微纳加工工艺流程

高通量微流控器件的设计与加工掩模的制作掩模的制备是光刻中的关键步骤之一，其作用是在一个平面上有选择性的阻挡紫外光的通过，从而实现光刻胶的局部曝光。掩模的图形及尺度由计算机设计完成，常用的设计软件有L-edit（目前最新版本为10.0）和AutoCAD等。带有图形结构的掩模常用介质有透明膜和玻璃板，图形结构一般由透明和不透明的区域组成。掩模有时也被称作原图或光刻版。当分辨率要求不高时，掩模可用简单的方法来制备。最常用的方法是使用高分辨率的激光照排机（3000dpi以上）将图形打印在透明胶片上，这种方法的误差一般为3-7µm，视激光照排机的精度而定。当图形的尺度为10µm量级时，此法制成的掩模可近似视为精确。使用激光照排机的优点在于设备易得，一般的出版社就有可以满足要求的机器；并且制作过程很简单，只需要一步打印。图1采用L-edit设计的模版图。通过电子束曝光的方法可以得到精度更高的掩模版，精度可达100nm甚至10nm级。这种掩模版为金属掩模，所以不论是精度、寿命还是使用时的方便程度，均要优于打印方法制成的模版。但它的缺点也十分明显：成本非常高（一块模版通常要上千元人民币），并且制作周期时间长。还有其他一些方法可以得到掩模版，如准分子激光刻蚀和光学缩小等方法，这样得到的模版精度较高，但对设备的要求都比较高。光刻胶光刻胶是由溶解在一种或几种有机溶剂中的光敏聚合物或预聚合物的混合物组成的，它是用光刻技术将掩模上的微结构精确转移到基片的关键媒介。根据用途不同，有多种黏度、光学性质及物理化学性质不同的品种供选择。光刻胶有两种基本的类型：一种是负型光刻胶，它们在曝光时发生交联反应形成较曝光前更难溶的聚合物；另一种是正型光刻胶，它们在曝光时聚合物发生链断裂分解而变得更容易溶解。根据它们的特性，负型光刻胶显影后曝光部分被固定而非曝光部分被洗掉；正型光刻胶则是曝光的部分在显影后被洗掉，非曝光部分被固定。下面分别介绍这两种光胶：a.负光胶负光胶曝光中发生的光化学反应比正光胶相对简单。例如Minsk于1954卖给EastmanKodak公司的专利，应用的是聚乙烯醇肉桂酸酯中的肉硅酸部分的双键对紫外线敏感，双键之一被打开后形成双游离基，这些双游离基不稳定，很快与其他游离基间相互连接，形成新的碳-碳链，并与其他线形分子交联形成更大的聚合物分子。与曝光前相比，聚合物变得更不易溶解且抗化学侵蚀性更强，因而未曝光的部分可被显影液溶解而去掉。此即为KPR（柯达光刻胶）和其他负胶的基本原理。我们实验室常用的负光胶是国产的BP系列，特点是光胶薄（1-3µm），附着力极好，分辨率高，但缺点是难去除。另一种具有代表性的光敏聚合物为SU-8。它是一种环氧型聚合物材料，因为平均一个单体分子中含有8个环氧基，因此名称中有8,其结构如图2所示。SU-8光学透明性、硬质、光敏的独特性质，在微加工材料中独树一帜。主要特点如下：高机械强度；高化学惰性；可进行高深宽比、厚膜和多层结构加工。由于它在近紫外区光透过率高，因而在厚胶上仍有很好的曝光均匀性，即使膜厚达100µm，所得到的图形边缘仍近乎垂直，深宽比可达50：1。图2SU-8单体的典型结构。SU-8是机理和材料完全不同的一类负光刻胶。该胶可溶于GBL（gamma-butyrolactone）溶液中。溶剂的量决定了黏度，从而也决定了可能的涂覆厚度，不同的型号可合适做不同的厚度，最常见的是10µm到100µm。引发剂三苯基硫盐按SU-8量的10%比例加入。SU-8在前烘中有很好的自平整能力。经100oC以上固化后，交联的SU-8有较强的抗腐蚀性，热稳定性大于200oC。高温下可耐pH值13的碱性溶液的侵蚀。SU-8的光反应机理：光刻胶中的光引发剂吸收光子发生光化学反应，生成一种强酸，其作用是在中烘过程中作为酸性催化剂促进发生交联反应。只有曝光区域的光胶才含有这样形成的强酸，未曝光区域则不含有。交联反应链式增长，每一个环氧基都能与同一分子或不同分子中的其他环氧基反应。交联反应形成了致密的交联网络结构不溶于显影液PGMEA中。b.正光胶正光胶的有关技术主要来自含氮染料、印刷和复印工业。正光胶基于重氮盐和二叠氮化物的两个反应。在碱性条件下，重氮盐或二叠氮化物很快与酚类偶合剂发生几乎定量的反应，形成各种有色且难溶的染料，其颜色和溶解性取决于二叠氮化物和偶合物的结构。上述两种成分在偏酸性缓冲液中则不发生反应。显影液提供的碱性条件则可引发耦合反应。二叠氮化物经紫外线曝光发生分解反应，释放出氮气，在显影过程中无法再发生耦合反应，而是形成容易被溶解的产物。很多常用的正光胶含有不同烷基的萘醌二叠氮化物，具有不同的粘性、溶解性和其他特性。该类叠氮化物在紫外线照射下分解并重排生成乙烯酮，在潮湿气氛下进一步转化成羧基酸茚。在碱性溶液中显影时，羧基酸茚被溶解，即曝光的光胶部分被溶解，而未被曝光的叠氮化物之间与共存的酚类化合物在碱性显影液中发生耦合反应，形成胶连的难溶物。通常原理可用图3表示：图3正光胶的有关化学反应。我们实验室常用的正光胶有AZ公司的一系列产品，如AZ50、AZ5214、AZ9260等。它们都有不同的特性，如AZ50的黏度比较大，可以用于制作厚胶模版（10-60µm厚）；AZ5214则为薄胶（1-3µm），分辨率较高，作掩模的耐腐蚀性也很好。光刻标定高度曲线图(SU-83000系列)光刻标定相关数据（SU-83005）胶型环境温度环境湿度涂胶转数前烘时间后烘时间光刻机光强曝光时间平均高度65℃95℃65℃95℃SU-8300523℃39%10〞500rpm1min4min1min3min20μw∕cm²70sec9.6μm30〞1000rpmSU-8300522℃22%10〞500rpm1min4min1min2min20.8μw∕cm²65sec8μm30〞1500rpmSU-8300524℃20%10〞500rpm1min4min1min2min20.8μw∕cm²60sec6.95μm30〞2021rpmSU-8300524℃20%10〞500rpm1min3min1min2min20.8μw∕cm²55sec5.6μm30〞2500rpmSU-8300522℃30%10〞500rpm1min3min1min2min20μw∕cm²50sec5.05μm30〞3000rpmSU-8300523℃26%10〞500rpm1min3min1min2min20μw∕cm²45sec4.4μm30〞3500rpmSU-8300523℃24%10〞500rpm1min3min1min2min21.7μw∕cm²38sec3.65μm30〞4000rpm光刻标定相关数据（SU-83010）胶型环境温度环境湿度涂胶转数(两步程序)前烘时间后烘时间光刻机光强曝光时间平均高度65℃95℃65℃95℃SU-8301021℃20%10〞500rpm2min10min1min4min17.3μw∕cm²100sec18.4μm30〞1000rpmSU-8301023℃20%10〞500rpm2min10min1min4min18μw∕cm²95sec14.3μm30〞1500rpmSU-8301024℃20%10〞500rpm1min9min1min3min18μw∕cm²90sec12.1μm30〞2021rpmSU-8301024℃20%10〞500rpm1min4min1min2min18μw∕cm²85sec10.7μm30〞2500rpmSU-8301022℃52%10〞500rpm1min4min1min2min17.8μw∕cm²80sec9.6μm30〞3000rpmSU-8301023℃44%10〞500rpm1min4min1min2min18.3μw∕cm²75sec9μm30〞3500rpmSU-8301023℃46%10〞500rpm1min3min1min2min18.3μw∕cm²70sec8.1μm30〞4000rpm光刻标定相关数据（SU-83025）胶型环境温度环境湿度涂胶转数(两步程序)前烘时间后烘时间光刻机光强曝光时间平均高度65℃95℃65℃95℃SU-8302523℃30%10〞500rpm2min20min1min5min19.1μw∕cm²170sec76.15μm30〞1000rpmSU-8302524℃21%10〞500rpm2min17min1min9min23.2μw∕cm²150sec49μm30〞1500rpmSU-8302522℃60%10〞500rpm2min15min1min5min16μw∕cm²135sec42.5μm30〞2021rpmSU-8302524℃24%10〞500rpm2min8min1min5min20.7μw∕cm²115sec31μm30〞2500rpmSU-8302522℃22%10〞500rpm2min6min1min4min20.7μw∕cm²90sec25.8μm30〞3000rpmSU-8302525℃不详(不到20%)10〞500rpm2min5min1min3min19μw∕cm²80sec22μm30〞3500rpmSU-8302522℃不详(不到20%)10〞500rpm1min3min1min2min19μw∕cm²65sec19μm30〞4000rpm光刻标定相关数据（SU-83050）胶型环境温度环境湿度涂胶转数(两步程序)前烘时间后烘时间光刻机光强曝光时间平均高度65℃95℃65℃95℃SU-8305020℃52%10〞500rpm2min25min1min7min18μw∕cm²230sec182.4μm30〞1000rpmSU-8305023℃42%10〞500rpm2min20min1min6min19.5μw∕cm²190sec82.45μm30〞1500rpmSU-8305022℃20%10〞500rpm2min15min1min5min18μw∕cm²160sec72.4μm30〞2021rpmSU-8305023℃22%10〞500rpm2min15min1min5min18.8μw∕cm²130sec57.85μm30〞2500rpmSU-8305024℃24%10〞500rpm2min15min1min5min19.2μw∕cm²100sec45.15μm30〞3000rpmSU-8305022℃20%10〞500rpm2min15min1min5min19.9μw∕cm²90sec35.65μm30〞3500rpmSU-8305023℃20%10〞500rpm2min15min1min5min18.3μw∕cm²80sec35.45μm30〞4000rpm光胶的涂布光胶的均匀涂布是通过甩胶机完成的。先将基片（通常是硅片衬底）置于甩胶机的转盘上，基片在真空的作用下被吸在盘上。液体光刻胶被置于基材的中间。基片在转动盘的带动下快速旋转，一般先用较低速运转数秒使胶散开，然后再以高速运转使胶在离心力的作用下均匀的覆盖在基片上，此过程称旋涂（Spin-Coating）。涂敷光胶层的厚度取决于光胶黏度和旋转的速度。此外，光胶预烘烤的温度和时间、光胶的施加量及环境温度也有一定影响。甩胶通常要在超净间内进行，否则有两个原因可以导致缺陷：甩胶和曝光时空气中的微尘颗粒和液体光胶中含有沾污的颗粒。超净间内微尘的数量一般为千级(每立方英尺空气中的直径大于0.5µm的微粒数低于1000个)，局部为百级，可以很好的保证甩胶的质量。另外，有些光胶与硅片衬底之间的附着力并不是很好，这会影响甩胶的厚度均一性，同时也会增大显影的难度。解决的方法为在硅片上预先涂上一层物质，使光胶的附着力增强。对于AZ系列的光胶，常用的物质为HMDS，它可以很好的增加其附着力。光刻及显影光胶涂布后，要进行前烘烤，使液态光胶固化，称为前烘。前烘时间一般为3-5分钟，具体要依照光刻胶的种类和厚度。一般曝光设备大多采用紫外光源如汞灯，且具有X-Y方向的对位功能，简易式的可只需一个汞灯光源。图4北大微流与纳米技术中心的紫外曝光机。经过光刻，可将掩模上的图形转移到硅片上。具体过程为，在曝光间内，将前烘好的基片置于曝光台上，再将掩模置于其上。之后进行紫外曝光，曝光机在曝光的区域内光强的误差一般会小于5%，这使得整个基片上的光刻胶可以均匀的进行曝光。曝光时间一般由光胶厚度决定。如图5所示：图5光刻胶对掩模上图形的转移。曝光后的光胶经过显影就完成了对掩模上图形的转移。使用正光胶时，显影得到的图形与所用掩模的图像相同；使用负光胶时，显影得到的图形与掩模上的图形相反。利用掩模图形的灰度变化或在掩模之上加带有光透过率梯度的滤光片还可能在光胶上进行不同程度的曝光，从而形成立体结构。根据不同的需要，显影后有时要进行定影和后烘烤，以保证图形的平整度和坚固性。总结：光刻工艺：光刻前首先把硅片放在195℃热板上烘烤5分钟，目的是烘干水分。按甩胶，前烘，曝光，后烘，显影，吹干步骤完成由掩模上的图形转移到光刻胶上。使用台阶仪对高度进行进一步测定，以及记录PDMS的塑模聚二甲基硅氧烷（polydimethylsilicone）简称PDMS，俗称硅橡胶，是当前应用最多的微流芯片材料之一。PDMS由于具有独特的弹性，良好的透光性，高介电性，化学惰性，无毒，容易加工，价格便宜而得到广泛的应用。PDMS容易由单体和交联剂的预聚物热交联而得到固体状态。PDMS对300nm以上的光有很好的光透性。图6PDMS聚合后的分子式和实物A胶（单体）与B胶（胶联剂）。通过控制单体和交联剂的比例可以调节PDMS的硬度。通常，交联剂的比例越高，硬度越大。将搅匀的液态PDMS倒在模具上，等到无气泡时，放到80oC的恒温箱内30分钟，PDMS完全固化后，将其从模具上剥离，即可得到有图形的PDMS。为了使PDMS能够完整的从模具上剥离，通常要在往模具上倒液态PDMS之前，对模具用三甲基氯硅烷在气相中处理几分钟，以防止再塑模过程中PDMS的粘附。图7为制作芯片PDMS部分的示意图：图7PDMS的铸模过程。b.PDMS芯片的封合通常需要封合的为PDMS与PDMS或PDMS与玻璃。PDMS与PDMS之间的封合通常采用热封合的办法。将需要封合的两块PDMS放在一起并施以很小的压力，再放入恒温箱内加热2-3小时，即可完成封合。图8北大微流与纳米技术中心空气等离子体处理器。PDMS与玻璃（通常为载玻片）之间的封合通常采用等离子辅助键合的方法。用氧离子轰击玻璃和PDMS的表面，可以提高其表面活性，之后通过一定的压力即可使二者永久键合。等离子辅助键合的方法由于不需要高温高压等条件，故能够很好的保持芯片上的图形。同时，等离子体轰击表面还有助于表面的净化。由于此方法有很多优点，所以得到了广泛的应用。总结：PDMS软注膜以及芯片粘合：配置A:B=10：1的PDMS约30克，搅拌均匀后等倒入模具盒子内等气泡消失。放入75度烘箱30分钟。取出冷却后按不同区域用刀片切好。用1.0mm直径的打孔器在对应的位置打孔清洁好表面后，放入等离子处理机内中空气等离子体处理1分钟后取出粘合，放到烘箱内烘烤过夜

高考语文试卷一、语言文字运用（15分）1．在下面一段话的空缺处依次填入词语，最恰当的一组是（3分）提到桃花源，许多人会联想到瓦尔登湖。真实的瓦尔登湖，早已成为▲的观光胜地，梭罗的小木屋前也经常聚集着▲的游客，不复有隐居之地的气息。然而虚构的桃花源一直就在我们的心中，哪怕▲在人潮汹涌的现代城市，也可以获得心灵的宁静。A．名闻遐迩闻风而至杂居 B．名噪一时闻风而至栖居C．名噪一时纷至沓来杂居 D．名闻遐迩纷至沓来栖居2．在下面一段文字横线处填入语句，衔接最恰当的一项是（3分）在南方，芭蕉栽植容易，几乎四季常青。▲至于月映蕉影、雪压残叶，那更是诗人画家所向往的了。①它覆盖面积大，吸收热量大，叶子湿度大。②古人在走廊或书房边种上芭蕉，称为蕉廊、蕉房，饶有诗意。③因此蕉阴之下，是最舒适的小坐闲谈之处。④在旁边配上几竿竹，点上一块石，真像一幅元人的小景。⑤在夏日是清凉世界，在秋天是分绿上窗。⑥小雨乍到，点滴醒人；斜阳初过，青翠照眼。A．①③②④⑥⑤ B．①④②③⑥⑤C．②①④③⑤⑥ D．②③④①⑤⑥3．下列诗句与“悯农馆”里展示的劳动场景，对应全部正确的一项是（3分）①笑歌声里轻雷动，一夜连枷响到明②种密移疏绿毯平，行间清浅縠纹生③分畴翠浪走云阵，刺水绿针抽稻芽④阴阴阡陌桑麻暗，轧轧房栊机杼鸣A．①织布②插秧③车水④打稻 B．①织布②车水③插秧④打稻C．①打稻②插秧③车水④织布D．①打稻②车水③插秧④织布4．阅读下图，对VR（即“虚拟现实”）技术的解说不正确的是一项是（3分）A．VR技术能提供三个维度的体验：知觉体验、行为体验和精神体验。 B．现有的VR技术在精神体验上发展较快，而在知觉体验上发展较慢。C．VR技术的未来方向是知觉体验、行为体验和精神体验的均衡发展。D．期许的VR体验将极大提高行为体验的自由度和精神体验的满意度。二、文言文阅读（20分）阅读下面的文言文，完成5—8题。临川汤先生传邹迪光先生名显祖，字义仍，别号若士。豫章之临川人。生而颖异不群。体玉立，眉目朗秀。见者啧啧曰：“汤氏宁馨儿。”五岁能属对。试之即应，又试之又应，立课数对无难色。十三岁，就督学公试，补邑弟子员。每试必雄其曹偶。庚午举于乡，年犹弱冠耳。见者益复啧啧曰：“此儿汗血，可致千里，非仅仅蹀躞康庄也者。”丁丑会试，江陵公①属其私人啖以巍甲而不应。曰：“吾不敢从处女子失身也。”公虽一老孝廉乎，而名益鹊起，海内之人益以得望见汤先生为幸。至癸未举进士，而江陵物故矣。诸所为附薰炙者，骎且澌没矣。公乃自叹曰：“假令予以依附起，不以依附败乎？”而时相蒲州、苏州两公，其子皆中进士，皆公同门友也。意欲要之入幕，酬以馆选，而公率不应，亦如其所以拒江陵时者。以乐留都山川，乞得南太常博士。至则闭门距跃，绝不怀半刺津上。掷书万卷，作蠹鱼其中。每至丙夜，声琅琅不辍。家人笑之：“老博士何以书为？”曰：“吾读吾书，不问博士与不博士也。”寻以博士转南祠部郎。部虽无所事事，而公奉职毖慎，谓两政府进私人而塞言者路，抗疏论之，谪粤之徐闻尉。居久之，转遂昌令。又以矿税事多所蹠戾②，计偕之日，便向吏部堂告归。虽主爵留之，典选留之，御史大夫留之，而公浩然长往，神武之冠竟不可挽矣。居家，中丞惠文，郡国守令以下，干旄往往充斥巷左，而多不延接。即有时事，非公愤不及齿颊。人劝之请托，曰：“吾不能以面皮口舌博钱刀，为所不知后人计。”指床上书示之：“有此不贫矣。”公于书无所不读，而尤攻《文选》一书，到掩卷而诵，不讹只字。于诗若文无所不比拟，而尤精西京六朝青莲少陵氏。公又以其绪余为传奇，若《紫箫》、《还魂》诸剧，实驾元人而上。每谱一曲，令小史当歌，而自为之和，声振寥廓。识者谓神仙中人云。公与予约游具区灵岩虎丘诸山川，而不能办三月粮，逡巡中辍。然不自言贫，人亦不尽知公贫。公非自信其心者耶？予虽为之执鞭，所忻慕焉。（选自《汤显祖诗文集》附录，有删节）[注]①江陵公：指时相张居正，其为江陵人。②蹠戾：乖舛，谬误。5．对下列加点词的解释，不正确的一项是（3分）A．每试必雄其曹偶 雄：称雄B．酬以馆选 酬：应酬C．以乐留都山川 乐：喜爱D．为所不知后人计 计：考虑6．下列对原文有关内容的概括和分析，不正确的一项是（3分）A．汤显祖持身端洁，拒绝了时相张居正的利诱，海内士人都以结识他为荣幸。B．因为上书批评当权者徇私情、塞言路，汤显祖被贬官至广东，做了徐闻尉。C．汤显祖辞官回家后，当地官员争相与他交往，而汤显祖不为私事开口求人。D．汤显祖与邹迪光相约三月份到江南一带游玩，但没准备好粮食，因而作罢。7．把文中画线的句子翻译成现代汉语。（10分）（1）见者益复啧啧曰：“此儿汗血，可致千里，非仅仅蹀躞康庄也者。”（2）然不自言贫，人亦不尽知公贫。公非自信其心者耶？予虽为之执鞭，所忻慕焉。8．请简要概括汤显祖读书为文的特点。（4分）三、古诗词鉴赏（11分）阅读下面这首唐诗，完成9—10题。学诸进士作精卫衔石填海韩愈鸟有偿冤者，终年抱寸诚。口衔山石细，心望海波平。渺渺功难见，区区命已轻。人皆讥造次，我独赏专精。岂计休无日，惟应尽此生。何惭刺客传，不著报雠名。9．本读前六句是怎样运用对比手法勾勒精卫形象的？请简要分析。(6分)10．诗歌后六句表达了作者什么样的人生态度？（5分）四、名句名篇默写（8分）11．补写出下列名句名篇中的空缺部分。（1）名余曰正则兮，__________________。（屈原《离骚》）（2）__________________，善假于物也。（荀子《劝学》）（3）艰难苦恨繁霜鬓，__________________。（杜甫《登高》）（4）树林阴翳，__________________，游人去而禽鸟乐也。（欧阳修《醉翁亭记》）（5）__________________，抱明月而长终。（苏轼《赤壁赋》）（6）浩荡离愁白日斜，__________________。（龚自珍《己亥杂诗》）（7）道之以德，__________________，有耻且格。（《论语·为政》）（8）盖文章，经国之大业，__________________。（曹丕《典论·论文》）五、现代文阅读（一）（15分）阅读下面的作品，完成12~14题。表妹林斤澜矮凳桥街背后是溪滩，那滩上铺满了大的碎石，开阔到叫人觉着是不毛之地。幸好有一条溪，时宽时窄，自由自在穿过石头滩，带来水草野树，带来生命的欢喜。滩上走过来两个女人，一前一后，前边的挎着个竹篮子，简直有摇篮般大，里面是衣服，很有点分量，一路拱着腰身，支撑着篮底。后边的女人空着两手，几次伸手前来帮忙，前边的不让。前边的女人看来四十往里，后边的四十以外。前边的女人不走现成的小路，从石头滩上斜插过去，走到一个石头圈起来的水潭边，把竹篮里的东西一下子控在水里，全身轻松了，透出来一口长气，望着后边的。后边的走不惯石头滩，盯着脚下，挑着下脚的地方。前边的说：“这里比屋里清静，出来走走，说说话……再呢，我要把这些东西洗出来，也就不客气了。”说着就蹲下来，抓过一团按在早铺平好了的石板上，拿起棒槌捶打起来，真是擦把汗的工夫也节约了。看起来后边的是客人，转着身于看这个新鲜的地方，有一句没一句地应着：“水倒是清的，碧清的……树也阴凉……石头要是走惯了，也好走……”“不好走，一到下雨天你走走看，只怕担断了脚筋。哪有你们城里的马路好走。”“下雨天也洗衣服?”“一下天呢，二十天呢。就是三十天不洗也不行。嗐，现在一天是一天的事情，真是日日清，月月结。”客人随即称赞：“你真能干，三表妹，没想到你有这么大本事，天天洗这么多。”主人微微笑着，手里捶捶打打，嘴里喜喜欢欢的：事情多着呢。只有晚上吃顿热的，别的两顿都是马马虎虎。本来还要带子，现在托给人家。不过洗完衣服，还要踏缝纫机。”客人其实是个做活的能手，又做饭又带孩子又洗衣服这样的日子都过过。现在做客人看着人家做活，两只手就不知道放在哪里好。把左手搭在树杈上，右手背在背后，都要用点力才在那里闲得住。不觉感慨起来：“也难为你，也亏得是你，想想你在家里的时候，比我还自在呢。”主人放下棒槌，两手一刻不停地揉搓起来：“做做也就习惯了。不过，真的，做惯了空起两只手来，反倒没有地方好放。乡下地方，又没有什么好玩的，不比城里。”客人心里有些矛盾，就学点见过世面的派头，给人家看，也压压自己的烦恼：“说的是，”右手更加用力贴在后腰上，“空着两只手不也没地方放嘛。城里好玩是好玩，谁还成天地玩呢。城里住长久了，一下乡，空气真就好，这个新鲜空气，千金难买。”单夸空气，好比一个姑娘没有什么好夸的，单夸她的头发。主人插嘴问道：“你那里工资好好吧？”提起工资，客人是有优越感的，却偏偏埋怨道：“饿不死吃不饱就是了，连奖金带零碎也有七八十块。”“那是做多做少照样拿呀！”“还吃着大锅饭。”“不做不做也拿六七十吧？”“铁饭碗！”客人差不多叫出来，她得意。主人不住手地揉搓，也微微笑着。客人倒打起“抱不平”来：“你好脾气，要是我，气也气死了，做多做少什么也不拿。”“大表姐，我们也搞承包了。我们家庭妇女洗衣店，给旅店洗床单，给工厂洗工作服都洗不过来。”“那一个月能拿多少呢？”客人问得急点。主人不忙正面回答，笑道：“还要苦干个把月，洗衣机买是买来了，还没有安装。等安装好了，有时间多踏点缝纫机，还可以翻一番呢！”“翻一番是多少？”客人急得不知道转弯。主人停止揉搓，去抓棒槌，这功夫，伸了伸两个手指头。客人的脑筋飞快转动：这两个手指头当然不会是二十，那么是二百……听着都吓得心跳，那顶哪一级干部了？厂长？……回过头来说道：“还是你们不封顶好，多劳多得嘛。”“不过也不保底呀，不要打算懒懒散散混日子。”客人两步扑过来，蹲下来抓过一堆衣服，主人不让，客人已经揉搓起来了，一边说：“懒懒散散，两只手一懒，骨头都要散……乡下地方比城里好，空气第一新鲜，水也碧清……三表妹，等你大侄女中学一毕业，叫她顶替我上班，我就退下来……我到乡下来享几年福，你看怎么样？”（选自《十月》1984年第6期，有删改）12．下列对小说相关内容和艺术特色的赏析，不正确的一项是？A．小说开头的景物描写，以自由流动的溪水所带来的“水草野树”以级“生命的欢喜”，暗示着农村的新气象。B．小说中“一路拱着腰身”等动作描写，以及“真是日日清，月月结”等语言描写，为下文表妹承包洗衣服这件事做了铺垫。C．表姐两次提到乡下空气“新鲜”，第一次是出于客套，第二次提到时，表姐对农村的好已有了更多体会。D．表妹说的“不要打算懒懒散散混日子”，既表达了自己对生活的态度，也流露出对自己得不到休息的些许不满。13．请简要分析表姐这一人物形象。（6分）14．小说刻画了两个人物，作者以“表妹”为题，表达了哪些思想感情？（6分）六、现代文阅读（二）（12分）阅读下面的作品，完成15~17题。书家和善书者沈尹默“古之善书者，往往不知笔法。”前人是这样说过。就写字的初期来说，这句话，是可以理解的，正同音韵一样，四声清浊，是不能为晋宋以前的文人所熟悉的，他们作文，只求口吻调利而已。笔法不是某一个人凭空创造出来的，而是由写字的人们逐渐地在写字的点画过程中，发现了它，因而很好地去认真利用它，彼此传授，成为一定必守的规律。由此可知，书家和非书家的区别，在初期是不会有的。写字发展到相当兴盛之后（尤其到唐代），爱好写字的人们，一天比一天多了起来，就产生出一批好奇立异、相信自己、不大愿意守法的人，各人使用各人的手法，各人创立各人所愿意的规则。凡是人为的规则，它本身与实际必然不能十分相切合，因而它是空洞的、缺少生命力的，因而也就不会具有普遍的、永久的活动性，因而也就不可能使人人都满意地沿用着它而发生效力。在这里，自然而然地便有书家和非书家的分别了。有天分、有休养的人们，往往依他自己的手法，也可能写出一笔可看的字，但是详细监察一下它的点画，有时与笔法偶然暗合，有时则不然，尤其是不能各种皆工。既是这样，我们自然无法以书家看待他们，至多只能称之为善书者。讲到书家，那就得精通八法，无论是端楷，或者是行草，他的点画使转，处处皆须合法，不能四号苟且从事，你只要看一看二王、欧、虞、褚、颜诸家遗留下来的成绩，就可以明白的。如果拿书和画来相比着看，书家的书，就好比精通六法的画师的画；善书者的书，就好比文人的写意画，也有它的风致可爱处，但不能学，只能参观，以博其趣。其实这也是写字发展过程中，不可避免的现象。六朝及唐人写经，风格虽不甚高，但是点画不失法度，它自成为一种经生体，比之后代善书者的字体，要严谨得多。宋代的苏东坡，大家都承认他是个书家，但他因天分过高，放任不羁，执笔单钩，已为当时所非议。他自己曾经说过：“我书意造本无法。”黄山谷也尝说他“往往有意到笔不到处”。就这一点来看，他又是一个道地的不拘拘于法度的善书的典型人物，因而成为后来学书人不须要讲究笔法的借口。我们要知道，没有过人的天分，就想从东坡的意造入手，那是毫无成就可期的。我尝看见东坡画的枯树竹石横幅，十分外行，但极有天趣，米元章在后边题了一首诗，颇有相互发挥之妙。这为文人大开了一个方便之门，也因此把守法度的好习惯破坏无遗。自元以来，书画都江河日下，到了明清两代，可看的书画就越来越少了。一个人一味地从心所欲做事，本来是一事无成的。但是若能做到从心所欲不逾矩（自然不是意造的矩）的程度，那却是最高的进境。写字的人，也需要做到这样。（有删改）15．根据原文内容，下列说法不正确的一项是（3分）A．善书而不知笔法，这一现象出现在写字初期，当时笔法还未被充分发现和利用。B．唐代爱好写字的人渐多，有一批人好奇立异，自创规则，经生体就是这么产生的。C．二王、欧、虞、褚、颜诸家都是严格遵守笔法的典型，他们都属于书家的行列。D．元明清三代，书画创作每况愈下，优秀作品越来越少，与守法度的习惯被破坏有关。16．下列关于原文内容的理解和分析，不正确的一项是（3分）A．在写字过程中，那些与实际不能完全切合的人为的规则，不具有普遍的永久的活动性，因而不能称之为笔法。B．书与画相似，书家之书正如画师之画，谨严而不失法度，而善书者之书正如文人的写意，别有风致。C．苏东坡天分高，修养深，意造的书画自有天然之趣，但率先破法，放任不羁，成为后世不守法度的借口。D．一味从心所欲做事是不可取的，但写字的人如能做到“从心所欲不逾矩”，却能达到最高的境界。17．书家和善书者的区别体现在哪些方面？请简要概括。（6分）七、现代文阅读（三）（12分）阅读下面的作品，完成18~20题。天津的开合桥茅以升开合桥就是可开可合的桥，合时桥上走车，开时桥下行船，一开一合，水陆两便，是一种很经济的桥梁结构。但在我国，这种桥造得很少，直到现在，几乎全国的开合桥都集中在天津，这不能不算是天津的一种“特产”。南运河上有金华桥，于牙河上有西河桥，海河上有全钢桥、全汤桥、解放桥。这些都是开合桥。为什么天津有这样多的开合桥呢？对陆上交通说，过河有桥，当然是再好没有了。但是河上要行船，有了桥，不但航道受限制，而且船有一定高度，如果桥的高度不变，水涨船高，就可能过不了桥。要保证船能过桥，就要在桥下预留一个最小限度的空间高度，虽在大水时期，仍然能让最高的船通行无阻。这个最小限度的空间高度，名为“净空”，要等于河上航行的船的可能最大高度。根据河流在洪水时期的水位，加上净空，就定出桥面高出两岸的高度。如果河水涨落差距特别大，如同天津的河流一样，那么，这桥面的高度就很惊人了。桥面一高，就要在桥面和地面之间造一座有坡度的“引桥”，引桥不仅增加了桥梁的造价，而且对两旁的房屋建筑非常不利。这在城市规划上成了不易解决的问题。这便是水陆文通之同的一个矛盾。为了陆上交通，就要有正桥过河，而正桥就妨碍了水上交通；为了水上交通，就要有两岸的引桥，而引桥又妨碍了陆上交通，因为上引桥的车辆有的是要绕道而行的，而引桥两旁的房屋也是不易相互往来的。在都市里，除非长度有限，影响不大的以外，引桥总是一种障碍物，应当设法消除。开合桥就是消除引桥的一种桥梁结构。天津开河桥多，就是这个原因。开合桥的种类很多，一种是“平旋桥”，把两孔桥联在一起，在两孔之间的桥墩上，安装机器，使这两孔桥围绕这桥墩在水面上旋转九十度，与桥的原来位置垂直，让出两孔航道，上下无阻地好过船。一种“升降桥”，在一孔桥的两边桥墩上，各立塔架，安装机器，使这一孔桥能在塔架间升降，就像电梯一样，桥孔升高时，下面就可以过船了。一种是“吊旋桥”，把一孔桥分为两叶，每叶以桥墩支座为中心，用机器转动，使其临空一头，逐渐吊起，高离水面，这样两叶同时展开，就可让出中间通道，以便行船。一是“推移桥”把一孔桥用机器沿着水平面拖动，好像拉抽屉是一样，以使让出河道行船。开合桥桥面不必高出地面，不用引桥，但开时不能走车，合时不能通船，水陆交通不可同时进行。特别是，桥在开合的过程中，既非全开，又非全合，于是在这一段时间里，水陆都不能通行，这在运输繁忙的都市，如何能容许呢？因此，在桥梁史上，开合桥虽曾风行一时，但在近数十年来，就日益减少了。那么，开合桥怎样才能更好地服务呢？应当说，有几种改进的可能：一是将桥身减轻，改用新材料，使它容易开动；二是强化桥上的机器，提高效率，大大缩减开桥合桥的时间；三是利用电子仪器，使桥的开合自动化，以期达到每次开桥时间不超过3分钟，如同十字道口的错车时间一样。这些都不是幻想，也许在不久的将来就会实现。（有删改）18．下列对文中“引桥”的理解，不正确的一项（3分）A．引桥是建造在河的两岸有一定坡度的桥，其作用是引导车辆驶上正桥。B．在设计引桥时，需要综合考虑空间高度、桥梁造价、城市规划等因素。C．引桥方便了水上交通，但会妨碍陆上交通，因为上引桥的车辆必须绕道。D．在都市里，长度过长、影响太大的引桥是一种障碍物，应该设法消除。19．下列对原文内容的概括和分析，不正确的一项是（3分）A．开合桥成为天津的“特产”，与天津河流水位涨落差距特别大密切相关。B．建桥时，正桥桥面高出两岸的高度等于河流平时的水位加上桥的净空。C．除平旋桥之外，升降桥、吊旋桥、推移桥这三种都属于一孔桥。D．改进开合桥的关键是尽可能缩减桥的开合时间，提高通行效率。20．请结合全文，概括开合桥的优缺点。（6分）八、作文（70分）21．根据以下材料，选取角度，自拟题目，写一篇不少于800字的文章；除诗歌外，文体自选。物各有性，水至淡，盐得味。水加水还是水，盐加盐还是盐。酸甜苦辣咸，五味调和，共存相生，百味纷呈。物如此，事犹是，人亦然。语文Ⅱ（附加题）一、阅读材料，完成22～24题。（10分）题自书杜拾遗诗后徐渭余读书卧龙山之巅，每于风雨晦暝时，辄呼杜甫。嗟乎，唐以诗赋取士，如李杜者不得举进士；元以曲取士，而迄今啧啧于人口如王实甫者，终不得进士之举。然青莲以清平调三绝宠遇明皇实甫见知于花拖而荣耀当世彼拾遗者一见而辄阻仅博得早朝诗几首而已余俱悲歌慷慨苦不胜述。为录其诗三首，见吾两人之遇，异世同轨。谁谓古今人不相及哉！22．用斜线“/”给上面文言文中的划线部分断句。（限5处）（5分）23．王实甫的杂剧代表作为《▲》，期中男女主人公是▲、▲。（3分）24．根据材料，概括文中古今人“相及”的内涵。（2分）二、名著阅读题。（15分）25．下列有关名著的说明，不正确的两项是（5分）（选择两项且全答对得5分，选择两项只答对一项得2分，其余情况得0分）A．《三国演义》中，张飞在长板桥上睁圆环眼厉声大喝，吓退曹兵，然后迅速拆断桥梁，以阻追兵，可见张飞十分勇猛，有很有智谋。B．《家》中，许倩如倡导女子剪发，带头剪掉自己的辫子，还以梅的遭遇来激发琴拒绝包办婚姻，鼓励琴做一个跟着时代走的新女性。C．《狂人日记》中，狂人说将来的社会“容不得吃人的人”，最后喊出“救救孩子”，作者借此表达了对社会变革的强烈渴望。D．《欧也妮·葛朗台》中，夏尔在父亲破产自杀后，不愿拖累心上人安奈特而写了分手信给她，这一良善之举让偷看信件的欧也妮发誓要永远爱他。F．《老人与海》中，圣地亚哥经过生死搏斗最终将大马林鱼残骸拖回港口，有游客把它当成了鲨鱼骨，这一误会让小说结尾更意味深长。26．简答题（10分）（1）《红楼梦》“寿怡红群芳开夜宴，死金丹独艳理亲丧”一回中，群芳行令，宝钗摇得牡丹签，上云“任是无情也动人”。请结合小说概括宝钗的“动人”之处。（6分）（2）《茶馆》第三幕，在得知来到茶馆的“老得不像样子了”的人是秦仲义时，王利发对他说：“正想去告诉您一声，这儿要大改良！”这里的“大改良”指的是什么？这句话表达了王利发什么样的情感？（4分）三、材料概括分析题（15分）阅读材料，完成27—29题。去故宫参观时，会看到许多监控探头，这属于现代高科技警报系统。从前有没有安全警报系统呢？在古代，进入紫禁城须凭腰牌与合符，上面刻有允许入内人员的身份信息，守卫会当场检查。一旦发现危险，附近白塔山上的信炮手接到放炮令牌，立即朝天开炮，卫士们就会迅速集合。如果有人越过了外围防御系统，还有一种特殊的警报装置——石别拉。这种石别拉，材料比较简单，利用故宫大量使用的栏板的望柱头改造而成。望柱也称为栏杆柱，是中国古道桥梁栏板和栏板之间的短柱，分柱身和柱头两部分。有的柱头是莲花瓣形状，上面有二十四道纹路，象征二十四节气。普通的莲瓣望柱头，本是一块瓷实的石头，加工成石别拉时，把望柱头里面挖空了，就像一个空心葫芦。这种石别柱几乎覆盖了整个紫禁城。需要报警时，侍卫将三寸长的“小铜角”（一种牛角状的喇叭）插入石孔内，使劲吹向，通过石别拉的放大，声音飞快传遍四周。如果有外敌从午门入侵，午门守卫会敲响阙亭里面的警钟，钟声会传至太和门广场，其后各处石别拉会先后吹向，一分钟内，紫禁城所有位置的守卫都能听到警报声。这些望柱头形状和纹饰未受到改变，在紫禁城内起到了很好的装饰作用，而通过对望柱头开孔，制成报警器，又发挥了实用功能。历经数百年沧桑，有的石别拉洞口已被杂物堵上，有的在修缮过程中被新的石材替换了，尽管现在能够通过文献考证了解它的工作原理，但已没人能够把它吹响了。27．古代紫禁城的安全警报系统由哪些部分构成？（4分）28．石别拉这种警报装置有什么特殊之处？（6分）29．如今石别拉不再发挥警报功能的原因有哪些？（5分）2021年普通高等学校招生全国统一考试语文（江苏卷）参考答案一、语言文字运用（12分）1．D2．A3．C4．B二、文言文阅读（20分）5．B6．D7．（l）见到他的人越发啧啧称赞道：“这个年轻人（好比）是汗血宝马，能日行千里，不是那种只能在大路上小步行走的马。”（2）但他自己不说穷，别人也不都知道他穷。汤公不正是信从自己内心的人吗？我即使为他执鞭驾车，也是乐意和向往的。8．读书不为功名，乐此不疲；于书无所不读，尤精《文选》；诗文无所不能，直追汉唐；戏曲创演结合，超迈元人。三、古诗词鉴赏（11分）9．“终年”与“寸诚”对比，表现了决心之坚；细石与大海对比，表现了抱负之大；任务重与性命轻对比，表现了命运之悲。10．独抒己见，不随大流；但求尽力，不计结果；贵在实干，无意显名。四、名句名篇默写（8分）11．（1）字余曰灵均（2）君子生非异也（3）潦倒新停浊酒杯（4）鸣声上下（5）挟飞仙以邀游（6）吟鞭东指即天涯（7）齐之以礼（8）不朽之盛事五、现代文阅读（一）（15分）12．D13．从所拿工资等，看出她是捧着铁饭碗的城市劳动者；从背着手、做派头等，看出她有优越感和虚荣心；从扑过去抢着洗衣服等，看出她渴望通过劳动改变生活。14．赞扬了劳动之美；肯定了勤劳致富的观念；赞美了农村所蕴含的勃勃生机；讴歌了正在变革中的伟大时代。六、现代文阅读（二）（12分）15．B16．C17．是否尽合笔法；能否诸体皆工；是否适宜学习。七、现代文阅读（三）（12分）18．C19．B20．优点：一开一合，水陆两便；无需引桥，经济实用。缺点：开时不能走车，合时不能通船；开合过程中水陆交通都停顿。八、作文（70分）21．略语文Ⅱ（附加题）参考答案一、阅读材料，完成22~24题。（10分）22．然青莲以清平调三绝宠遇明皇/实甫见知于花拖而荣耀当世/彼