TFT基板玻璃清洗工序水循环系统杂质去除浅析_第1页
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文档简介

TFT基板玻璃生产过程中清洗工序通过盘刷、滚刷、二流体、超声波等单元清洗基板玻璃表面,去除掉生产过程中产生的玻璃粉、研磨粉、纸粉等杂质,每个单元都需要大量水冲淋基板玻璃,为了节省用水量,水通过水箱滤芯过滤后循环使用,根据水中杂质含量的不同滤芯的过滤精度也不同。普通过滤系统只有一个滤芯过滤,滤芯负载大,过滤能力弱。含有导流槽的过滤系统在滤芯前方增加一个导流槽,将大的杂质和颗粒从水中剥离出来,减轻了滤芯的负载,提高了水循环系统去除杂质能力。导流槽是利用离心沉降原理从悬浮液中分离固体颗粒的设备。外形大体上呈圆筒状的水箱顶部的水箱壁切线方向上连接回水管,回水管与水箱连接的部分形成回水口,通过回水口将进入到回水管的待处理水引入到水箱中进行处理,圆筒状水箱顶部中心连接有取水管和取水泵,利用取水泵通过取水管将去除了粗粉末杂质的水取出,水箱底部有排放口,用于将沉降的粗粉末杂质排出。圆筒状水箱在其下部呈内径逐渐收缩的倒圆锥形,内壁有导流槽,导流槽自回水口起始,在水箱内壁相对于水平面螺旋下降,在排放口结束。导流槽安装在水箱内部,如图1所示,回水通过回水口进入导流槽内,经过旋转后通过上方出水口进入泵和滤芯内,旋转过程中杂质与水分离,经过排放口排出。图1导流槽示意图导流槽的优点:采用导流槽可以将粗粉末杂质从液相中去除,以实现初步的固液分离,进而明显降低后续的过滤负载,减少了固体粉末杂质对泵叶轮的冲击,提高了滤芯使用寿命,同时,减少了停机更换滤芯的时间,提高了工作效率。使用特别设计的导流槽,能有效地利用液体本身具有的动能促进液体的旋转运动。导流槽构造简单,无需增加泵等额外的部件;体积小,占地面积也小;旋转分离效率提高,生产能力大;分离的颗粒的范围较广。使用导流槽前后滤芯寿命对比如表1所示。使用导流槽后滤芯寿命提升66.7%~100%。表1

滤芯寿命对比分析了水循环系统去除循环水内部杂质的原理,通过普通水过滤系统和安装导流槽的水过滤系统的对比,阐述了导流槽水过滤系统的优点和作用。结合清洗设备特点、生产状态及操作过程情况,找出规

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