无尘车间汇报课件

无尘车间汇报汇报人：张剑

2013.4.13无尘车间汇报汇报人：张剑

2013.4.13目录一、无尘车间的概念二、无尘车间的分类和实现三、无尘车间的管理目录一、无尘车间的概念一、无尘车间的概念

无尘车间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

洁净室最主要之作用在于控制产品所接触之大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘车间。一、无尘车间的定义：二、无尘车间的等级：

依据美国联邦政府颁布的标准【FederalAtandard（FS）209E，1992】，可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000（万）级、100000（十万）级。每立方米空气内含有微粒粒径大于等于0.1微米的最大个数。比方百级就是每立方米粒径大于等于0.1微米的最大微粒数不能大于100个一、无尘车间的概念无尘车间是指将一定空间范围内式中：Cn—大于或等于要求粒径的粒子最大允许浓度(pc/m3)。Cn是以四舍五入至相近的整数，有效位数不超过三位数。N—洁净度等级，数字不超出9，洁净度等级整数之间的中间数可以按0.1为最小允许递增量。

D—要求的粒径(μm)。0.1—常数，其量纲为μm。式中：Cn—大于或等于要求粒径的粒子最大允许浓度(pc/m3三、关于粉尘的感性认识：一般微粒粒径对比0.3μm微尘粒径人类头发(15μm)肉眼可视(5μm)三、关于粉尘的感性认识：一般微粒粒径对比0.3μm微尘粒径10,000,000街市区工业地带田园地带1,000,0001,00010,000外大气层大气层100,000一般自然界气体等级10,000,000街市区工业地带田园地带1,000,000

所谓的无尘车间是一个人造的环境，里面含有的粒子远低于一般的环境，随着集成电路的级数的快速成长，也增加了对制造环境(无尘室)洁净度要求，在工业上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。由于纳米技术的兴起，造成半导体关键尺寸持续缩小，集成电路积集度不断地增加，尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒落到金属导线时，就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上，可能将其腐蚀，所以无尘室为集成电路制造不可或缺的要素。四、为什么要制造无尘车间：所谓的无尘车间是一个人造的环境，里面含有的粒子远低于五、关于无尘车间的相关术语：悬浮微粒：一般指悬浮于空气中的固态和液态微粒，其粒径尺寸范围约在0.1～5μm之间。洁净度：用以表征单位体积空间内空气中所含微粒大小及数量的多少，是区分空间洁净程度的标准。气闸室：设置在洁净室出入口，阻隔室外或邻室污染气流和压差控制而设置的缓冲间。风淋室：气闸室的一种，通过安装风机、过滤网及控制系统等对入室人员进行周身吹扫通道，它是减少外来污染的有效途径之一。洁净工作服：为把工作人员产生的粒子限制在最小程度所使用的发尘量少的洁净服装。高效空气过滤器HEPA：在额定风量下，对粒径大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上及气流阻力在250Pa以下的空气过滤器。超高效空气过滤器：在额定风量下，对粒径0.1～0.2μm粒子的捕集效率在99.999%以上及气流阻力在280Pa以下的空气过滤器。五、关于无尘车间的相关术语：悬浮微粒：一般指悬浮于空气中的二、无尘车间的分类和实现一、无尘车间的分类1.乱流式

非单方向流方式

空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。优点：构造简单、系统建造成本低，洁净室

扩充比较容易缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，欲需达到设定要求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。二、无尘车间的分类和实现一、无尘车间的分类1.乱流式

非单方乱流式典型结构形式适用洁净等级：1,000-100,000级乱流式典型结构形式适用洁净等级：1,000-100,000级2.层流式

层流式空气气流运动成一均匀直线形，空气过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需求较高之环境使用，一般其洁净室等级为Class1~100。其型式可分为二种：(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。优点：构造简单，运转后短时间内即可达到要求，稳定运转。缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。(2)垂直层流式：空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。垂直单方向流方式FFU2.层流式层流式空气气流运动成一均匀直线形，空气过滤层流式典型结构形式适用洁净等级：1-100级层流式典型结构形式适用洁净等级：1-100级3.复合式混流方式

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。(1)洁净隧道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易；B.维修设备时可在维修区轻易执行。(2)洁净管道(CleanTube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。(3)并装局部洁净室(CleanSpot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上。3.复合式混流方式复合式为将乱流式及层流式予复合式典型结构形式适用洁净等级：10-100000级并装复合式典型结构形式适用洁净等级：10-100000级并装二、无尘车间的实现二、无尘车间的实现气流流型及换气次数—摘自GB50073-2001气流流型及换气次数—摘自GB50073-2001比色法效率测试:

比色法效率也称ASHRAE（美国采暖、制冷与空调工程师协会标准）效率，试验尘源为高浓度标准人工尘，测量尘源为大气尘。“量“为测量阶段采样滤纸的通光量。每经过一段发尘试验，测量不发尘时过滤器前后采样滤纸通光量的差别，用特定计算方法得出所谓”过滤效率“。比色法效率是试验全过程各测量阶段效率依发尘阶段发尘量的加权平均值。99.99%@0.3umPre-filterHEPAfilterBag-filter95%@1~5um90~95%99.99%@0.3umHEPAfilterFANFilterHEPA/ULPACR99.999%@0.1~0.3um0.3μm0.5μm1μm0.1μm工作区域过滤网设计比色法效率测试:99.99%@0.3umPre-filter送风量及FFU数量计算1.洁净室的新鲜送风量应取以下两项中的最大值:a.补偿室内排风量和保证室内正压值所需空气量之和Q1;b.保证洁净室工作人员所需足够的新鲜空气量Q2(依据<洁净厂房设计规范>每人每小时新风量不小于40m3);

Q=Max(Q1&Q2)或Q=Max(Q1&Q2)+Q泄漏量Q泄漏量=µA(ΔP)0.5

µ-泄漏系数,A-泄漏面积,ΔP-压差;2.FFU数量=QS/QFFU额定风量,

QS=V*ACH(V-房间体积;ACH-换气次数.)送风量及FFU数量计算1.洁净室的新鲜送风量应取以下两项中的滤网的使用寿命当过滤网达到额定容尘量的时候即需要更换.T=P/N1*10-3QtηT-过滤器使用寿命；（d）P-过滤器容尘量;(g)N1-过滤器前空气含尘浓度;(mg/m3)Q-过滤器的风量;(m3/h)

t-过滤器一天的工作时间;(h)

η-计算过滤器的计重效率.

此外、在下列任何一种情况下，应更换高效空气过滤器:1气流速度降到最低限度。即使更换初效、中效空气过滤器后，气流速度仍不能增大。2高效空气过滤器的阻力达到初阻力的1.5～2倍。3高效空气过滤器出现无法修补的渗漏。滤网的使用寿命当过滤网达到额定容尘量的时候即需要更换.通常无尘室均需维持正压以防止外部污染流入,并有利于内部微尘的排出。正压值一般遵循以下两条设计：1、不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的压差，应不小于5Pa；2、洁净厂房室内与室外的压差应不小于10Pa，一般为10~20Pa。(1Pa=1N/m2)正压Class1KP1+10PaClass10KP1+5Pa+++P1=P+10~20PaPCR外界通常无尘室均需维持正压以防止外部污染流入,并有洁净室管控手段制定监测表洁净室管控手段制定监测表1、方法计数浓度法2、仪器光散射粒子计数器3、采样点布置a）采样点一般在离地面0.8m高度的水平面上均匀布置。b）采样点多于点时，可以在离地面0.8m～1.5m高度的区域内分层布置4、最小采样量测试采样面积m2洁净度级别

100010000100000〈102～322≥10～〈20422≥20～〈40822≥40～〈1001642≥100～〈20040103≥200～〈40080206≥400～〈10001604013≥1000～〈2000400100322000800200631、方法测试采样面积m2三、无尘车间的管理

1、产品及设施

无尘室内的发尘量，来自设备的可考虑通过局部排风排除，不流入室内；产品，材料等在运送过程中的发尘与人体发尘量相比，一般极小，可忽略；由于金属墙壁（彩钢夹心板）的应用来自建筑表面的发尘也很少，一般占10%以下。2、人

发尘主要来自人，占90%左右。在人的发尘量上，由于服装材料和样式的改进，发尘绝对量也在不断减少。A、材质：棉质发尘量最大，以下依次为的确良、去静电纯涤纶、尼龙；B、样式：大挂式发尘量最大，上下分装型次之，全罩型最少；C、活动：动作时的发尘量一般达到静止时间3-7倍；D、清洗：用溶剂洗涤的发尘量降至用一般水清洗的五分之一。发尘源及量：一、洁净人员管理三、无尘车间的管理1、产品及设施发尘源及量：一、洁净人1、人员产生的污染：（1）皮肤：人类通常每四天完成一次皮肤的完全脱换，人类每分钟脱落约1000片皮肤（平均大小为30*60*3微米）（2）头发：人类的头发（直径约为50~100微米）一直在脱落。（3）口水：包括钠、酶、盐、钾、氯化物及食品微粒。（4）日常衣物：微粒、纤维、硅土、纤维素、各种化学品和细菌。（5）人类静止和坐立每分钟将产生10000个大于0.3微米的微粒。（6）人类在头部和躯干做动作时每分钟将产生1000000个大于0.3微米的微粒。（7）人类以0.9m/s的速度行走时每分钟将产生5000000个大于0.3微米的微粒。2、分析国外试验资料显示：（1）无尘室内当工作人员穿无菌服时：静止时的发菌量一般为10~300个/min.人躯体一般活动时的发菌量为150~1000个/min.人快步行走时的发菌量为900~2500个/min.人（2）咳嗽一次一般为70~700个/min.人（3）喷嚏一次一般为4000~62000个/min.人（4）穿平常衣服时发菌量3300~62000个/min.人（5）无口罩发菌量:有口罩发菌量1:7~1:14

所以，洁净间的管理，关键是人员的管理，只有每位员工严格遵守洁净间管理规定，才能真正发挥洁净间的作用，从而有效保证产线的正常运行，减少产品的人为不良率，降低成本，提高企业产品的竞争能力。人的污染—发菌量1、人员产生的污染：人的污染—发菌量具有下列状况之人员不准进入洁净室：(1)皮肤有晒焦、脱皮剥落、搔痒症者；(2)患有严重型伤风、感冒，打嚏、咳嗽多者；(3)不注重个人卫生，头发脏乱、头皮屑多者；(4)有搔头、挖鼻孔、搓脸、搓皮肤之不良习惯者；(5)涂覆胭脂、粉底或未按规定洗去化妆品、指甲油者；(6)吸烟过量者(烟粒子在说话,呼吸过程中能再次喷出)(7)持有或带有非无尘类物品或相关规定禁止带入洁净室之物品者；(8)未穿或未按规定穿戴好洁净服者；二、洁净室进出人员管理之八不准具有下列状况之人员不准进入洁净室：二、洁净室进出人员