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文档简介

ASIC芯片开发过程ASIC芯片设计开发ASIC芯片生产ASIC芯片设计开发ASIC芯片生产内容主要流程框架集成电路设计与制造全过程中的主要流程框架设计芯片检测单晶、外延材料掩膜版芯片制造过程封装测试系统需求划分

物理域结构域行为域系统级芯片/板级处理器/存储器系统规范算法级模块控制器算法RTL级宏单元ALU寄存器传输逻辑级标准单元门电路布尔等式电路级晶体管版图晶体管晶体管函数划分

ASIC设计流程ASIC项目的主要步骤包括:预研阶段;顶层设计阶段;模块级设计阶段;模块实现阶段;子系统仿真阶段;系统仿真,综合和版图设计前门级仿真阶段;后端版面设计阶段;测试向量准备阶段;后端仿真阶段;生产签字;硅片测试阶段。ASIC开发流程中各步骤传统设计流程设计的一般步骤结构及电学特性编码HDL中的RTL编码为包含存储单元的设计插入DFTmemoryBIST为了验证设计功能,进行详尽的动态仿真实际环境设置,包括将使用的工艺库及其他环境属性使用DesignCompiler工具对具有扫描插入的设计进行约束和综合设计使用DesignCompiler的内建静态时序分析机进行模块级静态时序分析设计的形式验证,使用Formality将TRL和综合后的网表进行对比使用PrimeTime进行整个设计布图前的静态时序分析设计关的一屿般步堵骤(2灵)对布户图工向具进令行时侍序约惹束的绕前标乒注11编)具有友时序到驱动涂单元揭布局丛,时亮钟树敞插入执和全灵局布尸线的瓦初始宣布局察划分将时骗钟树蓄转换监到驻正留在De惯si工gn短C健om保pi饭le声r中原残始设柜计(吵网表酒)在De愚si掀gn仔C召om悼pi陵le跃r中进坏行设遭计的辉布局若优化使用Fo耐rm设al宰it欧y在综柜合网号表和国时钟揪树插拌入的蛾网表擦之间益进行线形式图验证在全群局布舒线后拢(11步)畅从版孝图提蔽取估编计的爪延时从全突局布摧线得君到的毫估计辜时间溜数据痒反标魔注到Pr椅im土eT口im城e使用匠在全撞局布驳线后做提取镰的估净计延土时数税据在Pr棵im寸eT贡im小e在中听进行敢静态盘时序眨分析设计首的一乘般步塔骤(3喘)设计忍的详沟细布祥局提取神来自煌详细剩布局翁设计隐的实击际时妨间延丑迟实际施提取捆时间街数据喊反标兔注到Pr士im杆eT裕im低e使用Pr伯im奏eT似im敏e进行吼布图理后的窜静态局时序永分析布图治后的亮门级额功能泻仿真册(如丝式果需自要)在LV幕S(版惑图对弃原理免图)混和DR呢C(设疫计规从则检尿查)痒验证厕后定乱案规范显和R烛TL剑编码结构燃规范浓定义炕了芯鼻片的哨功能光并划陵分为魔一些月能够落处理侄的模唉块,浸电学祥特性撒规范白通过嘉时序识信息轮定义公模块庙之间赏的关棋系设计宇可用窑三个监抽象细层次敏来表暂示:或行为盯级,有寄存下器传象输级RT碗L和结秧构级棒。动态跳仿真通过唤仿真RT尝L代码我以检颂查设北计的筋功能暴,目程前的惠仿真林器都及能够挑仿真纤行为乡丰级及RT奥L级编笑码约束荣、综悔合和钓扫描亲插入以前地:手喷工将金HD军L转侦换为虚电路房诚图并播描述议元件念间的贵互连价来产浮生一狂个门历级网粗表。综合银:用垄工具系完成RT其L级到匆门级狡网表赖的转蹦换,镜这个谱过程教就称炕为综没合定义砍综合凭环境闪的文奋件,采详细外说明婶了工杠艺单宪元库森和DC在综景合过密程中狡使用肢的其滚它相帐关信莲息。形式短验证形式澡验证箩技术读使用附数学分的方盒法来殖确认乏一个糕设计外,不股考虑昨工艺教因素党,如毅时序恳,通约过与悟参考坑设计传的对哥比了竞检查与一个文设计轮的逻猾辑功惧能。形式位验证快和动仰态仿群真,淹形式叨验证摧技术丹通过昆证明专两个喇设计掏的结恳构和反功能旧是逻阻辑等畏价的恢来验垄证设蓝计;贸动态望仿真元只能他检查插敏感混路经多。形式研验证铁的目到标是阻要验掘证RT密L与RT例L,门向级网伟表与RT掘L代码界,两惹个门冈级网段表之奇间的丹对应歇关系炸是否朱正确静态父时序抢分析在整侨个设涂计中全,静圣态时这序分要析是涨最重累要的梅步骤码,一狗个迭识代过步程。静态朴时序沙分析滑充许腔用户鸡详细寻分析能设计殊的所染有关梨键路吓经并铸给出村一个林有条斥理的缩慧报告砖。对布养图前轻后的支门级叮网表熟进行膏静态冠时序盯分析虎,在毙布图忍前,Pr拥im贫eT泡im启e使用宰由库闹指定长的线欣载模别型估再计线尾网延牧时。良如果辆所有兄关键紧路径斜的时琴序是安可以如接受初的,联则由Pr干im车eT排im拦e或DC得到情一个蹦约束先文件咬,目仇的是梦为了摧预标信注到敬布图求工具斧。在布咬图后索,实巨际提豪取的直延迟窃被反荡标注屑到Pr椒im袜eT带im拾e以提煌供真凝实的自延迟呈计算沟。布局追、布赏线和副验证布图捎工具砌完成骂布局凭和布失线。疾布图另规划臣包括许单元法的布胶局和惩时种贵树的坏综合早,在万步图大工具燃中完缴成。船布线伪一般亿有两烂步,矮全局东布线戏和详孔细布桐线。ASIC芯片生产ASIC芯片设计开发内容CY搂IT提供轮如下吃文件:静GD罗SI盛I文件象,物念理验夹证环挎境,撑物理狠验证禁报告生产兔厂家掀进行Me举rg生产旷厂家悦提供葛物理俊验证扯报告CY白IT确认岔和ev忌ie骑wj猫ob设计伴与生右产接雁口生产当资料杜确认所过程制造趋一块IC芯片能通常旬需要40粮0到50绪0道工舅序。扔但是榨概括盏起来乞说,寒它一刺般分预为两要大部锹分:掉前道版工序曲(fr扰on循t-浑en啊d之pr膨od固uc线ti协on)和省后道莲工序粪(ba哄ck费-e铅nd首p妇ro解du丧ct紧io真n)。[1笔]前道戏工序(1秀)将粗突糙的俊硅矿卫石转禁变成搬高纯惰度的键单晶荣硅。(2鱼)在wa丧fe塞r上制冤造各兴种IC元件捧。(3捆)测试wa依fe希r上的IC芯片[2亲]后道狐工序(1搏)对wa摇fe托r划片疼(进惧行切贿割)(2犁)对IC芯片菊进行海封装赤和测侮试生产敞过程<第一恶步>硅棒形的拉病伸将多忽晶硅问熔解春在石循英炉蝇中,登然后湖依靠一根仿石英姜棒慢垦慢的择拉出害纯净顾的单知晶硅疲棒。<第二关步>切割携单晶短硅棒用金枪刚石堡刀把货单晶盈硅棒屿切成荣一定嫌的厚部度形成WA男FE弊R(晶钢片、惭圆片俗)。注:废一片wa苦fe踩r上可体以生游产出偏很多惹颗裸揉芯片赤(di恐e),一般暑都上蚂千颗前道幸工序前道我工序<第三牧步>抛光WA已FE宿RWA区FE您R的表至面被年抛光柱成镜踏面。<第四绕步>氧化WA院FE轰R表面WA猜FE疾R放在90堂0度——仆11表00度的移氧化灾炉中驾,并窜通入兰纯净麦的氧帐气,浓在WA淘FE狱R表面漏形成灯氧化蒙硅。<第五饥步>覆上机光刻啊胶通过件旋转寒离心丢力,匙均匀素地在WA染FE圣R表面开覆上渗一层呀光刻灰胶。<第六巧步>在WA膜FE迹R表面室形成激图案通过笨光学速掩模卫板和榨曝光倾技术毕在WA辆FE叶R表面崖形成租图案立。<第七渣步>蚀刻使用踢蚀刻勤来移换除相幻玉应的薯氧化运层。<第八括步>氧化湖、扩葛散、CV额D和注捉入离表子对WA止FE牛R注入哄离子堵(磷退、硼仗),塌然后膊进行舍高温这扩散绞,形胃成各汪种集菜成器越件。<第九罗步>磨平午(CM抬P)将WA聪FE延R表面僻磨平近。前道崖工序前道浓工序<第十地步>形成趟电极把铝抛注入WA败FE绒R表面它的相虑应位葬置,左形成悉电极伯。<第十痰一步>筑WA剂FE制R测试对WA巾FE符R进行嫌测试崭,把券不合挂格的阻芯片湿标记缎出来宣。注:秆此阶讯段的殊测试配主要割有两销种WA锄T和CP:CP:ci杀rc趣ui秩t随pr展ob仔e,也猫叫中诸测,专测试窗项目笋主要滴针对单器件第功能坟,目残的是米在封亲装前读将不黄良品硬进行樱标记链便于庄剔除返。Wa般fe蓄r级,导由CY圾IT主导WA管T:wa页fe蛋r骡ac泛ce岔pt丛an参ce惧t智es梁t,测浅试项纯目主淘要针恰对的颜不是扫功能毛器件香,而龙是一贤些表似征工浮艺结治果的存量,尿用来收监控胜制程局中的产工艺睡执行残情况勿。Wa孤fe艰r级,江由芯闸片生锈产厂岸自测<第十召二步>切割WA野FE悦R把芯正片从WA驼FE栏R上切岔割下己来。章形成确一颗宽颗di律e<第十营三步>固定竭芯片把芯菌片安棍置在鹊特定列的FR解AM烈E上后道社工序<第十百三步>连接猴管脚用25微米虫的纯歉金线割将芯积片和FR央AM导E上的劝引脚酱连接谨起来液。<第十射三步>封装用陶山瓷或愧树脂对对芯卷片进高行封赌装。后道阿工序<

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