半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件

半导体厂耗能指标及节能方案之研究幽默来自智慧，恶语来自无能半导体厂耗能指标及节能方案之研究幽默来自智慧，恶语来自无能1尘导休厂耗能指标及节能方案之硏究指导教授:胡石政博土尘导休厂耗能指标及节能方案之硏究2事简介台湾高科技产业,以牛导体晶圆制造及光电产业为主’高科技产业之能源需求量相当庞大希望建立导体厂耗能指标,与各相关牛导体厂做相对应比较建立更良好的能源使用模式,在能源使用上更有效率2013/3/30事3洁净室最佳化设计包含系统节能的设计清洁净室最佳化设计包含系统节能的设计,一个节能化的洁净室设计虽然有些会增加初设成本的支出,但总体而,经过了二、三年运转后其减少的电费,往往可大于当初初设成本的费用;其洁净室的节约能源技术主要项目约分为十八类)丶冰水主机系统(二)、冰水系统(三)冾却水系统(四)丶外气空调箱(五)丶排气系统(六)丶照明系统(七)丶电力系统(八)、储冰系统(九)丶吸收式冰水主机十)丶C/R内循环风系统微环境系统十二)丶终级过滤器最省能配置(十三)、MAU出风口位置选择十四)丶检讨排气系统泄漏旁通问题(五)丶空调箱再热十六)、外气引进控制(十七)丶空调负荷确定十八)丶人员丶设备操作维护之管理2013/3/30洁净室最佳化设计包含系统节能的设计4负荷计算2013/3/30负荷计算5SystemSpecificationCleanRoomCleanroomarea11,182m2(8,717m2MAINFAB)RehumidityPhoto:43+3%0Production43+5%0三.TemperaturePhoto:22+0.3℃,Production:22+2℃yy.RoomPressurizationClassl:5+ImmAq,Class1000:3+1mmAqSystemSpecificationCleanRoo6constructionoffaBQEXHAUST■■■■■■■■I■■■■■■■■■■■■■■MAUhalTQ2013/3/30constructionoffaB7Fab内部负荷计算(设备部分)a排至C/R的能量)n(電力)Opcw(Processcoolingwater)Fm化學学能F以排氧)2013/3/30Fab内部负荷计算(设备部分)8Fab内部负荷计算CIfA:211℃C6543,00cMHB:2.1℃qanatoccupantC:15.3e]988020CMHsubfab2013/3/30Fab内部负荷计算9Fab内部负荷计算Exhaust风量Qe=QacidtAlkaline+Qsol+General5590+509+1,076+8,302=15,477(CMM)Fresh风量Qm=Qphoto+Qprod+Qimp+Supp+Qgow3,518+6,000+3,218+2,915+8166467CMM)2013/3/30Fab内部负荷计算10Fab内部负荷计算INPUT设备用电为7367kW=6,335,620kcal=2095.1RTINTERNALLOADLIGHITINGLOAD=3171kW=272.706kcal/hr=90.1RTFFULOAD=160W*7,270=1,163.2kW=1,000,352kcal=330.8RT2013/3/30Fab内部负荷计算11半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件12半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件13半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件14半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件15半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件16半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件17半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件18半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件19半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件20半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件21半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件22半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件23半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件24半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件25半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件26半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件27半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件28半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件29半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件30半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件31半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件32半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件33半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件34半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件35半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件36半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件37半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件38半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件39半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件40半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件41半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件42半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件43半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件44半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件45半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件46半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件47半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件48半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件49半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件50半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件51半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件52半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件53半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件54半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件55半导体厂耗能指标及节能方案之研究57张课件56谢谢你的阅读知识就是财富丰富你的人生71、既然我已经踏上这条道路，那么，任何东西都不应妨碍我沿着这条路走下去。——康德

72、家庭成为快乐的种子在外也不致成为障碍物