特气系统安全操作规范方案

WORDWORD格式可编辑专业知识整理分享专业知识整理分享目的Purpose稳定运转并做为新进人员之教育训练教材。管制范围Scope本操作规范适用于特气系统各操作单元之操作及故障排除指引。管职责 Responsibility厂务单位最高主管协调并提供各单位因产品生产所需之厂务服务内容。综厂务系统运转所需资源管 ,含人员/物 /预算等。引进创新之厂务系统或管知识。厂务单位主管执厂务系统维护保养制及系统教育训练。维持稳定的厂务供应系统所需之人员出勤管。厂务系统及厂内各类紧急事件之抢救应变事宜。厂务系统异常事故追踪查核处结果厂务系统工程师:负责特气供应系统之正常运转及改维护。Hookup厂务系统及厂内各类紧急事件之抢救应变事宜。担任所负责系统之教育训练讲师。厂务轮班工程师:负责各项维护厂务系统所需之日常巡检及窗体记录。执各项厂务设施之日常或定期性保养维修作业。换厂务系统所提供或所需之原物及产生之废弃物。厂务系统及厂内各类紧急事件之抢救应变事宜。定义DefinitionSGSpecialGas作业内容Procedure日常记录与报告要求定点现场抄表，发现数据异常即刻报告给系统工程师。统计气体，每日/周/月用。统计气瓶、库存，原则上现场要有足够 15天运库存。整特气系统仪器仪表（ Gasdetector、PT等）的校正记录。提供日常巡检报告、维护报告及事故报告。日常运转事项气体钢瓶的换（含硅烷、氢气站，特气房内）。N2Yard(大宗气体气站特气系统仪器仪表（Gasdetector、PT等）的定期校正。紧急应变：包括Trouble-shooting，报警故障处，紧急事故反映及处。表单Form序号项目序号项目YES情况记录NOREMARK其它1检查设备、房间排风是否正常？2检查门锁、窗锁是否正常？3检查设备外观是否正常？4危险标识是否剥？5阀件编号是否有误？6巡视管道状况、标签是否脱7确认N2吹扫盘是否正常？8确认CDA、GN2供应压是否正常？检查PIGTAIL是否被损坏或污检查PIGTAIL是否被损坏或污9染？10检查加热系统是否正常LocalScrubber检查、保养项目检查保养计划表检查、保养频每天 每周 双周 每月每季每检查主电源(Mainpower)电压○检查加热器#1,#2的温○检查氮气、○检查注入、排气压△确认错误(Error)状态△检查传感器High，Low状态○检查指示灯工作状态○检查各导管有无粉尘堆积△压计是否需换☆检查是否需换传感器、控制器☆检查是否需换继电器、风扇☆检查、保养项目检查、保养频备注： “○：值班技术人员可以单独进维护操作“△：值班技术人员在系统工程师指导下进检查和维护“☆：值班技术人员在部门主管及系统工程师指导下检查和检查、保养项目检查、保养频备注： “○：值班技术人员可以单独进维护操作“△：值班技术人员在系统工程师指导下进检查和维护“☆：值班技术人员在部门主管及系统工程师指导下检查和护每每每天 每周 双周 每月 半 每通过监视屏幕观察Sensor的状态○换 Sensor△检查吸气泵是否故障☆检查热解模块是否故障☆检查模/数转换模块是否故障☆备注： “○：值班技术人员可以单独进维护操作“△：值班技术人员在系统工程师指导下进检查和维护护检查、保养频检查、保养项目检查、保养频检查、保养项目每每天 每周 双周 每月 半 每检查气瓶的压、重○检查设备、房间排风是否正常○检查门锁、窗锁是否正常○检查外观是否正常危险标识是否剥设备标识是否剥○○○阀件编号是否有误巡视管道状况、标签是否脱确认所有气动阀、手动阀、调压阀○○是否正常☆确认CDA、GN2供应压是否正常☆确认N2吹扫盘是否正常☆压传感器和真空传感器校正☆察看PIGTAIL是否被损坏或污染☆核检故障报警装置是否正常☆核检关机报警装置是否正常☆检查加热系统是否正常☆核检左右供气自动换装置是否正常☆仪表校正☆检查、保养频检查、保养项目每检查、保养频检查、保养项目每每天 每周 双周 每月 每半备注： “○：值班技术人员可以单独进维护操作“△：值班技术人员在系统工程师指导下进检查和维护“☆：值班技术人员在部门主管及系统工程师指导下检查和护检查设备排风是否正常检查外观是否正常危险标识是否剥○○○○设备标识是否剥○阀件编号是否有误○巡视管道状况、标签是否脱○确认所有气动阀、手动阀、调压阀是否正常☆确认CDA、GN2供应压是否正常☆确认N2吹扫盘是否正常☆核检故障报警装置是否正常☆核检关机报警装置是否正常☆备注： “○：值班技术人员可以单独进维护操作“△：值班技术人员在系统工程师指导下进检查和维护“☆：值班技术人员在部门主管及系统工程师指导下检查和护参考文件Reference备注： “○：值班技术人员可以单独进维护操作“△：值班技术人员在系统工程师指导下进检查和维护“☆：值班技术人员在部门主管及系统工程师指导下检查和护无作业程 FlowChartArArRack供气程ArRack供气程Step.Content.1先确认HPI1或2关闭，并关闭钢瓶阀门。2慢慢打开HPV1或2，将剩余Ar排出去，然后关闭HPV1或2。3分离旧钢瓶，并安装新钢瓶。4然后打开新钢瓶阀门，然后一点点打开关闭HPV1或2，15次吹扫。结束后关闭HPV1或2。5关闭钢瓶阀门，等HPT1或2稳定后，进 2小时保压测试。6保压测试通过后，打开钢瓶阀门，然后触摸屏上，选择standby.注注意：在供应气体时，两个调压阀之间的那个手动阀门打开，使两个调压阀同时供气，并保持调压阀门适当成打开，要关闭。Emergencystop时，长按3秒Reset按钮，可取消报警窗口。PN2 供气程N2Rack供气程N2Rack供气程Step.Content.1先将全部阀门关闭，并确认钢瓶阀门关闭。2慢慢打开Vent阀门，将剩余N2排出去，然后关闭Vent阀门3用扳手将旧钢瓶拆下，安装新的钢瓶。45打开钢瓶阀门，然后打开关闭Vent阀门15次进吹扫，打开时只要一点点点，最后关闭Vent阀门.然后打开HPI1，再关闭钢瓶阀门，并关闭调压阀，进保压测试 1小时。6保压测试通过后，打开钢瓶阀门，调节调压阀到100psi.7打开LPI可供应P-N2,打开HPI2可供应高压P-N2.H2H2Rack供气程H2Rack供气程Step.Content.1先确认HPI1或2关闭，并关闭钢瓶阀门。2慢慢打开HPV1或2，将剩余H2排出去，然后关闭HPV1或2。3打开PNBV,PGI1或2，然后一点点打开关闭HPV1或2，15次进吹扫。结束后全部关闭。4分离旧钢瓶，并安装新钢瓶。56然后打开PNBV,PGI1或2，然后一点点打开关闭HPV1或2，15次吹扫。结束后全部关闭。打开钢瓶阀门，然后一点点打开HPV1或2,将残 N2排空，然后关闭HPV1或2，7关闭钢瓶阀门，等HPT1或2稳定后，进 2小时保压测试。8保压测试通过后，打开钢瓶阀门，然后触摸屏上，选择standby.注注意：在供应气体时，两个调压阀之间的那个手动阀门打开，使两个调压阀同时供气，并保持调压阀门适当成打开，要关闭。Emergencystop时，长按3秒Reset按钮，可取消报警窗口。BSGS全自动气柜和BSGS供气程全自动气柜和BSGS供气程Step.Content.1A瓶停止供气后，确认A瓶阀门关闭(有Valveshutter者，拆下Valveshutter，然后确认），并关闭PMV1.2“Aselect进入 A操作界面，并确认G-N2,CDA,P-N2供应正常。3选择“Pre-purge，输入密码，“ Confirm（可能要点两次），进入1P(第一次吹扫)，-L(负压测试)，2P(第二次吹扫)42P结束后，进入钢瓶换阶段。确认 PIV,PGI打开，确认新瓶日期。5分离旧瓶，并用绑带和锁链固定好新钢瓶，然后与CGA连接。6连接好之后，“Confirm进入“ 3P，“ +L ,“4P阶段。774P结束后，按“cancel进入下阶段。按“ processGasflow，输入密码，8检查HPT，LPT数值，按“Process，气柜会自动排空内部气体。如有Valveshutter,然后安装Valveshutter，（把Valveshutter先套在钢9瓶上，拧紧，然后插入气管，然后调整高，使瓶阀门上）valveshutter完全套在钢10"confirm"后，关闭调压阀门。11然后打开钢瓶主阀门。12然后打开调压阀门到适当的位置。（BSGS将要打开两个调节阀门。）13PMV1打开。14“confirm之后进入“ process或“ standby。特气系统异常泄，紧急处程序WORDWORD格式可编辑气体泄漏紧急应变流程气体异常泄漏描述及处理流程气体真实泄漏1.如出现一段报警，值班人员通过中控室报警特气种类SCADA曲线，初步判断是否真实泄漏，并立即通知特气及厂务负责人。2.联系厂务特气负责人员，询问是否在进行特气换钢瓶动作。并通过CCTV查看特气间有无人员施工或异样。3.如一段报警值已逐渐下降，并恢复正常。即通知特气及厂务负责人及设施部经理，告知为可能干扰误动作，并查看供气设备是否正常供气。4.如报警等级上升至二段，特气人员会同抢修人员穿戴SCBA及防护用品，并携带便携式侦测器赶去现场确认侦测器是否正常工作。5.如确认为真实泄露报警，立即通知设施部经理，要马上关断气源停止供气，设备部马上启动相应措施，并由ERC决定是否需要通知全厂疏散。6，抢修人员