VAS维护保养作业指导书

VAS维护保养作业指导书NO版次修订内容生效日期修订人11.0首次发行。2014-11-王晓玲拟制/面板厂王晓玲审核批准会签1目的指导VAS设备正确保养，规范员工正确维修保养设备行为，确保设备正常运转及人员安全事故，有效降低其故障率，提高生产机械效率。2适用范围适用于上海天马制造中心面板厂ODF工程师和技术员3职责按照保养SOP对机台进行保养，使机台处于良好的作业状态。4定义4.1PM：PreventMaintenance预防保养4.2Utility：厂务端提供的水、电、气之通称4.3TMP：分子泵.将腔体有低真空度抽到高真空度的泵4.4Chamber：腔体4.5Table基板搭载平台；4.6Nozzle喷嘴；4.7MANUL手动模式；4.8AUTO自动模式；4.9Pin：受取基板的装置，可以擎住基板并与基板一同上升或下降。4.10CDA：即CleanDryAir，指洁净的干燥空气，用于驱动气动马达，或破真空。4.11VAC：即Vacuum，指真空。4.12PCW：即ProcessCoolingWater，指制程冷却水，用于对管路进行冷却。4.13Drain：即无压排水。4.14Mainbody:机台主体部分。4.15DryPump:抽真空用干泵，用于将腔体由大气状态抽到低真空度。4.16轻故障：只需要进行故障排除就能够马上重新工作的故障。4.17重故障：在故障排除后必须进行重新启动才能重新工作的故障5.维护保养内容维护/保养步骤注意事项一、真空贴合机台开机步骤1、开机前确认检查操作1.1确认电源连接正常，电源指示灯为ON.1.2确认其它各Utility连接正常。2、开启设备电源及程序2.1按下PowerOn按钮，至TouchPanel亮，出现下图TouchPanel的根目录界面。图1-1此时会出现报警PCCommunityError，原因是PLC与PC尚未建立通讯。2.2长按UPS开关，将UPS打开2.3将PC电源打开，双击桌面上的软件图标。此时T/P与PC间信号连接。将报警PCCommunityErrorReset掉。3、Pump开启3.1点击主界面的“Run”后，选择“Init”选项。点击界面的“DP1”、“DP2”、“TMP”，此时DP1、DP2、TMP的电源被打开。如下图图1-23.2点击“Servoready”、“Pumpready”。待两个按键变为绿色不再闪烁时，说明Pump已开启完毕，Pump开启1小时后，工作状态稳定时，才可以将设备用于生产。图1-34、开机点检：4.1根据真空贴合机《设备一级维护保养记录表》的内容进行点检。二、真空贴全机台关机步骤1、关机前确认检查操作1.1确认上游无待投入在制品。1.2确认自动运转已经终止。1.3确认Robot和机台没有干涉，机台內无基板。2Pump关闭2.1点击“Servoready”、“Pumpready”。至该两个按钮处于灰色状态。此时Pump关机2.2点击主界面的“Run”后，选择“Init”选项。点击界面的“DP1”、“DP2”、“TMP”，此时这三个按钮将处于灰色状态，下图为设备所有按钮均处于灰色状态。图2-13关闭设备电源及程序3.1长按PowerOff按钮三秒，机台电源关闭。3.2关闭PC程序及PC电源。3.3长按UPSpoweroff按钮，关机动作完成三、维护保养3.1一级维护保养见《真空贴合机台作业指导书》3.2二、三级维护保养3.2.1保养前准备3.2.1.1保养使用工具超细无尘布，酒精（浓度99.9%），润滑油，气枪，Cleaning棒，扳手3.2.2设备状态确认将设备模式切为Maintenance模式，将千斤顶放到指点位置,如图4-1所示：图3-13.2.3具体保养内容周期保养机构名称项目内容耗时/分1个月Utility检查Utility连接部有无松动确认Utility连接部有无松动201个月Air，N2冷却水管道Air，N2冷却水有无泄露查看Air，N2冷却水有无泄露301个月camera镜头camera镜头检查查看camera镜头无脏污201个月配管、气管配线，气管检查有无磨损或摩擦痕迹501个月Chamber及上下定盘Chamber及上下定盘清扫各部清洗干净无异物1201个月离子除电棒针头离子除电棒针头清扫使用酒精擦拭金属针头，再用气枪吹干451个月Pump油液Pump油液液面检查在标线范围为内201个月VAS的Z轴Z轴Sensor动作状态原点overrunsenser动作确认301个月PC散热风扇PC散热风扇检查有无异音，转动是否顺畅303个月EZ，LZ传动皮带EZ，LZ传动皮带确认有无磨损，松动506个月丝杠各丝杠注油注润滑油1206个月VAS机导轨各导轨注油注润滑油1001年TMPDrainTMPDrain清扫TMP排气部分解洗净1201年filterFilter更换更换Filter1003.2.4具体保养操作步骤及方法3.2.4.1确认Utility连接部有无松动。查看各线和接口连接部，并用手轻轻摇动看是否松动。3.2.4.2确认Air，N2冷却水有无泄露。目视Air，N2冷却水有无泄露，哥管道状态是否良好。3.2.4.3camera镜头检查。用强光手电筒照射camera看有无脏污。3.2.4.4配线，气管检查。观察各线和气管的状态，并用耳听各气管是否漏气。3.2.4.5Chamber内及上下定盘清扫3.2.4.5.1定盘清扫和异物检查的方法3.2.4.5.1.1将上定盘Z轴上升至“Mainte位置”。3.2.4.5.1.2用强光手电筒照射上下定盘表面，确认定盘表面没有异物、玻璃碎片、凸起再进行下一步的清扫。如果有异物、玻璃碎片、凸起，如果有先用吸尘器将大的异物吸走,严禁强行用Cleaning棒进行擦拭，以免划伤定盘表面3.2.4.5.1.3将超细无尘布固定在Cleaning棒上，并用酒精将洁净无尘布充分浸润。在固定无尘布时，要保证和定盘接触的表面部分没有皱褶，另外Cleaning棒的端部不外露。确认无尘布上无异物，边上的纤维无脱落。3.2.4.5.1.4先清扫上定盘。由于上定盘中有Pin突出,因此Cleaning棒清扫时要格外的小心，一定要让Cleaning棒轻轻的接触上定盘,并要小心地避开Pin，从中央到外侧单向擦拭。3.2.4.5.1.5然后清扫下定盘。如下图的箭头所示方向均匀的擦拭上定盘表面。定盘清扫是从中央到外侧单向擦拭，一定要让Cleaning棒轻轻的接触下定盘。另外,由于LiftBar在下定盘的边缘,因此清扫时要注意不要碰到了LiftBar,以免LiftBar位置发生偏移.图3-23.2.4.5.1.6清扫的时候时常对无尘布上是否沾有大的颗粒垃圾或脏东西进行小心确认，一旦发现要更换新的无尘布并确认异物成分及来源，如不能判断可将旧的无尘布保留，交由工程师分析。3.2.4.5.1.7清扫完后，用强光灯照射定盘，确认定盘上无异物。注意：在整个清扫过程中及确认时，都不要把头或手伸进室腔或过分靠近室腔，以免污染清扫后的定盘或受伤。3.2.4.5.2ChamberCleaning3.2.4.5.2.1在“StepMode”下进入RUN界面中的第三页“StepMonitor”,按下“VacuumCleaning”,就进入了清洁专用界面。图3-33.2.4.5.2.2下图即为清洁专用界面，从上到下按照界面指示完成清扫工作。图3-43.2.4.5.2.3ChamberCleaning完成后要确认Chamber已经恢复至大气状态。3.2.4.6离子除电棒针头清扫见《Cell设备通用维护保养作业指导书》3.2.4.7Pump油液液面检查去一楼的FAB中观察VASPump油的情况，确认液面在标线范围为内。3.2.4.8Z轴Senser动作状态确认在如图4-8中操作，使Chamber做开关动作，让Z轴上下运动，观察Z轴Sensor的指示灯是否红绿切换，以判断其状态是否OK。图3-83.2.4.9PC散热风扇检查目视观察下图中PC散热风扇的运动状态，擦拭动作如图4-9所示：图3-93.2.4.10EZ，LZ传动皮带确认在图4-10中运转LZ到不同位置，观察运动状况。图3-103.2.4.11各丝杠注油见《Cell设备通用维护保养作业指导书》3.2.4.12各导轨注油见《Cell设备通用维护保养作业指导书》3.2.4.13TMPDrain清扫3.2.4.13.1关闭TMPgatevalve，停止TMP的运转。3.2.4.13.2关闭Butterflyvalve，停止Drypump的运转。3.2.4.13.3打开TMP-L型valve。3.2.4.13.4确认TMP，Drypump全部停止后，打开安全cover右部的门。3.2.4.13.5确认Handvalve是否关闭后取下Handvalve下部的blockflange。flange，clamp，centerring会再度进行安装，请注意不要全部分装下来。3.2.4.13.6Handvalve慢慢的向打开的方向转动，向配管内导入大气。直到Handvalve全部打开为止。3.2.4.13.7为了防止配管内的液晶散落的情况，请在TMP液晶drain的下面准备接收的东西。3.2.4.13.8缓缓的移动连接TMP液晶drain的clamp，取下TMP液晶drain。这时一定要注意不要散落液晶而造成周围的污染。3.2.4.13.9TMP液晶drain内残留的液晶请进行适当的处理。3.2.4.13.10液晶处理后，把液晶drain按照原样安装到上面。因为会成为真空遗漏的原因，请安装时一定要注意不要夹杂异物。3.2.4.13.11关闭Handvalve，按照原样安装Handvalve下部的blockflange。请和液晶drain的安装一样进行仔细的安装。3.2.4.14Filter更换3.2.4.14.1按Stop停机,当stop键不闪烁时表示机台正常停止；3.2.4.14.2关闭出入口的阀，拆下FilterCup，更换Filter并装回FilterCup；3.2.4.14.3缓慢开启出入口阀，观察Filter是否漏液；3.2.4.14.4填写更换记录表单；3.2.5保养完成后将保养过的地方进行清洁，原样复原，并清洁地面，然后将用过的无尘布、塑料手套等分类放进垃圾桶中，清点工具并将工具全部放回工具箱，同时运转设备，确认设备开启正常，最后将保养结果记录到《设备维护保养记录表（长周期）》中。6.维护保养异常处理6.1异常断电的复机流程异常断电后复机流程图图3-1图6-1注意事项：（1）与厂务确认断电原因，及供电恢复后是否已稳定，确认已稳定后才可复机。（2）要注意chamber内是否是真空状态，如果是，在step运转中让其恢复为大气状态。（3）发生scrap时，设备端删除Glass信息后，搬送部也要删除供给记忆。2长期停机的处理2.1长期停机时设备的关机步骤图6-22.2长期停机时设备的开机步骤图6-37.安全及环境注意事项7.1无特殊情况，Pump应始终处于ON的状态，设备出故障需要重新启动时，要先将Pump关闭，再切断电源7.2禁止触碰带电元件，否则可能会发生触电。7.3安全支柱比较重，在使用时要注意安全，防止在转移时从手脱落对人或对设备造成损伤。另外安全支柱是专门用于对真空贴合设备进行定盘清扫和维护的安全保障工具，不具备任何其他功能，不能在任何其他场合使用。7.4Cleaning棒是专门用于对真空贴合设备定盘清扫的工具，不具备任何其他功能，不能在任何其他场合使用。7.5设备的Interlock取消操作非常危险，取消之后设备本身的安全限制将全部失效，有可能对人员及机台造成严重伤害。只有设备担当工程师在有维护保养的时候才能进行此操作，其他任何人员不可进行Interlock取消操作；若有保护作用的Sensor失效、带电部件损坏或线路老化时及时通知工程师进行更换。7.6禁止酒后上班、疲劳作业、