(高清版)GBT 25915.15-2022 洁净室及相关受控环境 第15部分：按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性

国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会发布国家市场监督管理总局I Ⅲ 1 1 1 3 4 6 7 7 810特定释放速率的计算 8 9 附录A(资料性)已安装设备的适用性评定示例 附录B(资料性)洁净室或洁净区域已安装板壁材料的适用性评定计算示例 附录C(资料性)设计阶段洁净室设备和地面材料适用性评定 Ⅲ本文件是GB/T25915《洁净室及相关受控环境》的第15部分。GB/T25915已经发布了以下-—第6部分：词汇VGB/T25915采用ISO14644系列国际标准，各部分 1GB/T25915.8—2021洁净室及相关受控环境第8部分：按化学物浓度2洁净室cleanroom空气悬浮粒子浓度受控并分级的房间，其设计、建造到运行空气悬浮粒子计数浓度受控并分级的限定空间。其建造和运受控区controlledzone以减少污染物引入和影响的方式来建造和使用的特定空间，其空气中的3设备equipment载气purgegas4符号本文件所使用符号见表1。4意义洁净室、受控区内化学物质量浓度F目标测量时的采样流量gg目标测量时的采样时间s背景测量时的采样时间sT材料采用m²设备采用“台”g/(m²s)或g/(台·s)次/s次/s回风换气频次次/s洁净室或受控区内空间容积a流量计允差应为士5%。55.2闭式设计574892378768图1闭式设计闭式系统需要一个受控的载气供气系统和一个设置于采样装置后的流量计。载气流量应使用阀门控制。采样泵设在流量计之后。5.3闭式设计特殊应用 图2闭式设计特殊应用6559417827968387此检测装置适用于大型设备和运行中的设备。它通常是指洁净室或受控滤、新风和背景释放会影响本检测装置的性能。通过检测环境的部分载气作6.1设备材料应采用目标应用一致的形态来评定(包括材料特性如层数、复合物厚度、孔隙率和表面构 7GB/T25915.15—2022/ISO1467.1通则应在定量评定前后对表面洁净度进行目视检查定性评定，但定量评价不能目视检查宜记录并可与后续目视结果比较。目视检查结果可作 根据待测空气中化学物或污染物组分的特性，也可不采用采样装置而使用直接检测方法如质子转移反应质谱法(PTR-MS)、傅里叶变换红外光谱法(FTIR)、火焰离子化检测器法(FID)、c)根据检测目标的预估释放量确定采样时间和体积。需考虑测量设备的检测范围和采样装置的最大载气量。检测环境的温度设定为约定温度(指导值22℃)并保持其在(22±2)℃。对于闭式设计特殊应用(见5.3),应使用玻璃或不锈钢等与舱壁化学物释8h)将待测对象放置于检测环境并按代表性模式运行。根据检测分析所得的质量m、采样流量F和采样时间t,考虑各参数的不确定度，9GB/T25915.15—2022/ISO10.2特定释放速率的计算——开式设计检测对象的特定释放速率q。依据计算浓度p。和pb,检测环境的容积V.,检测环境换气频次n.与检测材料面积或检测设备数量x来计算。应扣除背景质量。检测目标污染物的质量至少为背景质量的10倍。若无法满足，则需重新考虑试验参数以及采样或x——检测材料面积或检测设备数量，单位为平方米(m²)或台。11评定特定释放速率可用于评估受控区对化学物浓度空气洁净度等级(ACC)的影响。它既适用于已建 图4以开式设计环境为例——洁净室或受控区及其相应参数GB/T25915.15—2022/ISO11.2应输入的参数 a——化学物去除装置效率。11.4对既有洁净室或受控区的材料或设备适用性评定将计算所得的洁净室化学物质量浓度pe与GB/T25915.8—2021中4.2规定的ISO-ACC等级N相比较。12记录1)选定的载气种类及流量；2)舱内温度；3)采样装置类型；4)采样时间；1)分析用设备的描述；(资料性)一台已知特定释放速率的新设备安装于回风系统带ACC过滤的既有洁净室。定义g/(台·s)x1台次/s回风计算换气频次次/sV洁净室内空间容积a--…--·假定无其他对象释放目标化学物。pe=1.58×10-⁵g/m³≤1×10-⁴g/m³(ISO-ACC4级浓度限值)。计算所得p。低于ISO-ACC4级浓度限值(1.0×10-⁴g/m³),该设备可安装并运行于按给定运行(资料性)洁净室或洁净区域已安装板壁材料的适用性评定计算示例一种已知特定释放速率的新墙壁材料安装于回风系统带ACC过滤的已有洁净室。宜保持在ISO-ACC4级。表B.1输入数据定义z次/s回风计算换气频次次/sV洁净室内空间容积a·假定无其他对象释放目标化学物。pe=2.63×10-⁵g/m³≤1×10-⁴g/m³(ISO-ACC4级浓度限值)。计算所得p。低于ISO-ACC4级浓度限制(1.0×10-⁴g/m³),可在按给定运行参数运行的洁净室注：当特定释放速率的采样温度不低于洁净室或受控区室温时，本评定有效。(资料性)设计阶段洁净室设备和地面材料适用性评定带ACC过滤的洁净室会被引入新设备和新地板材料。是总有机物。表C.1输入数据定义g/(台·s)x3台次/s回风计算换气频次次/s洁净室内空间容积a·假定无其他对象释放目标化学物。根据表C.1中的参数，综合来自于地板材料和设备的质量浓度得到洁净室内化学物质量浓度p.,能根据公式C.1来计算：期释放浓度超过限值，因此不符合ISO-ACC4级的要求。4级浓度限值),设备和墙壁安装材料的总预 [8]ISO16000-6Indoorair—Part6:D[9]ISO16000-9Indoorair—Part[10]ISO16017-1Indoor,ambiantandworkplorganiccompoundsbysorb[12]IEST-RP-CC002Unidirectional-flowclean-airdevi[13]IEST-RP-CC013Calibrationproceduresand[14]IEST-RP-CC026.2Cl[16]SEMIF28-1103(Reappro[17]SEMIE49-1104(Reapproved1211)GuideforHiPerformance,Subassemblies,andFinalAssemblTransportation,Unpacking,andRelocationofSemicon