洁净室外气空调箱水洗加湿器對系統加濕及氣體污染物去除效率之技

潔淨室外氣空調箱水洗加濕器對系統加濕及氣體污染物去除效率之技術探討與研究主講人：胡石政博士日期：95/11/20TheInvestigationsOfHumidificationAndRemovalEfficiencyForGasContaminationByAir-washerInMake-upAirUnit1國立台北科技大學

大綱

一、摘要二、前言三、研究背景動機四、探討氣態分子污染物(AMC)之影響五、實驗設計六、實驗項目與內容七、量測結果分析八、結論與建議九、未來研究內容2國立台北科技大學一、摘要近年來因半導體工業製程的進步，對於製程環境污染的關切已由原有的粒狀固體污染物變為氣態分子污染物(AirborneMolecularContaminants,AMCs)，無塵室本身產生的AMC可由風機過濾器(FFU)上的化學過濾器去除，但外氣部份則必需靠MAU化學過濾器或水洗加濕器加以清除。由於化學過濾器價格昂貴，作為良好氣體吸收液且廉價的水便成為去除AMC之最佳方式。但目前水洗加濕器一般僅作為去除塵埃及空調濕度調節，對於空氣AMC去除之能力則有待提升。

由於氣體與吸收液在水洗加濕器中其混合方式直接左右其質傳行為，故本研究將著手建立研究及測試水洗加濕器的設施，並透過具體的實驗如調整霧化粒徑、液氣比、風速及調整水洗液AMC離子濃度來取得各種水洗器構型與AMC去除能力之關係並作成相關設計圖表與公式，可作為日後提供工業界水洗加濕器設計的參考依據。3國立台北科技大學二丹、前派言近怒年踢來父隨士著促半廉導娇體杜工蓬業售電国路剥製垄程逮之旗線仿寬修不键斷醉的肝縮蛛小润達芒到毙奈搁米洲的献等僚級芦，慰並臭由锈於为區禁域驴建酱廠秋密丧度筐極炭高凝所锄導绕致施各升廠糊間掌尾皂端闪排少氣菜交耗叉悦汙偶染胀效漠應道，荐為严避箱免少對途製下程微良包率误的倾衝咳擊挣，斤對冤外任氣左中尝氣完膠翻污册染唉物柔的铸控粒制眠重蛮點孙，应也办由岂原枝有界的怖粒示狀从固辽態编污茶染具粒赔狀谅固弦態适污些染纽奉物集演队變败為洗氣秋態安分组子饲污帽染劳物腰(刷A壳i贯r景b锄o敌r化n净e汪M巾o少l辨e舰c欠u坊l王a旗r字C姐o闭n扔t柄a线m朝i堤n尊a混n素t稻s粱,另A铅M湿C竹s职)胳，刃例怒如嚼S孔OX、申N幼OX、吴C阶O束、锡N浓H3、醋H映C勺l责及聪其劫它妥的细有吴機悄污茅染保物药都扮會岂影燃響晨製兔程雪良圾率攻。您去译除住A末M怕C云常倾見奴的猪方越式蠢如轮採浇用摇化趁學宅過酸濾裹及纽奉空证氣德洗动滌仿等绘方练式冲處鲜理细。宴前五者温效料率臣雖遍高求但亦成深本帐價津格欢昂烛貴拐，贸且腰與杯外则氣颗處咏理采量辉成椒正柳比昏。阔此吼外哭，达當雪外皱氣歼含瓜微守粒茧濃眼度敲高旺或抗濕职度徒較础大赵時冤會底減出短旅其拳使钱用狂壽苍命序。從树另缝一咏方述面蜂來丛看卫，垒無双塵齿室辅內司針仰對垮此航問奋題伶，软一誉般赵直坑接土在向外揭氣纪空切調肤箱雹(夹M冷A州U碑)曲及枪風竟機旁過零濾谁器丘(套F赖F勉U这)微上宝加副裝撒化酸學淘過思濾前器奏來盆因询應删，柱但混目翅前页仍隙未略被同台居灣葵地全區渣電德子腔產辆業激廣昨為破採低用玩；换故唯潔假淨饭室明外盆氣叨空耐調耳箱悄水惯洗悼加岩濕彩器巧變这成塑為辛目济前坚電锯子您工付業促去斜除获化麻學巩污投染绸物与處瘦理争的导主遍流骆。4國岂立刑台史北皇科援技碗大迈學有蚁關蚂水白洗劝加飘濕激器忆除廉氣堵性泳能石之楼分穴析衰，章根馋據梨飯绒嶋秀和障明磁等持人桶利叉用拔水田洗正加紧濕哗器府針堤對振N范H3、辨S贿O2、牺N蹈O武做何去晃除皂效结率多的荒測踏試近與毫分贺析廊，羡風菊量旗9汽0脖0馒0劝C冰M饺H芽，雷氣姓水熔比浊為坚0励.暴6寺，皆其挡結庸果朝S欧O2去提除械效织率姿約赚在张9纯4兵%椅，篇N蚊H3去垦除勿效按率驱約银8淘0安%戚以剪上瓜。糖N汤Ox為税非脾常重難良溶废於体水狼的叨氣住體境，得去舞除控效护率错約林在吵3作1访%凡~遇4布1合%命之鸽間伞。胳其前後程飯颤嶋醋和鞠明誉等趁人佳提勇出哥使天用砌c画i仆t没y攻w毅a奇t浪e蒜r韵應辜用姨在皇噴嗓霧幅水删對桨於粗S悟O2除姐氣角效搜率络較光使水用顺D缠I访w驻a春t例e基r完為草好抖，糠風李量英為及1淘0挠0刻0暴C坦M牌H捡，蠢氣庆水托比匀為邮2迁.释4巨。浓發盾現阁水锅質妥的爹選醒用坐將畜對击於神S驰O2除湖氣组效满率蹲產饱生雀影税響扛。本瓦次宅研寨究估主利要活探辨討秋氣刃水指比饮、营噴植管暂配辉置猴與那應瞧用瓶H杠y神d骑r锄o搜p缘瑞h功i在l欧i圆c睬E看l街i烈m炒i喂n助a踪蝶t族o邪r创時港對航N辟H3、族S绵O2去宝除晕效湿率答之炕影栗響顷，皮本甲次押所食採便用推的查氣菌水甲比圾為源0跃.妇0羊6瓜~晚0肾.线0简8贴，棵較税以崭往桨業费界己所截採动用伯的霉水迹氣诱比衣0缘瑞.般2掀~谎1虾來袜的折小龄，筐若锦以杏較头節著省饱的恩水抱量痰而咳得朋到哀相汉同绝的局除刮氣推效瞎率哗，插可画以驻減共少峰外具氣烂空斩調勇箱泡的樱運暖轉绵成展本秩。本倾次泥實亏驗奸入见口委端夜引冶進阶外请氣羞進确行膝採死樣碰，忠較冻接朗近稿實算際财無园塵斥室亩中扔A聋M畅C攀的唇濃巷度引，呢我铅們耐可振由庆實聋驗弹分饲析昼結瓦果乏，惑掌招握谅潔拔淨守室究外慌氣胸品恨質任的闪控取制悲方佩式押，船降百低枪化弓學券濾萌網深運钳轉汪成妄本追，匪進菜而悔增疮加角產怖業韵未形來相之款競钳爭惭能贸力巧。5國激立究台路北芹科坝技长大楚學三僻、贵研豆究默背网景稠動秃機本匹次候研宣究升結兴合凯各梯種凭最底可拉行欲分蓬析各方梁法规，脚為枣重墨新够探踪蝶討阵潔墓淨鹿室缠外坚氣闲空料調还箱周水愧洗骨加板濕裹器禾的形構明型乘與粥去世除撒外运氣短化犁學膜污劝染恩物驱及蜜加麦濕艳飽肌和苦效竟率轧之导定爷量矮分胶析景，谨以符尋咸求鞠其盈合愤理狗的管設生計突方墨式纠，科由腥實植驗惭分胀析同結铺果嫂，座可蹄以匙掌切握脾潔谈淨伍室紧外鹊氣腿品气質眨的辩控欠制伪方杠式渗，脾快延速乎提谈升娱產壳品券之困良甚率难並封降霉低拉化锈學艺濾目網辜運伙轉鲜成义本参，份進简而掩增紫加术產迅業须未钩來死之挤競猜爭姥能土力络。6國忌立兵台屯北仇科屿技够大悼學四洋、伤探司討维氣涂態沉分气子赛污瘦染朱物谊(绩A逝M沟C霉)滩之喂影百響圖1近盘十遣年巾半宰導洲體层製灭程伴間家距饶的幼演苗進7國捎立稼台房诚北姐科献技贵大刷學製程曝光波長AMC影響控制方法分析技術250nm到180nm248nm(KrF)NH3,胺光阻分解T-topping,CDshift化學過濾採樣實驗室分析;濾材分析;總胺分析180nm到130nm248nm(KrF)193nm(ArF)NH3,胺凝結性有機物光阻分解;光學污染化學過濾採樣實驗室分析;濾材分析;總胺分析130nm到90nm193nm(ArF)157nm(F2)NH3,胺凝結性有機物酸性物質光阻分解;光學污染;晶圓腐蝕光學腐蝕化學過濾採樣實驗室分析;濾材分析;總胺分析製叨程挎演爽進慕與惊汙甘染尿控惹制冷的套方帅向8國耗立票台吐北衫科婶技箩大戒學五迁、實树驗枯設述計痛與兽方坟法單刻元纸設闪備博排辽列割順贯序1并.掉C颤o逗m不b藏i侍n双e久F丛i仇l余t绵e驶r2疼.迫E宿l炉e得c北t椒r粘i敬c陕H秆e寒a浮t深e滴r3计.仿C割o再o差l狐i铁n温g虽C霸o井i阅l狭1去s夏t4成.颠A工i监r财W急a陈s遗h抹e圣r羞+伶H嘉y腹d妥r肌o您p定h鸭i躬l踏i盘c捏E检l孝i桃m肯i玩n恭a邀t失o禁r5吩.傲C菜o冲o愉l孤i宽n晌g房诚C嫌o杂i菌l懒2丑n隙d6境.特E奔l厕i挽m岔i稀n鞠a净t技o默r7筝.快R溪o促u炸n忆d乌a腐R功o芽u述n纸d藏C苏o逢i涛l8圈.某F朽a键n城&桌M两o斑t亦o选r企S蠢e动c圆t上i猾o慢n9國陆立东台保北券科贿技峰大抚學本墓研际究粉為伍探灵討绪潔恨淨梁室箭外浇氣侮空膊調献箱悟水坡洗语加掠濕并器，下對班於梢氣菌態上分戏子妨污院染驴物登(A喇M邀C开)去仗除表效陕率孕以婶及洁水载洗躲加待濕问器店對往濕周度获控拍制售設僚計访最闪佳列化矿應贝用径，违以声大汪氣招中脖氨(窜N库H3)、消二验氧砍化匆硫(砖S得O2)污怕染肝物番質迷為彼主羊要浴量竹測练氣余體授，裁量唉測茅各号點掌狀荒態爸，横並共分刃析箩各捉參驰數问影那響耀機省組盼的俘效耽率帽。妇首虚先弱建唱立疾一收實旦驗暖模处型归機挪，棉採绸用盒一袖組款風纤量咬1吃0幸,渐0为0剥0贴m3/输h冒的忠全死外炉氣治空胁調纠箱祖，躺如职上垒圖鸡所维示芒。帮實宰驗厚模极型狗機托上忌將并有宁一窗套僵可求調痕整攀的雀水漫洗朗加幻玉濕偏器解模留組映，论能卸夠特隨辛時缝變江換仇各壳種倡形框狀意及阔尺炭寸屯的矛噴红嘴驶，纳並载能牢調利整启其政數次量涂及巩排窗列支方五式贷，格而雷後秋安黎裝显各嘴電臭子奶感找知纠器劣S锤e把n爸s述o塞r狱，弱配腊合厘控脑制怜器拦P矿L坑C煎監勿測终各拿點厨狀奔態也，阶即地時躁記区錄构分阀析垒。本雁次劳實姓驗叮同银時饿採臣用矛4堂組喇採学樣颗吸匀收军瓶申(扯I峡m厦p猛i腥n臭g宪e静r菌)哪，亡對主於至水逗洗天加乒濕拆器慈前许後雀濃串度抓進辽行查採烂樣脱分她析易工源作尖，异本听次维所徒使蛋用拉的城分休析奔儀浪器员為抽離鹿子虑層辅析洽儀赢(逆I掩o站n用c支h蓝r钩o道m壤a凭t直o买g血r屈a江p及h费y怀)绿，构。最绞後夹利惧用胶各否種担不做同印排扎列资方判式壳、润等随相泳關任參斯數街，诞得乳到诞氣纹態堡分渴子街污涌染帅物砍A候M焦C寒去击除敌效弓率每之宵影弯響态。胡本也研炒究钱最币終哭目贼的不為春預搁測或各柴種啄水猛洗毕加张濕援器帐模拐式蔽組毯合莫與呈氣秃態星化驰學跑污抗染特物凉去俊除梁效羞率终之乖物炒理糕模稍式肠的折建杆立晴。1屋0國存立所台赠北厦科牌技嚷大职學外冒氣垦空左調锤箱原相馒關肃構陈造钩圖伞示外躲氣烘空男調址箱喊外古觀牙ㄧ喘覽扣圖1枝1國勒立闪台瞎北山科乒技诊大郊學電截子惩加或熱丘器進报風罢口狱與切袋智式挪濾钱網1哲2國公立戴台岂北苍科度技冒大闻學H讯y赞d箭r板o伤p习h过i河l塌i随c才E风l指i离m郊i施n吐a喘t陪o列r離歇水匠片1运3國残立液台月北肢科忍技纽奉大贝學離赵子蜓層索析踏儀P疲L舒C居電退盤1手4國膝立雄台姓北固科霸技茎大堂學六财、實油驗样項鹅目冠與隐內保容實驗項目實驗內容實驗1探討對於空氣飽和度及氣態分子污染物之影響實驗2噴嘴配置探討對於空氣飽和度及氣態分子污染物之影響實驗3HydrophilicEliminator應用,探討對於於空氣飽和度及氣態分子污染物之影響實驗4風車段再熱之影響噴嘴配置雙排逆噴雙排對噴雙排逆噴雙排對噴氣水比0.060.060.060.06氣水比0.080.080.080.08HydrophilicEliminator

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