洁净室洁净度的测试方法

洁净室洁净度的测试方法

本工艺规定了洁净室中悬浮粒子的测试方法和空气洁净度的评价，适用于洁净室中悬浮粒子洁净度的监测和洁净度等级的验证。不包括洁净度1～4级洁净系统的测试。本标准引用了JGJ71洁净室施工及验收规范、GB50073洁净厂房设计规范和GB50243通风与空调工程施工质量验收规范等文件。术语中定义了洁净室、粒子、洁净度、单向流、非单向流、t分布、置信度上限、静态测试和动态测试等概念。工艺过程方框图中包括人员准备、仪表准备、系统确认、高效过滤器检漏测试、洁净度测试、数据整理等步骤。测试方法中包括采样、样品处理、粒子计数、数据处理等步骤，具体方法详见标准。1.在水平单向流时，面积A是与气流方向垂直的流动空气截面的面积。2.最低限度的采样点数NL=A0.5，四舍五入取整数。4.采样点应均匀分布于整个面积内，并位于工作区的高度（或距地平0.8m的水平面），或设计单位、业主特指的位置。5.洁净室采样点布置力求均匀，避免采样点在基本局部区域过于稀疏。下列采样点图示可作参考。6.每次采样的最少采样量和最少采样时间如下表所示。表2每次采样的最少采样量VS（L）洁净度等级56789粒径（μm）0.122———0.222———0.322———0.5622221.02422225.068068722每个洁净室最少采样次数为3次。当洁净室仅有一个采样点时，则在该点至少采样3次。检测采样口处的气流速度应尽可能接近室内的设计气流速度。对于单向流，计数器采样管口朝向应正对气流方向，对于非单向流采样管口宜向上。布置采样口时应避开回风口。室内的测定人员必须穿洁净工作服，且站立在采样口的下风侧。7.1本条适用于5～6级洁净室内的高效过滤器。7.2目的是验证高效过滤器及其安装质量。7.3使用的仪表同4.2条。7.4测试方法是在高效过滤器下风侧距高效过滤器20～100mm处沿整个过滤器的表面、边框进行扫描，扫描速度取5～20mm/s。对计数突然递增的部位进行定点检验，确认泄漏部位为过滤器本身的，应调换；泄漏点为边框处的，则进行重新安装或堵漏并进行复测，直至不泄漏。悬浮粒子浓度的采样数据应按t分布或以下步骤进行统计计算：8.1采样点的平均粒子浓度C1＋C2＋…＋CNA=————————………………（2）N其中A是某一采样点的平均粒子浓度，单位是粒/m3；Ci在某一采样点进行N次采样，得到粒子浓度为Ai（i=1,2,…,N），单位为粒/m3。洁净室内共有L个采样点，每个采样点的平均粒子浓度为Ai（i=1,2,…,L），单位为粒/m3。通过计算得到平均值的均值M，即洁净室的平均粒子浓度，单位为粒/m3，计算公式为：M=(A1+A2+…+AL)/L（公式3）标准误差SE表示平均值的均值的不确定度，单位为粒/m3，计算公式为：SE=[(A1-M)2+(A2-M)2+…+(AL-M)2/(L-1)]0.5（公式4）95%置信度上限UCL表示平均值的均值的95%置信度上限，单位为粒/m3，计算公式为：UCL=M+i×SE（公式5）其中i为95%置信度上限的i分布系数，具体数值见表3。若采样点数大于9，则无需计算UCL。评定洁净度等级需要满足两个条件：每个采样点的平均粒子浓度必须低于或等于规定的级别界限，即Ai≤级别界限；全部采样点的粒子浓度平均值均值的95%置信度上限必须低于或等于规定的级别界限，即UCL≤级别界限。级别界限和悬浮粒子浓度限值见表4。测试报告应包括建设单位、系统名称、委托单编号、施工单位、系统编号、报告编号、房间编号、房间用途、检测依据、设计值、实测值、洁净度（粒/m3）0.1μm、洁净度（粒/m3）0.2μm、洁净度（粒/m3）0.3μm和备注等信息。以下是本文的修正版：洁净度测试原始记录设计值实测值洁净度（粒/m3）0.5μm洁净度（粒/m3）1μm洁净度（粒/m3）5μm建设单位或监理单位（章）检测单位（章）ZK-0.08-2004检测人员：年月日现场代表：年月日审核：年月日批准：年月日注：“备注”一栏中应填入测试的人数附录B（规范性附录）净化空调系统洁净度测试原始记录建设单位：系统名称：施工单位：系统编号：区域：施工技术员房间编号房间用途测点代号房间编号房间用途测点代号备注附录C（规范性附录）高效过滤器检漏记录表建设单位：系统名称：施工单位：系统编号：区域：施工技术员房间编号