原子层沉积粉体包覆设备

1原子层沉积粉体包覆设备本文件适用于原子层沉积粉体包覆设备（以下简称“设备”）的制造生产。GB/T3768声学声压法测定噪声源声功率级和声能量级采用反射面上方包络测量面的简易法GB/T5226.1机械电气安全机械电气设备第1部分：通用技术条件GB/T9254信息技术设备的无线电骚扰限值和测量方法4缩略语2ALD：原子层沉积（AtomicLayerDeposition）PLC：可编程逻辑控制器（ProgrammableLogQCM：石英晶体微天平（QuartzCrystalMicrobaTMA：三甲基铝（AluminumTrimethan5型号、型式与基本参数5.2结构型式设备主要由本体、上/出料系统、工艺沉积系统、真空系统、冷凝捕集系统、水冷系统、尾气处理5.3基本参数12345镀膜室尺寸，L6——环境温度：10℃~35℃;——相对湿度：不大于75%;——设备所需的压缩空气、液氮、冷热水等压——设备周围环境整洁，空气清洁，不应有可引起电器及其他金属件表面腐蚀或引起金属间导电36.2.2设备配套的外购外协件应符合相关标6.3.1设备的外形应端正，整体采用封闭框架结构，无外露机构。外表面应平整光洁、色泽均匀，部6.3.2金属构件应进行防锈处理，喷涂或油漆件应平整光亮，色泽均匀，漆层牢固，其表面应无明显6.3.3所有焊接件的焊接表面应清渣，焊缝应均匀、牢固，不应有脱焊、漏焊、烧穿、夹渣、气孔等6.4.2各部件应连接紧密，紧固件应安装牢固，各控6.4.3设备正常工作时应有明显的123456.6.2需方对主要技术性能参数有特6.7.4设备运行时，化学源挂载和输送功能正常，颗粒加载过程连续化，可载气自动上/出料。46.9.1.3设备配有安全保护装置，应有6.9.1.4密封式反应源柜采用阻燃材料制6.9.1.5所有工艺气动阀门紧急——设备应具有在线、实时安全报警系统和安全互以最大输出电流工作时，设备应能承受GB/T17626.2—以最大输出电流工作时，设备应能承受GB/T17626.3—6.10.1.3电快速瞬变脉冲群抗扰度以最大输出电流工作时，设备应能承受GB/T17626.4—6.10.1.5电压暂降、短时中断和电压变化抗扰度56运行PLC控制程序，采用手动操作法进行调试和运行检查。对反应腔体抽真空至0.01MPa，采用气体检漏仪检查各真空管路，每个位置持续5s。7.7.4.1打开加料罐的上盖，将反应物料一次性加入，关闭加料罐上盖，然后调节质量流量计控制气将反应腔内粉体材料从反应腔内输送入下料仓内，同时开启振荡器的气动阀门。注：包覆物也可选择其他氧化物、氟化物、磷davg1——各片膜厚平均值，nm。7采用透射电子显微镜进行测量，填充沟槽深宽比10：1，特性尺200nm。按GB/T5226.1的规定进行，采用接7.10.1.5电压暂降、短时中断和电压变化抗8.1.1产品出厂前应做出厂检验，检验合格方可出厂，出厂产品须有合格证。8型式试验应从出厂检验合格的样品中随机抽取2台，1台进行检验，1√√2√√3√√4√√5√√6√7√√8√√9—√ √ √√√—√—√—√9标志、包装、运输和贮存99.1标志——执行标准编号。——制造商名称、商标和地址；—