粗糙计量基础演示文稿_第1页
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文档简介

粗糙度计量基础演示文稿本文档共197页;当前第1页;编辑于星期二\21点39分粗糙度计量基础本文档共197页;当前第2页;编辑于星期二\21点39分日程安排时间内容3月28日09:30-11:30粗糙度计量学11:30-12:30午餐13:00-16:30英国泰勒·霍普森有限公司产品介绍3月29日09:30-11:30圆度计量学11:30-12:30午餐13:00-16:30英国泰勒·霍普森有限公司仪器参观及技术交流本文档共197页;当前第3页;编辑于星期二\21点39分英国泰勒·霍普森有限公司上海代表处(5人)北京代表处(3人)上海维修站(5人)(上海演示中心)本文档共197页;当前第4页;编辑于星期二\21点39分表面粗糙度计量AMPLITUDEMODULATION©2000TaylorHobsonLtd泰勒•霍普森有限公司演示中心本文档共197页;当前第5页;编辑于星期二\21点39分AMPLITUDEMODULATION目录

1.为什么要测量表面粗糙度?2.测量方法

3.测量基准4.表面再现5.术语6.滤波7.参数8.承载区域(材料比)9.Rk参数10.形状测量11.标定方法12.ConicsandAspherics.13.三维测量14.DrawingIndication.本文档共197页;当前第6页;编辑于星期二\21点39分1.为什么要测量表面粗糙度?AMPLITUDEMODULATION本文档共197页;当前第7页;编辑于星期二\21点39分表面的特性材料的微观结构本文档共197页;当前第8页;编辑于星期二\21点39分表面的特性材料的微观结构刀具的作用本文档共197页;当前第9页;编辑于星期二\21点39分表面的特性材料的微观结构刀具的作用刀具在材料表面的不稳定本文档共197页;当前第10页;编辑于星期二\21点39分表面的特性材料的微观结构刀具的作用刀具在材料表面的不稳定机床导轨的误差本文档共197页;当前第11页;编辑于星期二\21点39分表面的特性材料的微观结构刀具的作用刀具在材料表面的不稳定机床导轨的误差工件表面由于压力而产生的变形本文档共197页;当前第12页;编辑于星期二\21点39分表面的特性材料的微观结构刀具的作用刀具在材料表面的不稳定机床导轨的误差工件表面由于压力而产生的变形本文档共197页;当前第13页;编辑于星期二\21点39分在表面上有害的缺陷深的谷易于导致裂纹的可能扩展当与其紧密配合的零件接触时,太多的峰将引起过早的磨损和失效过多的波纹将导致噪音或预示加工问题本文档共197页;当前第14页;编辑于星期二\21点39分在表面上需要的特性当润滑非常重要时,表面上需有足够多的谷用于存储油表面上足够的的峰用于吸附油漆和粘结剂表面分布充足的谷可提高工件的可锻(塑)性光滑的表面可减小噪音、振动或得到高的反射率本文档共197页;当前第15页;编辑于星期二\21点39分为什么需要测量表面粗糙度?

生产过程控制预测工件的表现监控零件的性能本文档共197页;当前第16页;编辑于星期二\21点39分为什么需要测量表面粗糙度?理想的情况本文档共197页;当前第17页;编辑于星期二\21点39分为什么需要测量表面粗糙度?

实际情况–生产过程控制本文档共197页;当前第18页;编辑于星期二\21点39分为什么需要测量表面粗糙度?

预测工件的表现本文档共197页;当前第19页;编辑于星期二\21点39分为什么需要测量表面粗糙度?

监控零件的性能返回目录本文档共197页;当前第20页;编辑于星期二\21点39分2.测量方法AMPLITUDEMODULATION本文档共197页;当前第21页;编辑于星期二\21点39分测量方法

接触式测量非接触式测量本文档共197页;当前第22页;编辑于星期二\21点39分如何测量表面粗糙度?

比对样板本文档共197页;当前第23页;编辑于星期二\21点39分接触式测量测量方法

测量方向(X)测头摆动(Z)数据间隔(X)本文档共197页;当前第24页;编辑于星期二\21点39分电感式传感器测头测杆刀口支点铁芯线圈线圈测量方法

本文档共197页;当前第25页;编辑于星期二\21点39分压电式传感器测头测杆压电晶体测量方法

本文档共197页;当前第26页;编辑于星期二\21点39分激光器光电二极管激光式传感器测头测杆返回目录更进一步的信息测量方法

本文档共197页;当前第27页;编辑于星期二\21点39分

3.测量基准AMPLITUDEMODULATION本文档共197页;当前第28页;编辑于星期二\21点39分导头基准

导头测头移动(Z)测量方向(X)测量基准

本文档共197页;当前第29页;编辑于星期二\21点39分使用导头基准的优点

降低振动的影响不需要表面调平

仪器便携性

牢固的设计测量基准

本文档共197页;当前第30页;编辑于星期二\21点39分测头到导头间隔对测量的影响实际高度

H1H2测量高度测量基准

本文档共197页;当前第31页;编辑于星期二\21点39分测头到导头间隔对测量的影响

测量结果P-V=0µmP-V=10µm测量基准

本文档共197页;当前第32页;编辑于星期二\21点39分独立基准 驱动箱基准测量方向测量基准

本文档共197页;当前第33页;编辑于星期二\21点39分独立基准 驱动箱基准基准导头光学平晶测量方向测量基准

返回目录本文档共197页;当前第34页;编辑于星期二\21点39分4.表面再现AMPLITUDEMODULATION本文档共197页;当前第35页;编辑于星期二\21点39分测头针尖几何形状2µm

锥形测头切去顶端的金字塔型测头2µm

测量方向表面再现

更多信息本文档共197页;当前第36页;编辑于星期二\21点39分测尖–尺寸和形状的影响表面再现

本文档共197页;当前第37页;编辑于星期二\21点39分测尖–侧面接触

表面再现

本文档共197页;当前第38页;编辑于星期二\21点39分由测头测量的形状测尖BBAA测尖–侧面接触返回目录表面再现

本文档共197页;当前第39页;编辑于星期二\21点39分5.术语AMPLITUDEMODULATION本文档共197页;当前第40页;编辑于星期二\21点39分

数据点术语混淆采样间隔真实信号

信号混淆更进一步信息本文档共197页;当前第41页;编辑于星期二\21点39分术语

粗糙度、波纹度和形状

采样表面本文档共197页;当前第42页;编辑于星期二\21点39分术语

粗糙度、波纹度和形状

形状本文档共197页;当前第43页;编辑于星期二\21点39分术语

粗糙度、波纹度和形状波纹度本文档共197页;当前第44页;编辑于星期二\21点39分术语

粗糙度、波纹度和形状粗糙度返回目录本文档共197页;当前第45页;编辑于星期二\21点39分6.滤波AMPLITUDEMODULATION本文档共197页;当前第46页;编辑于星期二\21点39分术语

滤波-区分粗糙度和波纹度表面相互作用本文档共197页;当前第47页;编辑于星期二\21点39分用图形技术滤波取样长度滤波

本文档共197页;当前第48页;编辑于星期二\21点39分滤波

形状参数取样长度Ra,Rq,Rz等...粗糙度滤波本文档共197页;当前第49页;编辑于星期二\21点39分滤波

形状参数取样长度Wa,Wq,Wzetc...波纹度滤波本文档共197页;当前第50页;编辑于星期二\21点39分电子和数字滤波器

ISO2CR滤波器2CRPC滤波器Gaussian高斯滤波器滤波

本文档共197页;当前第51页;编辑于星期二\21点39分

ISO2CR滤波器ISO2CR滤波后的图形滤波

未滤波图形更进一步的信息本文档共197页;当前第52页;编辑于星期二\21点39分

ISO2CR滤波的效果相对于滤波中线经修正后的图形滤波

由滤波建立的中线本文档共197页;当前第53页;编辑于星期二\21点39分2CRPC滤波器2CRPC滤波后的图形滤波

未滤波图形本文档共197页;当前第54页;编辑于星期二\21点39分

ISO2CRPC滤波器滤波

由滤波建立的中线相对于滤波中线经修正后的图形本文档共197页;当前第55页;编辑于星期二\21点39分高斯滤波器未滤波图形高斯滤波后的图形滤波

本文档共197页;当前第56页;编辑于星期二\21点39分高斯滤波器图形滤波取样长度

XZ未滤波图形

中线取样长度滤波

更进一步的信息本文档共197页;当前第57页;编辑于星期二\21点39分滤波的效果未滤波图形波纹度幅值=100µm粗糙度波长=0.25mm波纹度波长=8.0mm粗糙度幅值=20µm滤波

本文档共197页;当前第58页;编辑于星期二\21点39分2CR粗糙度滤波效果8.0mm取样长度滤波波纹度幅值=75µm粗糙度波长=0.25mm波纹度波长=8.0mm粗糙度幅值=20µm滤波

本文档共197页;当前第59页;编辑于星期二\21点39分2.5mm取样长度滤波波纹度幅值=24µm粗糙度波长=0.25mm波纹度波长=8.0mm粗糙度幅值=20µmFilters

2CR粗糙度滤波效果本文档共197页;当前第60页;编辑于星期二\21点39分0.8mm取样长度滤波波纹度幅值=2µm波纹度波长=8.0mm粗糙度幅值=20µm粗糙度波长=0.25mmFilters

2CR粗糙度滤波效果本文档共197页;当前第61页;编辑于星期二\21点39分0.25mm取样长度滤波波纹度幅值=0µm粗糙度幅值=15µm粗糙度波长=0.25mmFilters

2CR粗糙度滤波效果本文档共197页;当前第62页;编辑于星期二\21点39分0.08mm取样长度滤波波纹度幅值=0µm粗糙度幅值=4µm粗糙度波长=0.25mmFilters

2CR粗糙度滤波效果本文档共197页;当前第63页;编辑于星期二\21点39分测量长度、评价长度和取样长度的关系(ISO2CR)取样长度(Cut-off)评价长度测量长度滤波

启动长度停止长度本文档共197页;当前第64页;编辑于星期二\21点39分滤波类型

ISO2CR-第1、2个取样长度舍弃2CRPC-第1个和最后一个取样长度舍弃Gaussian-第1个半个和最后一个半个取样长度舍弃滤波

本文档共197页;当前第65页;编辑于星期二\21点39分取样长度的选取0.8mm取样长度(Cut-off)滤波

本文档共197页;当前第66页;编辑于星期二\21点39分取样长度的选取滤波

0.25mm取样长度(Cut-off)本文档共197页;当前第67页;编辑于星期二\21点39分选择正确的取样长度值1.25mm测量方向滤波

本文档共197页;当前第68页;编辑于星期二\21点39分取样长度的选取除非图纸上另有要求,取样长度依照上表选取滤波

本文档共197页;当前第69页;编辑于星期二\21点39分带宽=Lc/Ls的比值Ls滤波返回目录Lc本文档共197页;当前第70页;编辑于星期二\21点39分7.参数AMPLITUDEMODULATION本文档共197页;当前第71页;编辑于星期二\21点39分参数 分析类型粗糙度- R前缀波纹度-W前缀未滤波- P前缀本文档共197页;当前第72页;编辑于星期二\21点39分参数 参数类型幅值参数-Z轴方向本文档共197页;当前第73页;编辑于星期二\21点39分参数

幅值参数-Z轴方向

间距参数-X轴方向参数类型本文档共197页;当前第74页;编辑于星期二\21点39分参数 幅值参数-Z轴方向

间距参数-X轴方向

混合参数-X和Z轴

参数类型本文档共197页;当前第75页;编辑于星期二\21点39分参数 幅值参数-RaRa本文档共197页;当前第76页;编辑于星期二\21点39分参数 幅值参数–Ra的限制RaRaRaRa本文档共197页;当前第77页;编辑于星期二\21点39分参数 幅值参数Rq(RMS)lr=评价长度本文档共197页;当前第78页;编辑于星期二\21点39分参数 幅值参数Rtln=评价长度lr=取样长度本文档共197页;当前第79页;编辑于星期二\21点39分参数 幅值参数Rp评价长度本文档共197页;当前第80页;编辑于星期二\21点39分参数 幅值参数Rv评价长度本文档共197页;当前第81页;编辑于星期二\21点39分参数 幅值参数RzRz1Rz2Rz3Rz4Rz5Rz=(Rz1+Rz2+…+Rzn)/n本文档共197页;当前第82页;编辑于星期二\21点39分参数 幅值参数Rz1max,Rp1max和Rv1maxRz1maxRp1maxRv1max本文档共197页;当前第83页;编辑于星期二\21点39分参数 间距参数HSC(高点计数)lr=取样长度(Cut-off)ln=评价长度A=定义高度B=中线本文档共197页;当前第84页;编辑于星期二\21点39分参数 间距参数HSC(高点计数)TallnarrowpeakstendtoworkhardenHardenedpeakswilleventuallybreakoffandthesurfacewillbreakdown本文档共197页;当前第85页;编辑于星期二\21点39分参数 间距参数Rpc(峰数)A=选择的带宽B=中线本文档共197页;当前第86页;编辑于星期二\21点39分参数 间距参数Rpc(峰数)基底表面的峰将导致橙色油漆脱落BaseSheetSteelPaintedSurface本文档共197页;当前第87页;编辑于星期二\21点39分参数 间距参数Sm(平均宽度)lr=取样长度(Cut-off)

MeanLine本文档共197页;当前第88页;编辑于星期二\21点39分参数 混合参数-Rdq(Pdq,Wdq)(坡度均方根)

θθθθ本文档共197页;当前第89页;编辑于星期二\21点39分参数

EffectsofSurfaceSlopesonvibration&noiseNoVibration/QuietLowFrequencyRumbleHighFrequencyScream混合参数-Rdq(Pdq,Wdq)(坡度均方根)

本文档共197页;当前第90页;编辑于星期二\21点39分参数 该参数值越小,表面的反射率越高,表面外观越好。该参数值越大,表面的反射率越底,表面外观越差。返回目录混合参数-Rdq(Pdq,Wdq)(坡度均方根)

本文档共197页;当前第91页;编辑于星期二\21点39分8.承载区域(材料比)AMPLITUDEMODULATION本文档共197页;当前第92页;编辑于星期二\21点39分承载区域(材料比)混合参数-Rmr上部的表面决定磨合特性谷决定润滑特性表面的基体部分决定磨损或寿命特性本文档共197页;当前第93页;编辑于星期二\21点39分混合参数-Rmr研磨板承载线ln=评价长度Rmr=a+b+c+d+ex100

ln承载区域(材料比)本文档共197页;当前第94页;编辑于星期二\21点39分材料比率曲线(Rmr)0100%tp(%)p高度在P高度时的Tp(%)承载区域(材料比) 本文档共197页;当前第95页;编辑于星期二\21点39分0100%tp(%)p高度在P高度时的Tp(%)材料比率曲线(Rmr)承载区域(材料比) 本文档共197页;当前第96页;编辑于星期二\21点39分材料比率曲线(Rmr)0p高度在P高度时的Tp(%)tp(%)100%承载区域(材料比)本文档共197页;当前第97页;编辑于星期二\21点39分幅值分布曲线0p高度峰的个数承载区域(材料比)更进一步的信息本文档共197页;当前第98页;编辑于星期二\21点39分与材料比率曲线相关的参数-Rsk(非对称性)SurfacewithRandomAmplitudeDistribution-ZeroSkew随机分布的表面-零非对称承载区域(材料比)本文档共197页;当前第99页;编辑于星期二\21点39分与材料比率曲线相关的参数-Rsk(非对称性)表面峰占多数-正非对称承载区域(材料比) 本文档共197页;当前第100页;编辑于星期二\21点39分与材料比率曲线相关的参数-Rsk(非对称性)表面谷占多数-负非对称承载区域(材料比) 本文档共197页;当前第101页;编辑于星期二\21点39分与材料比率曲线相关的参数-Rku(峭度)

Rku<3

Rku=3

Rku>3返回目录承载区域(材料比) 本文档共197页;当前第102页;编辑于星期二\21点39分9.Rk参数AMPLITUDEMODULATION本文档共197页;当前第103页;编辑于星期二\21点39分参数 Rk参数表面交互作用本文档共197页;当前第104页;编辑于星期二\21点39分材料比率曲线(Rmr)0100%tp(%)承载区域(材料比) 材料比率曲线倾斜的图形本文档共197页;当前第105页;编辑于星期二\21点39分参数中线

未滤波的图形Rk参数本文档共197页;当前第106页;编辑于星期二\21点39分参数 中线谷拟制后的未滤波图形谷去除并保存在内存中Rk参数本文档共197页;当前第107页;编辑于星期二\21点39分参数 最终的滤波之后的粗糙度曲线Rk参数本文档共197页;当前第108页;编辑于星期二\21点39分参数 100%0tp(%)40%RdcRk参数本文档共197页;当前第109页;编辑于星期二\21点39分参数 100%0tp(%)Rdc40%ABDEFCRk参数本文档共197页;当前第110页;编辑于星期二\21点39分参数 C100%0tp(%)Rdc40%ABDEFRkD1Mr2Mr1Rk参数本文档共197页;当前第111页;编辑于星期二\21点39分参数 tp(%)C100%0Rdc40%ABDEFRkD1Mr2Mr1Area1ECRpkArea2EDRvkRk参数本文档共197页;当前第112页;编辑于星期二\21点39分参数 100%0tp(%)40%RkMr2Mr1RpkRvkRk参数本文档共197页;当前第113页;编辑于星期二\21点39分参数 Rk相关的参数

Rk-核心粗糙度深度

Rpk-峰高度

Rvk-谷高度

Mr1-峰的百分比

Mr2-谷的百分比

A1-峰的面积

A2-谷的面积返回目录本文档共197页;当前第114页;编辑于星期二\21点39分10.形状测量AMPLITUDEMODULATION本文档共197页;当前第115页;编辑于星期二\21点39分最小二乘直线形状测量 本文档共197页;当前第116页;编辑于星期二\21点39分形状测量 直线度(最小二乘直线)本文档共197页;当前第117页;编辑于星期二\21点39分形状测量直线度(最小区域直线)本文档共197页;当前第118页;编辑于星期二\21点39分形状测量最小二乘圆弧R=最小二乘圆弧半径r-r=最小二乘圆弧rr本文档共197页;当前第119页;编辑于星期二\21点39分形状测量 最小二乘圆弧–半径测量t=34.501656mmr=110mml=80mmt=弦高r=最小二乘半径l=测量长度/2r-t本文档共197页;当前第120页;编辑于星期二\21点39分形状测量最小二乘圆弧–半径测量t=1.833462mmr=110mml=20mmr-tt=弦高r=最小二乘半径l=测量长度/2本文档共197页;当前第121页;编辑于星期二\21点39分形状测量 最小二乘圆弧–半径测量t=1.833962mmr=109.9705mml=20mm返回目录t=弦高r=最小二乘半径l=测量长度/2本文档共197页;当前第122页;编辑于星期二\21点39分11.标定方法AMPLITUDEMODULATION本文档共197页;当前第123页;编辑于星期二\21点39分标定方法球标定测量方向本文档共197页;当前第124页;编辑于星期二\21点39分软件校正弧形误差dZdX测量方向本文档共197页;当前第125页;编辑于星期二\21点39分软件校正测头针尖误差测量方向测头针尖中心的轨迹本文档共197页;当前第126页;编辑于星期二\21点39分标定方法Ra和Rz粗糙度样板本文档共197页;当前第127页;编辑于星期二\21点39分标定方法Ra和Rz粗糙度样板本文档共197页;当前第128页;编辑于星期二\21点39分标定方法测量方向2.5µm台阶高度

三线(台阶高度)标准本文档共197页;当前第129页;编辑于星期二\21点39分标定方法三线(台阶高度)标准A=中线B=标定高度本文档共197页;当前第130页;编辑于星期二\21点39分标定方法三线(台阶高度)标准A=调平的表面B=PtC=未调平的表面返回目录更进一步信息本文档共197页;当前第131页;编辑于星期二\21点39分Conics&AsphericsAMPLITUDEMODULATION本文档共197页;当前第132页;编辑于星期二\21点39分ConicsandAspherics ConicSections本文档共197页;当前第133页;编辑于星期二\21点39分ConicConstants

Ellipse:K<0

Sphere:K=0OblateEllipse:K>0ConicsandAspherics

Z2+X2=1

R22R12

Z2+X2=1

R2R2

Z2+X2=1

R22R12

本文档共197页;当前第134页;编辑于星期二\21点39分ConicConstants

Hyperbola:K<-1

Parabola:K=-1

ConicsandAspherics

Z2+X2=1

R22R12

Z=(Ax)2本文档共197页;当前第135页;编辑于星期二\21点39分WhatisanAspheric?ConventionalSphericalLensConicsandAspherics 本文档共197页;当前第136页;编辑于星期二\21点39分WhatisanAspheric?AsphericLensConicsandAspherics 本文档共197页;当前第137页;编辑于星期二\21点39分

ReasonsforusinganAspheric

ReducesSphericalAberration

AbilitytoProduceVari-focalLenses

ReductioninLensSizeandWeight

GreaterDesignFreedom

ConicsandAspherics 本文档共197页;当前第138页;编辑于星期二\21点39分HowisanAsphereconstructed?BasicConicSection(Sphere)ZAxis

XAxis

ConicsandAspherics Z2+X2=1R2R2本文档共197页;当前第139页;编辑于星期二\21点39分HowisanAsphereconstructed?AsphericPolynomialCurveZ=a8|x|8

BasicConicSection(Sphere)ZAxis

XAxis

ConicsandAspherics 本文档共197页;当前第140页;编辑于星期二\21点39分HowisanAsphereconstructed?AsphericProfileAsphericPolynomialCurveBasicConicSection(Sphere)ZAxis

XAxis

A

B

C

ConicsandAspherics 本文档共197页;当前第141页;编辑于星期二\21点39分HowisanAsphereconstructed?AsphericProfileAsphericPolynomialCurveBasicConicSection(Sphere)ZAxis

XAxis

A

B

C

AsphericProfileAsphericPolynomialCurvesBasicConicSectionConicsandAspherics 本文档共197页;当前第142页;编辑于星期二\21点39分StandardEquationforAnAsphericSurfacecx2+a1|x|+a2|

x|2+a3|

x|3…+a20|

x|20Z(x)=1+1-(K+1)c2x2Where:XistheRadialdistancefromtheAsphericAxis

Zisthecorrespondingverticaldistance

aistheindexedPolynomialCoefficient

CisthereciprocaloftheBaseRadius

KistheConicConstantoftheSurface

ConicsandAspherics 本文档共197页;当前第143页;编辑于星期二\21点39分BaseRadiusofCurvatureConicsandAspherics 本文档共197页;当前第144页;编辑于星期二\21点39分HowDoWeMeasureanAsphericSurface?

OpticalFlatAsphericAxisConicsandAspherics 本文档共197页;当前第145页;编辑于星期二\21点39分HowDoWeAnalyseanAsphericSurface?AsphericDataRadius=40.0mmK=-1A4=5.3188e-007A6=5.5231e-009A8=-1.6774e-011A10=-6.3352e-014ConicsandAspherics 本文档共197页;当前第146页;编辑于星期二\21点39分AsphericFormFitXAxis

ZAxis

ABAsphericAxisConicsandAspherics 本文档共197页;当前第147页;编辑于星期二\21点39分ResidualErrorafterAsphericFormRemoval+ZAxis

-ZAxis

-XAxis

+XAxis

AAsphericAxisAsphericAxisConicsandAspherics 本文档共197页;当前第148页;编辑于星期二\21点39分HowDoWeAnalyseanAsphericSurface?ConicsandAspherics 本文档共197页;当前第149页;编辑于星期二\21点39分AsphericParametersConicsandAspherics 本文档共197页;当前第150页;编辑于星期二\21点39分Aspherics-FurtherAnalysisConvexComponent-ConcaveResidualFormError-IncreaseBaseRadiusConicsandAspherics 本文档共197页;当前第151页;编辑于星期二\21点39分ConvexComponent-ConvexResidualFormError-DecreaseBaseRadiusConicsandAspherics Aspherics-FurtherAnalysis本文档共197页;当前第152页;编辑于星期二\21点39分SmallestRtValueAchieved-TrueShape&BaseRadiusConicsandAspherics BacktoContentsPageAspherics-FurtherAnalysis本文档共197页;当前第153页;编辑于星期二\21点39分3D(Areal)MeasurementAMPLITUDEMODULATION本文档共197页;当前第154页;编辑于星期二\21点39分3DMeasurementAdvantagesof3D(Areal)over2D

GoodVisualisationoftheSurface

MoreStatisticallyStable

BetteratDetecting&AnalysingDefects

ManyMethodsofRepresentingtheData

本文档共197页;当前第155页;编辑于星期二\21点39分3DMeasurementDisadvantagesof3D(Areal)

Longermeasurementcycles

MeasurementProducesLargeDataFiles

MainlyRestrictedtoR&D

SometimesVisuallySubjective

本文档共197页;当前第156页;编辑于星期二\21点39分3DMeasurementContactMeasurementMethodYAxisIncrementalMovementTraverseDirection本文档共197页;当前第157页;编辑于星期二\21点39分3DMeasurementNon-ContactMeasurementMethodYAxisIncrementalMovementMeasurementAxis(X)LaserCCDDetector本文档共197页;当前第158页;编辑于星期二\21点39分3DMeasurement

CriticalDimensionsfor3DMeasurementProfile1Profile2Z1Z2ΔXΔZΔY本文档共197页;当前第159页;编辑于星期二\21点39分3DMeasurement

DataAnalysis本文档共197页;当前第160页;编辑于星期二\21点39分3DMeasurement

LevellingtheData本文档共197页;当前第161页;编辑于星期二\21点39分3DMeasurement

FormRemovalCylinderLiner-NoFormRemovedCylinderLiner-FormRemoved本文档共197页;当前第162页;编辑于星期二\21点39分3DMeasurement

Viewing3DDataMeshedAxonometricView本文档共197页;当前第163页;编辑于星期二\21点39分3DMeasurement

Viewing3DDataPhotoSimulationViewPseudo-ColourView本文档共197页;当前第164页;编辑于星期二\21点39分3DMeasurement

Viewing3DDataContinuousAxonometricViewContourView本文档共197页;当前第165页;编辑于星期二\21点39分3DMeasurement3DFiltering0.8mm0.8mm0.8mmGaussianFilter½Cut-offLostTop,BottomLeft&RightSamplingArea本文档共197页;当前第166页;编辑于星期二\21点39分3DMeasurement3DParameterTypes

Amplitude

Spatial

Hybrid

Functional

本文档共197页;当前第167页;编辑于星期二\21点39分3DMeasurement3DAmplitudeParameters-Prefix:S

Sa=arithmeticmeanofthedeviationsfromthemeanplane

Sq=RMSofthemeanofthedeviationsfromthemeanplane

St=totalpeaktovalleyoverthesamplearea

Sp=heightofthehighestpeaktomeanplane

Sv=depthofthedeepestvalleytomeanplane本文档共197页;当前第168页;编辑于星期二\21点39分3DMeasurement3DSpatialParameters

SPc=peakcountbetweentwoselectableplanes

Sds=densityofsummitscontainedinasamplingarea

Std=texturedirectionofthesurface本文档共197页;当前第169页;编辑于星期二\21点39分3DMeasurement3DHybridParameters

SΔq=RMSslopeofthesurface

Ssc=meansummitcurvatureofthesurface

Sdr=developedinterfacialarearatioofthesurface本文档共197页;当前第170页;编辑于星期二\21点39分3DMeasurement3DFunctionalParameters

Stp=surfacebearingarearatio

Sbi=surfacebearingindex

Sci=corefluidretentionindex

Svi=valleyfluidretentionindex本文档共197页;当前第171页;编辑于星期二\21点39分3DMeasurement

Volume/DefectAnalysis本文档共197页;当前第172页;编辑于星期二\21点39分3DMeasurement

StepHeightAnalysis本文档共197页;当前第173页;编辑于星期二\21点39分DrawingIndicationAMPLITUDEMODULATION本文档共197页;当前第174页;编辑于星期二\21点39分DrawingIndicationConventionalSurfaceTextureSymbol

GraphicalSymbolsforSurfaceTexture6.8本文档共197页;当前第175页;编辑于星期二\21点39分RequirementforSurfaceTexture1RequirementforSurfaceTexture,MaterialRemovalRequired2RequirementforSurfaceTexture,MaterialRemovalNotPermitted3

GraphicalSymbolsforSurfaceTextureDrawingIndication本文档共197页;当前第176页;编辑于星期二\21点39分

GraphicalSymbolsforSurfaceTextureDrawingIndication(d)(e)3(c)Turned((ClickHereforFurtherInformation本文档共197页;当前第177页;编辑于星期二\21点39分

GraphicalSymbolsforSurfaceTextureDrawingIndication

Fe/Ni15pcrRz6.8本文档共197页;当前第178页;编辑于星期二\21点39分DrawingIndicationBi-LateralTolerancing

GraphicalSymbolsforSurfaceTextureURa0.9LRa0.3本文档共197页;当前第179页;编辑于星期二\21点39分DrawingIndication

The16%Rule(DefaultRule)

Nomorethan16%ofthemeasuredvaluesforanupperlimitshouldexceedthespecifiedvalue

Nomorethan16%ofthemeasuredvaluesforalowerlimitshouldbelessthanthespecifiedvalue本文档共197页;当前第180页;编辑于星期二\21点39分DrawingIndication

TheMAXRuleRzMAX0.9本文档共197页;当前第181页;编辑于星期二\21点39分EndAMPLITUDEMODULATIONBacktoContentsPage本文档共197页;当前第182页;编辑于星期二\21点39分Terminology

FrequencyResponseABCDSurfaceProfileTraverseLengthin1Second0.01mm0.02mm0.01mm0.01mm1mm/100peaks1mm/50peaks0.5mm/50peaks2mm/200peaksElectricalWaveform100Hz50Hz50Hz200HzClickHeretoReturn本文档共197页;当前第183页;编辑于星期二\21点39分Styli-CriticalFeatures ShankClearanceEffectiveLengthShankLengthPivotPointReproducingtheSurface

BacktoContentsPageClickHeretoReturn本文档共197页;当前第184页;编辑于星期二\21点39分HowDoWeMeasureSurfaceFinish?

PhaseGratingI

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