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文档简介
内容PVD(物理气相沉积)PMMA表面陶瓷涂层LDS(LaserDirectstructuring激光直接成型技术)lenovo标题在“视图>幻灯片母板”栏中修改|200LenovoPage2物理气相沉积真空及如何获得真空蒸发镀溅射镀离子镀lenovo标题在“视图>幻灯片母板”栏中修改|200LenovoPage2PVD的四个条件◆高真空(HV)◆高纯材料◆清洁和光滑的衬底表面◆提供能量的电源lenovo标题在“视图>幻灯片母板”栏中修改|200LenovoPage2真空的概念真空”这一术语译自拉丁文Vacuo,其意义是虚无。其实真空应理解为气体较稀薄的空间。在指定的空间内,低于一个大气压力的气体状态统称为真空。真空状态下气体稀薄程度称为真空度,通常用压力值表示。真空技术是基本实验技术之一。自从1643年托里拆利(E.Torricelli)做了著名的有关大气压力实验,发现了真空现象以后,真空技术迅速发展。现在,真空技术已经成为一门独立的前言学科lenovo标题在“视图>幻灯片母板”栏中修改|200LenovoPage2真空的基本特点在真空中,气体分子密度低,在某些情况下,真空可以近似地看作没有气体“污染”的空间。真空中,气体分子或带电粒子的平均自由程为:kT其中为分子直径,p为压强,7为气体温度,k为玻耳兹曼常真空泵的分类气体传输泵:是一种能将气体不断地吸入并排出泵外以达到抽气目的的真空泵,例如旋片机械泵、油扩散泵、涡轮分子泵。气体捕集泵:是一种使气体分子短期或永久吸附、凝结在泵内表面的真空泵,例如分子筛吸附泵、鈇升华泵溅射离子泵、低温泵和吸气剂泵。真空泵的主要参数抽气速率:定义为在泵的进气口任意给定压强下,单位时间内流入泵内的气体体积AV或表示为:
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