气柜分类及结构讲义课件

气瓶柜分类钢瓶数主要危害性储存状态TYPE13CY.(a)2CY.(b)燃烧性高压气态TYPE23CY.(a)2CY.(b)燃烧性中压液态TYPE32CY.(a)腐蚀性/毒性低蒸发压气态TYPE42CY.(a)惰性液态TYPE52CY.(a)惰性高压气态1气瓶柜分类钢瓶数主要危害性储存状态TYPE13CY.(2项次品名

建议厂商项次

品名

建议厂商1调压阀Regulator(1)APTECH7真空产生器VacuumGenerator(1)VERIFLO(2)VERIFLO(2)SVT(3)TESCOM8压力表PressureGauge(1)MILLIPORE(4)CROWN(2)WIKA2手动阀ManualValve(1)FUJIKIN9压力传输器PressureTransducer(1)TEM-TECH(2)VERIFLO(2)MILLIPORE(3)APTECH(3)MKS3气动阀AirValve(1)FUJIKIN10磅秤Scale(1)MILLIPORE(2)VERIFLO11管材Tube&Pipe(1)KUZE(3)APTECH(2)POLYMOUTH4流量传感器ExceedFlowSensor(1)SWAGELOK(3)SUMIKIN5过滤器Filter(1)PALL12管接头Fitting(1)FUJIKIN(2)MILLIPORE(2)HAMLET(3)TEM-TECH(3)PARKER6逆止阀CheckValve(1)NUPRO13钢瓶接头CylinderConnector(1)EWAL(2)FUJIKIN(3)SVT材料使用厂牌2项次品名建议厂商项次品名建议厂商调压阀ReguG/CTYPE13(A)FlammableHighPressureGasType-1aAccessories：SprinklerIR2DetectorOverTemperatureDetectorDiff.PressureGauge/SwitchEmergencyShut-OffValveAV1L/RShut-BoyHigh-pressureTestPipesandValvesExcessFlowSwitchPurgeN2SafetyReleaseValveAutoDamperG/CTYPE13(A)FlammableHighG/CTYPE2(B)FlammableLiquidGasType-2aAccessories：SprinklerUV/IRDetectorOverTemperatureDetectorDiff.PressureGauge/SwitchEmergencyShut-OffValveAV1L/RShut-BoyHigh-pressureTestPipesandValvesExcessFlowSwitch*Note1PurgeN2SafetyReleaseValveLoadCellAutoDamper4

G/CTYPE2(B)FlammableLiquidG/CTYPE3(C)CorrosiveLiquidGasType-3aAccessories：Diff.PressureGauge/SwitchEmergencyShut-OffValveAV1L/RShut-BoyExcessFlowSwitch*Note1LoadCellPurgeN2SafetyReleaseValve*Note1：Type–3aforWF6doesnotcontainexcessflowswitchEFS1L/R.*Note2：Type–3bforBCl3doesnotcontainexcessflowswitchEFS1L/R.AndregulatorPRV1L/R.5

G/CTYPE3(C)CorrosiveLiquidUtility(1)管路规格项目内容备注管件主管路：SUS316LVIM+VAR吹净管路：SUS316LVIM+VAR抽气管路：SUS316LVIM+VARInstrumentPipe：NylonTube配件主管路：Auto-weldingbutttypeUsingelbowwithwelding.吹净管路：Auto-weldingbutttypeUsingelbowwithwelding.抽气管路：Auto-weldingbutttypeInstrumentPipe：QuickConnection.6

Utility(1)管路规格项目内容备注管件主管路：SUSUtility(2)衔接规格衔接名称尺寸衔接型式备注GasOutletØ6.35MetalGasket(VCR)PurgeGasInletØ6.35MetalGasket(VCR)VentN2InletØ6.35MetalGasket(VCR)VGVentØ9.52MetalGasket(VCR)InstrumentInletØ4.001/8”PTExhaustofGCØ100ShortPipe7

Utility(2)衔接规格衔接名称尺寸衔接型式备注Gas管线/路配置(1)1.一次侧管路(HighPressure)：一般是以钢瓶入口至调压阀这段管路称做一次侧管路，由于这个区段的管路压力最大，因此再与其他部分连接时，应装设逆止阀或调压阀来阻止高压气体进入低压区域，避免损害低压阀件。2.二次侧管路(HighPressure)：制程气体经由调压阀转换成低压状态后再输出至气柜以外的系统（如VMB），这部分称为二次侧管路，主要功能在于管制制程气体的供应，若连接一次侧与二次侧的调压阀失去作用，将会使这部份管路的低压阀件造成损坏，因此在二次侧管路的出口端是采用高压的手动阀以避免输出高压的制程气体。8

管线/路配置(1)1.一次侧管路(HighPressure管线/路配置(2)3.吹净管路（Purge）：吹净用的N2可分为钢瓶供应或外界供应。在本气瓶柜中，是采用钢瓶提供N2来吹净制程管路，另外，还可分别提供高压或低压的N2气体。由于N2通常仅用于维修或换装新制程钢瓶，且使用量并不大，因此在本气瓶柜还提供N2给其他VMB或气瓶柜使用。4.抽气管路（Vent）：GN2气体经由气动阀VVS管制在通过真空产生器VG，再由废气处理系统的抽气帮浦抽出气柜系统因为真空产生器与抽气帮浦的作用，使VENT管路与制程管路产生极大的压差，进而将纯度较低的制程气体－受污染的气体或微尘粒子（Particles）抽离供气管路。9

管线/路配置(2)3.吹净管路（Purge）：9安全防护装置(1)101.气动阀压力开关主要功能：侦测气动阀驱动压力注意!驱动气源压力不足或过高时，将无法控制器动阀4.差压系统主要功能：测量阀箱的负压值注意!压力不足时，极有可能表示气体泄漏2.过流量检测开关主要功能：检测钢瓶供气的流量注意!气体流量过高，将会损坏阀件`5.外部讯号默认功能：远程EMO、地震讯号、气体泄漏侦测

安全防护装置(1)101.气动阀压力开关4.差压系统2.过流安全防护装置(2)119.隔离开关主要功能：控制气瓶柜的电源7.紧急停止系统主要功能：紧急中断气瓶柜的所有动作注意!按下时，仍保留部分侦测用电源8.紧急遮断器主要功能：系统中断气动阀气源时，关闭钢瓶10.Z-Purge主要功能：防止制程气体进入控制箱注意!压力不足时，泄漏之气体有可能进入控制箱

安全防护装置(2)119.隔离开关7.紧急停止系统8.紧急遮安全防护装置(3)126.洒水装置主要功能：扑灭先期火灾与降低火场温度注意!禁止使用和水会反应之气体3.火焰侦测器（IR2）主要功能：侦测钢瓶内部是否有火焰产生注意!需另安装消防备用电源

安全防护装置(3)126.洒水装置3.火焰侦测器（IR2）GasMonitorIntegratedSystemTechPresentCompanyIntroductionH/WSolutionS/WSolution13

GasMonitorIntegratedSystemT1.TechPresentationGMSNetworking14

ProvideEthernetswitchnetworkastheforcommunicating

amongSCADAPC,WorkstationPC,PLCandother

devices.UsingPLCEthernettoConnectwithGASCabinet：

--Ethernetports：Statussignal.3.UsingDI/OtoConnectwithGASCabinet：

--DI/O：shutdownsignal.4.ProvideSIEMENSPLCProfibusremoteI/OtolinkwithVMB/VMP.1.TechPresentationGMSNetwor2.H/WSolution15

SCADAPC：IPCIndustrialgradePCwithwindows2000platform.2.ControlSystemUnit：SiemensS7-400PLCwithEthernetandProfibusLinkinterface.3.GasCabinet/VMBlinkingunit：

Ethernet：readingstatusandvalue.4.AlarmPanelSystem.5.OSMRJ-45PorttolinkwithFMS.2.H/WSolution15SCADAP3.S/WSolution(1/2)16

ImplementSCADAfunctionandexchangedatawithFMS.--H/HHAlarmwillshowonHMIGraphic&Alarmsummaryifeventoccur.1.1TheSCADAsystemmonitortheprocess,collectingTagalarmmessagefromtheprocess.1.2FilteringandforwardingtorelateddevicessuchasAlarmpanel.1.3Maintenanceareaassignment.1.4Enable/DisablealarmfunctionduringPMperiod.1.5AlarmFiltering.1.6AssigncriticalalarmstatustoAlarmPanel.3.S/WSolution(1/2)163.S/WSolution(2/2)17

2.Dangerousarealayout,ifrelativeareagasleakage,alsowillindicatewithflickerlightuntilacknowledgeBuzzerAndLampactivate.3.S/WSolution(2/2)17预防保养(1)18

本GC设计只需极简易的保养即能提供贵厂整年度无问题之操作，经常执行下列之预防保养，仅需花费少许时间即能延长设备的寿命。电控系统输入及输出的测试，确认作动讯号正确与否包含下列项目：

1.1ShutDown：确认输入讯号到盘面可以自动ShutDown。

1.2自动切换：确保适当指定作动点是正确地被设定及确认会产生切换。预防保养(1)18本GC设计预防保养(2)19

2.Transducer校正

2.1Zero校正：排除管内压力，比较显示数值是否仍落在误差内，否则予以校正。

2.2讯号确认：确认已存在之讯号有到控制箱及控制室。预防保养(2)192.Transducer预防保养(3)20