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基板裂纹源寻找方法-byHenancyh2009年4月23日一、玻璃基板破碎后样品保存方法改善发生工段、工序状态etc信息基板ID&加工条件etc信息基板开裂状态寻找起点位置取样原因分析对策样品取样破碎基板解析方法样品分析F/B（对工厂生产提出措施）①破碎基板信息采集：基板破碎时间、相关设备、发生工位及工序状态信息：基板W/O、ID和加工过程变化信息（包括同正常产品生产相比材料、工艺条件等变化）；基板破碎状态图解（统一基板倒角、行进方向）；裂纹源分析及取样图解；②破碎基板样品保存：破碎基板裂纹源现场判断——肉眼；破碎基板裂纹源现场解析——X-10,X-20放大镜；基板裂纹源和基板信息配套；裂纹源送至分析室进一步解析破损原因；③破碎基板工序对策及改进措施：：破碎基板破损现场原因判断；破碎基板破损原因工序对策；针对F/B过程中该工序提出改进措施；二、玻璃基板破损裂纹源寻找方法：①造成基板破碎的原因（基板）应力定义：基板单位面积上所受到的力；玻璃基板破碎原因：热应力外界冲击力②当用力弯曲折断材料时，材料顶部受到左右两侧的拉力，而材料底部受到左右两侧的压力，故材料断面的截面断面形貌为：曲线型排骨纹③当用力拉断材料时，材料顶部和底部均受到左右两侧的拉力，故材料断面的截面断面形貌为：直线型排骨纹二、玻璃基板破损裂纹源寻找方法：①裂纹源的判断依据：起点源：首先在起点源附近有一镜面区；雾区：起点源镜面区外侧表面亮度“较暗”区域；Ribmark：以起点源为中心向四周扩散的波纹线；羽毛纹—同Ribmark垂直且首尾相连的条形开裂线；起点源镜面区雾区起点源Ribmark②应力计算公式：Ribmark：越接近起点源，Ribmark间距越小；距离起点源越远，Ribmark间距越大——找寻起点源的方法之一；③起点源常用判定方法：开裂线同基板边部垂直基板开裂方向由中心向四周扩散的点位笔直的一小段同时，起点源的判定还要考虑特殊点位，eg：排气孔、物流线stopper和setter不良等④举例：P4.1起点源Ribmark起点源Ribmark羽毛纹P4.2起点源虽然起点在排气孔附近，但仔细分析得出起点源并非排气孔。经过仔细观看得出起点源位于基板背部排气孔附近，起因是由于SL烧结过程中收缩流入排气孔，排气孔在打孔过程中由于高温局部应力较大，当SL收缩通过排气孔流至基板背部时，由于setter和基板收缩率不一致导致基板背部

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