用），有入口灰尘过滤器等部件或附件，也要进行检查。油泵失效将使泵的润滑和密封失效，消雾器失效，有可能使排气压力升高，功率加大，损坏电机，入口过滤失效可使进气阻力增大，抽速下降，抽气效率下降。1.5、清洗。不宜浸洗，以免洗液进入拼接转子内部，不易排出。1.6、拆装。要按照使用说明书推荐和规定有序进行，记好位置，合理摆放，以免错装。2、油扩散泵的保养与维修2.1、油扩散泵安装时应垂直放置，使泵内泵芯部件处于正常工作状态。各橡胶密封处应密封可靠。2.2、油扩散泵加热前必须保证冷却水畅通，泵内处于约1帕的真空状态下方可加热。2.3、油扩散泵停止工作时，泵内应避免放入大气，以延长泵油寿命并减少泵油的吸气量，特别应禁止泵刚停止工作尚未冷却就放入大气，以免泵油氧化。2.4、油扩散泵长期存放，最好抽成真空，以防止泵油污染和各零件腐蚀，并应吹净冷却水管和水套的余水。2.5、被抽气体应是干燥，无腐蚀，无灰尘的室温状态下的气体。2.6、泵正常工作时性能突然变坏，应检查加热器是否短路。2.7、在长期工作后，泵性能逐渐变坏，应检查油量是否减少或氧化，以便增添油量或清洗后烘干换新油。2.8、一次装卸后，如性能上不去，可检查是否密封可靠或装配不当。2.9、操作过程中，应注意扩散泵的前级机械泵的工作是否正常，一般机械泵的泵的正常工作。芯受重压变形。3、真空室内部件的保养与维修§1维护部分1.1、机械真空泵的维护和保养：（1）泵及其四周环境应经常保持清洁。（2）泵在运转过程中应保持油箱内油量不得低于油标中心。（3）不同种类和牌号的真空泵油不可混合使用。（4）泵在使用中温升不能超过70℃。（5）新泵在使用100h左右应换1～2次油，待换下的油内不再发现含黑色金属粉末后，可加长换油期限。根据说明书规定和使用实际情况来确定换油期限。（6）新泵和修理后的泵应现作运转试验4～6h，检查泵是否符合使用要求。（7）2～3同时也应对系统、管道、阀门和电动机等加以清洗、检修。（8）泵在使用中，因系统损坏等特殊事故，或进气口突然暴露大气时，应尽快染工作场地。（9）泵上所有机件，非绝对必要，切勿自行拆卸。（10）泵不用时，应用橡皮塞（帽）把进气口塞好，以免赃物和硬质东西落入泵内。以上数点，可按具体情况，订出相应操作规程，严格施行。1.2、整套设备的日常维护：（1）操作人员要熟悉各种仪表、泵，设备的各部分。阅读并理解各种说明书。（2）冷却水水压应保持0.180.2Mpa之间，出水温度≤45℃。（3）压缩空气压力在0.5～0.7Mpa之间。（4）每炉开机前，要检查保护气的气瓶容量，以免气体充不足，更换气瓶。（5）开机后如有异常情况，应立即排除或停机查找原因。（6）经常检查各部分的回水量，工作时应保证各部分有充足的冷却水。（7）设备停止使用时，应将炉内气体抽空，长时间不用，要充入保护性气体，并把设备水冷套内的循环水放掉。（8）机械泵、罗茨泵应定期换油加油，罗茨泵的油杯中要保持一直有油。换油时一定要把废油放干净。（9）扩散泵换油时，内部如有氧化，要把扩散泵内部的氧化层处理干净，然后再换上新油。（10）充入的保护性气体，纯度不应小于99.99%。（11）本设备不允许使用易燃易爆和具有腐蚀性气体作为保护气氛。（12）设备表面及仪表表面要保持清洁，擦拭炉体内壁不允许有带有水份及沾有非真空类用油的抹布擦拭。（13）气动系统的气动三连件上的油水分离器要经常放水，油雾器内应注入真空扩散泵油。（14）设备的整机电压要保证在350～420V范围内。三相要平衡。（15）规管、电接点压力表、热偶等处要经常涂上扩散泵油，使之与座之间形（16）各部分的螺栓定期检查，如发现松动，及时拧紧。（17）设备工作时，注意观察各仪表的显示情况，及各泵的声音，以便及时发现异常，找出问题。（18）设备的使用环境，在相对湿度85%以下，温度在1040℃。在拆修设备时，各部分不许用重锤敲击，密封面、密封槽不许划伤。（19）设备在工作时，操作人员不4、处理真空度抽不高和抽速太慢不稳的方法常见问题与解答5.更换抽气管路，修理密封件2.抽气口与排气口错误连接2.抽气管线与抽气口连接3.断开泵连接，清洗并更换符合要求的油4.修理或更换油泵5.清理油泵6.环境温度达到或超过油蒸汽压6.降低环境温度并注意空气流通7.更换符合要求的泵油8.更改工艺或加冷却系统1.排气口O型密封圈损坏2.油箱表面密封垫损坏3.泵体表面密封垫损坏4.修理泄漏处，或更换泵油5.工艺过程中含有腐蚀性、危险性或放射性气体时必须加足量保护气体1.系统泄漏2.密封阀损坏1.修理部件2.修理密封阀2.更换新油封，检查进油管线3.更换油套4.进油口或出油口泄漏5.泵体与油封间垫片泄漏2.