中文版-洁净室介绍课件

Cleanroom介绍2007.2.8Cleanroom介绍2007.2.8Contents2.洁净室适用行业1.洁净室的定义3.洁净室结构4.洁净工程相关流程Contents2.洁净室适用行业1.洁净室的定义3.控制环境中的温度，湿度，气流，洁净度及正压的密闭空间。防止渗透:防止灰尘和微生物渗透到室内

防止产尘:防止室内产生灰尘或微生物防止堆积

:防止室内积灰尘或微生物迅速去除

:迅速去除室内灰尘和微生物定义洁净室四大原则1.洁净室的定义1/35控制环境中的温度，湿度，气流，洁净度及正压的密闭空间。防止渗洁净度

Class100ⓐ0.1㎛是什么?※过去美国FED-209洁净度标准以0.5㎛粒子数量为基准

0.1㎛

一根头发(50~100㎛)10㎛可視最小粒子的大小1.洁净室的定义洁净度2/35洁净度Class100ⓐ0.1㎛是什么?C/R适用行业及洁净度ICR(IndustrialsCleanRoom)SemiconductFPD(LCD/OLED/PDP)PCBBack-LightUnitElec.MaterialClass:1~100Class:10~1,000Class:100~1,000Class:100~10,000Class:100~10,000BCR(BioCleanRoom)MedicineGoodManufacturePracticeGoodLaboratoryPracticeBio-HazardOP-RoomClass:1,000~10,000Class:1,000~100,000Class:1,000~100,000Class:1,000~100,000Class:100~10,0002.洁净室适用行业3/35C/R适用行业及洁净度ICR(IndustrialsC土建

/内装主要工程(I.C.R事例)I.C.R工程事例-PDPHVACUtility电气B.C.R工程事例-GMP环境3.洁净室结构4/35土建/内装主要工程(I.C.R事例)I.C.R工程事土建

/内装工程

CleanRoomUpperPlenumUnderPlenumCleanRoom洁净室UpperPlenum上夹层UnderPlenum下夹层SystemCeiling吊顶系统AccessFloor高架地板SystemCeilingAccessFloorReturnPlenum回风夹道CleanRoom结构施工顺序涂装吊顶系统AccessFloor安装FFU内装

地面环氧

柱子环氧

格构梁环氧

隔断

一次螺栓

二次螺栓

安装盲板

安装基础

有空板

宽孔板

安装过滤器

安装FFU3.洁净室结构5/35土建/内装工程CleanRoomUpperPlen土建

/内装工程SystemCeilingAccessFloorFFU方式

用个别FFU循环洁净室空气

DFU方式

利用夹层的正压循环空气

SystemCeiling适用方式

有孔板空气从洁净室地板通过

无孔板空气无法通过

宽孔板更衣室地板

钢护板中低重量的设备搬入时使用地板类型特征有需要的部分刷防静电涂料防止产尘防止化学药品污染其表面

容易清扫

在钢板上刷防静电涂料，防止粉尘附着素材轻便，容易变更lay-out改善气流特征内装涂装3.洁净室结构6/35土建/内装工程SystemCeilingAccessHVAC工程CleanRoom空调

ConceptFFUO.A.C:正压/湿度/过滤D/C:温度

(生产设备散热作用)F.F.U:循环风量/过滤배기生产设备O.A.CEFUFFUClass管理基准DryCoilFFU是可以自由安装在吊顶上的规格化的系统，适用于高洁净度的产线。将室内设备发生的热量用盘管内冷水来冷却、热交换并维持室内温度，多用于高洁净度、高热量设备较多的洁净室。3.洁净室结构7/35HVAC工程CleanRoom空调ConceptFFHVAC工程AirShowerBlowerFilterUnit进入洁净间之前用高速洁净空气喷淋掉附着在衣物表面的粉尘或微生物Unit内有小型blower，有与风管连接型和自循环型。(CLASS1,000以下~)PassBox安装在洁净室墙体上，控制材料或产品进出时发生的污染。CleanUnit安装高效过滤器和风机的袋型设备，一般常用在室内安装空间小且中等洁净度的产线。3.洁净室结构8/35HVAC工程AirShowerBlowerFilter动力工程①一次配System+MainPiping&Duct+Sub-mainTappingValve(Damper)Sub-mainTappingValve(Damper)+与生产设备连接②HOOK-UP

(二次配)工程分类C/RP-GasCDA供应系统P-Gas供应系统PCW供应系统HV供应系统PV供应系统C/R工业用水槽M/UPumpI.WTankFilterPump工业用水供应系统排气系统化学品供应系统C/RChemicalC/RC/RC/RHeatACIDToxicOrganicGeneralSolv.C/R3.洁净室结构9/35动力工程①一次配System+MainPiping电气工程接地设备的结构（例）TR.中性点电气生产设备(个别)生产设备(共用)避雷通信GV200.GV200.GV200.GV200.GV100.GV(2Ω)(2Ω)(2Ω)(10Ω)(5Ω)地面

S/SS/SS/SS/SS/SS/SC/RC/RM/RM/RLM-PNLP-PNLFFU-PNLUPS,G-PNL

S/SC/RC/RM/RM/RLM-PNLPFFUUPS,GS/SS/SS/SC/R配电柜分布ConceptCase-1Case-23.洁净室结构10/35电气工程接地设备的结构（例）TR.中性点电气生产设备(个别)环境工程废水处理站FAB.Cleanroom生产设备工业用水ScrubberVOC处理设备DI设备再利用系统废水中转站有机废水的处理无机废水的处理废水酸化后端设备PIPERACKC/R管道P/R管道中断废水处理设施去除异味DI前端处理自来水厂ReclaimSys.工业用水的处理3.洁净室结构11/35环境工程废水处理站FAB.Cleanroom工业用水ScruSTK1.FFU效率性分布2.防止交叉污染的设计3.A/F开孔率的计算5.气流模拟6.Test及认证4.检讨局部洁净度3.洁净室结构气流工程12/35STK1.FFU效率性分布2.防止交叉污染的设计3.Turn-over结构洁净室内部工程洁净设备Filter/FFU

钢筋混凝土

结构工程

防火措施

BeamCoverSubStructureSupplyPipingDuctSleeve

基础工程钢筋混凝土

(B2F)

基础结构工程架设涂装4.洁净工程相关流程13/35Turn-over结构洁净室洁净设备Filter/FFUTurn-over结构洁净室内部工程CleanEquipmentFilter/FFU

钢筋混凝土

结构工程

防火措施

BeamCoverSubStructureSupplyPipingDuctSleeve

基础工程

结构工程(4F)

结构工程

(C/RGirder)架设涂装4.洁净工程相关流程14/35Turn-over结构洁净室CleanFilter/FFTurn-over结构洁净室内部工程CleanEquipmentFilter/FFU

钢筋混凝土

结构工程

防火措施

BeamCover

SubStructureSupplyPipingDuctSleeve

基础工程

消防系统BeamCover架设涂装4.洁净工程相关流程15/35Turn-over结构洁净室CleanFilter/FFTurn-over结构洁净室内部工程CleanEquipmentFilter/FFU

钢筋混凝土

结构工程

防火措施

BeamCoverSubStructure

SupplyPipingDuctSleeve

基础工程SubStructure(PC)架设涂装4.洁净工程相关流程16/35Turn-over结构洁净室CleanFilter/FFTurn-over结构架设涂装洁净室内部工程CleanEquipmentFilter/FFU

环氧涂料

架设

-墙体

-换气

-照明

-控制室

-更衣室

环氧4.洁净工程相关流程17/35Turn-over结构架设洁净室CleanFilteTurn-over结构架设涂装洁净室内部工程CleanEquipmentFilter/FFUSystemCeilingAccessFloor

墙板

Duct工程

CableTrayBusDuctLMPanelUtilityPipe&Duct

照明SystemCeilingSystemCeiling4.洁净工程相关流程18/35Turn-over结构架设洁净室CleanFilteTurn-over结构架设涂装洁净室内部工程CleanEquipmentFilter/FFUSystemCeilingAccessFloor

墙板

Duct工程

CableTrayBusDuctLMPanelUtilityPipe&Duct

照明

防振机台AccessFloor4.洁净工程相关流程19/35Turn-over结构架设洁净室CleanFilteTurn-over结构架设涂装洁净室内部工程CleanEquipmentFilter/FFUSystemCeilingAccessFloor

墙板

Duct工程

CableTrayBusDuctLMPanelUtilityPipe&Duct

照明CleanPanelCleanPanel4.洁净工程相关流程20/35Turn-over结构架设洁净室CleanFilteTurn-over结构架设涂装洁净室内部工程CleanEquipmentFilter/FFUSystemCeilingAccessFloor

墙板

Duct工程

CableTrayBusDuctLMPanelUtilityPipe&Duct

照明BusDuctLMPanel4.洁净工程相关流程21/35Turn-over结构架设洁净室CleanFilteTurn-over结构架设涂装洁净室内部工程CleanEquipmentFilter/FFUSystemCeilingAccessFloor

墙板

Duct工程

CableTrayB