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  • 2011-05-05 颁布
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【正版授权-英语版】 ISO 13084:2011 EN Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Calibration of the mass scale for a time-of-flight secondary-ion mass spectrometer_第1页
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基本信息：

  • 标准号：ISO 13084:2011 EN
  • 标准名称：表面化学分析 二次离子质谱 飞行时间二次离子质谱仪质量标尺的校准
  • 英文名称：Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Calibration of the mass scale for a time-of-flight secondary-ion mass spectrometer
  • 标准状态：废止
  • 发布日期：2011-05-05

文档简介

ISO13084:2011是关于表面化学分析的国际标准，主要涉及到二次离子质谱法（SIMS）中的质荷比测量。二次离子质谱法是一种用于表面化学和材料科学研究的分析技术，它通过向样品发射带电离子并测量它们的反射或散射来进行分析。

在这个标准中，主要关注的是时间飞行二次离子质谱仪（TOF-SIMS）的质量刻度校准。TOF-SIMS仪器是一种高级的表面分析工具，它提供了丰富的信息，包括物质的化学组成、浓度和晶体结构等。

在这个标准中，主要的操作和要求包括以下几点：

1.定义了仪器质量刻度的基本原理和校准步骤。这涉及到仪器内部的电子学和物理学的准确度，以确保数据的准确性和可靠性。

2.介绍了使用已知浓度的标准物质进行校准的过程，这些物质通常包括不同的化学元素或化合物。这有助于建立质量刻度的准确性和可重复性。

3.规定了实验的细节，包括样品制备、离子源和收集器的设置、以及实验环境的控制等。这些细节对于获得高质量的数据至关重要。

4.强调了校准过程中需要考虑的误差来源，包括仪器误差、样品制备误差、环境条件变化等。这些误差需要被适当地控制和修正，以确保结果的准确性。

5.提供了在TOF-SIMS仪器上进行校准所需的材料、设备和技术信息。这些信息包括样品和标准物质的选择、实验过程的指导、以及数据的分析和解读等。

ISO13084:2011标准提供了对TOF-SIMS仪器进行质量刻度校准的详细指南，帮助研究人员更好地利用这个高级分析工具进行表面化学和材料科学的研究。在操作这个标

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