质量标准气体管路施工(对外)

TheFirstConstructionCompanyofElectionSystemEngineeringofChinaKingtekengineeringCompanyC&k：气体管路施工及验收质量标准Page:PAGE1ofNUMPAGES35C&k工程公司气体管路施工施工及验收质量标准目录TOC\o"1-5"\n\p""\h\z一、气体管路工程施工说明及规范二、一般气体配管工作程序及配管工程测试标准作业程序（一）、供输半导体及一般气体之配管工作程序1、适用范围2、各种管路的种类3、所需完成的工作范围（1）分段点（2）压缩干空气(CDA)（3）氮气（4）氧气（5）氢气4、工作环境(1)临时性洁净棚(2)如何控制洁净棚内的压力5、人员的资格检定6、完成之标准(1)管线材料(2)焊接工作(3)气体管线材料的处理(4)纯度提升的方法(6)腐蚀保护7、工作进行之步骤（1）材料检查（2）临时性洁净棚（3）机械材料（4）切割完毕后的清洗（5）配管工作之预作（6）预作管之清洗（7）管线支架的装设（8）管线架设工作（9）使用自动焊接机的对焊法（10）如何焊法兰部份（11）如何焊接小口径的配件（12）锁入的配件8、测试与检验步骤（1）外观的目检工作（2）焊接点的目检工作（3）销入配件的外观目检工作（4）暂压测试（5）保压测试（6）记录暂压／保压测试的结果9．纯度提升之过程（1）方法（2）纯度测试（二）、气体管线测试之标准作业程序附一：各种检测和品质控制的程序：附录二：各种测试及验收表格C&k气体管路施工及验收质量标准(内部标准)总则为提高C&K工程施工水平，保证工程质量，特制定本质量标准。本标准适用于各种洁净厂房及其内部之设备安装、电力照明、气体管路、化学输送系统、水系统等各种厂务供应系统施工。本标准作为C&K内部质量验收标准，除应执行本标准的规定外，尚应执行国家现行有关标准、规范之规定。气体管路施工一、气体管路工程施工说明及规范本工程为责任施工，故包含所有需完成该项工程之一切必要工作及设备。施工工程开始时，应派富有经验之工地负责人，负责工程品质监督及工地安全卫生管理。施工人员施工时可能发生之任何意外，须有适当之防护及紧急处理措施。本工程须确保遵守本公司之施工规范及安全卫生环保管理法及其它相关规定，并须服从本公司监工人员指导。于工程开始前，须制作一份各种不同管径之标准焊道样品，以供未来现场目视检查比对之标准。施工之配管焊接技术人员，须经本公司之审验与核可。工程开始前，须提报一份施工人员名册及组织构架。工程进行中，须配合工程进度应适时加班或加派工作人员，以利工程进行。配管作业开始前，应开会讨论工程时间表，问题点及应对措施。配管材料须按照其规格、尺寸、品质区分，出库时须由监工确认后，取出最低需要材料量，并于管理簿内详细记录取出物品及签名。配管材料的包装只可于使用之前开封。配管材料即使有包装，也不可放置于地面上。需要于现场随时置放配管材料时，须事先通知监工确认后，并加以标示后方可放置。配管材料气体接触部分，不可用污秽的手套或用手直接触摸。配管时必须使用高纯氩作为焊接之气体，施工完后所有管路须用氩气或氮气PURGE，PURGE排气须接至室外排放，以避免人员窒息危险。配管焊接时，所有临时管路可以使用软管。所有配管焊接须于每日施工前，先做每一管径试件试焊，并须填写焊接机之焊接参数、合格试件及焊接参数，经监工人员检验合格后，施工人员才能开始施工。配管时，切管、修导角及端面，管子必须直立向下或平行，以避免铁屑附着于管内壁，且须小心进刀避免刮伤管内光滑表面。施工进行中，须按图施工，如发现施工图面出现问题问题或业主要求设计更改时，应立即回报监工处理，不可擅自做主。所有VCR、SWAGELOK等接头，于确定不会再拆或作最后复原时，并安装Gasket锁紧。配管管路必须考量一致性、整齐性，维修空间及清洁度等。焊道的部份，其外表需用电解机电解方式擦亮。所有完工之管路每隔l.5公尺及转弯前后，须加挂或贴上该种气体名称，流向之标签，标签须以划线对准，务求整齐一致。所有因施工造成之环境污染，应于每日下班时处理干净。验收标准须符合业主的要求标准，若违反或不符此规定之项目，须配合重新施工至合乎规范标准，而因此衍生出之成本增加及进度延误责任，一律自行吸收。验收时须先自行检验通过后，再通知业主正式验收。二、一般气体配管工作程序及配管工程测试标准作业程序（一）、供输半导体及一般气体之配管工作程序1、适用范围本程序及适用半导体生产工厂中所安装的供输一般气体用之配管工作。2、各种管路的种类CDA,GN2,GO2,GH2,GAr,Ghe,PN2,PO2,PH2,PAr,Phe3、所需完成的工作范围在这里所定义的管线涵盖范围由各种不同气体的起始流出点至连接各生产机台设备的气体管线为止。（1）分段点a．主管路(mainpiping)为气体起始流出点至无尘洁净室中的第一组分支(Shutoffvalve)阀为止。b．次主管区(Submainpiping)乃指由无尘洁净室中之第一组分支阀(Shutoffvalve)至第二组分支阀(take-offvalve)为止。c．第二保管线(Hookuppiping)由第二组分支阀(take-offvalve)开始至生产机台设备处为止。第二条管线装配在二次盘上，其上配有气体关闭阀组、气体过滤器(filter)及压降阀等，而所有配备均需配置在连接生产机台设备之管路的上游部份。（2）压缩干空气(CDA)对压缩干空气而言，其管路在气体流出点处需配有一干燥空气出口之过滤器，整个管线一直完成至各生产机台设备的连接点为止。（3）氮气必须提供两条氦气管线：经纯化器之氮气(PN2)管线——其配管工作由生产机台设备的连接点一直完成至氮气纯化器的上游的分支处为止。一般氮气(GN2)管线——其配管工作由氮气厂(GasYard)设备的起始流出点直到纯化器的入口连接点及连接至各生生产机台设备的气体管线为止。（4）氧气其配管工作由气体的起始流出点经由氧气纯化器直至各生生产机台设备的气体管线为止。（5）氢气其配管工作由气体的起始流出点经由氢气纯化器直至各生生产机台设备的气体管线为止。4、工作环境在工作现场需配有一临时性洁净棚(Cleanbooth)，且所有配管工作的操作基本上必须在此区域内完成，以避免一些不当的污染。此洁净棚必须维持且控制在以下的环境条件下：(1)临时性洁净棚微尘数量(静态数，粒子大小大于0.3µm)：切割工作区域洁净度10000焊接工作区域洁净度1000库房洁净度1000条件——于焊接工作区域内，其温度为21℃，相对湿度则为65%。气流——每小时循环5至10次。环境——此临时性洁净棚内正压足以阻绝微粒、油污及其它外来物质。(2)如何控制洁净棚内的压力籍由棚内空气的循环与过滤以可以控制微粒多寡。在此区域工作的工作者须穿著无尘衣鞋。5、人员的资格检定(1)每一位负责实际焊接工作的人员必须通过焊接技术的检定，并核发焊接资格许可证方可操作。(2)现场每一位项目工程师皆为工程QC(QualityControl，品质控制)人员。6、完成之标准(1)管线材料SUS304、SUS316、SUS316L、HastelloyC-22(2)焊接工作两条管线的端面对接焊接，主要是利用自动焊接机来完成。900的弯头使用于15A以上的管子，小于1/2”的管子则大部份使用弯管器，弯管曲率需为10倍管外径(O.D)以上。自动焊接机的状况可藉由制作测试用样品来检查并记录正确之焊接行程后存盘；在焊接机不断电之状况下至少每天做2次，于早晨焊接工作开始之前与下午焊接工作结束之后。(3)气体管线材料的处理管线与零件的清洁——所有的管子与零件须于制造后先予以清洗并以管盖封住闭口处，再以包装袋封装，始可运送至现场。任何管子于零件在弯管、切割及焊接诸如此类工作之运行前，须确定其清洁度可维持的情况下始可拆封。(4)纯度提升的方法用纯氩气或纯氮气来喷洗管线内部。(5)腐蚀保护焊道的部份其外表需用电解方法或化学方法擦亮之。7、工作进行之步骤为了维持完成俊的洁净在所订定之水准内，气体供输的管线工作必须尽可能地小心去完成。（1）材料检查a、材料——经选送到施工单位则必须立即就其订单规格来检验是否合格。b、抽验这些材料的真圆度、粗糙度、抛光等级、端面平整度、内表面有无刮痕、斑点等等，决定是否验收此批材料。（2）临时性洁净棚临时性洁净棚装设在现场。管路工作中，所有的预制管线部份均需在此临时性洁净棚内进行，因其有控制其微尘数。管线材料则需储藏于库房中，以避免规格有异变。序号项目步骤备注制造地点1材料检查逐项检查各项材料是否符合订单上的规格洁净棚2机械切割切割至所需长度端部流程均在临时性洁净棚中操作、处理3氩气冲洗充以氩气：喷洗并清理管子末端部分4焊接及安装由通过资格检定的技师负责焊接相关工作5安装后之检查工作分段逐一检查6最后清洁清洁并以氮气不断喷洗以达到洁净要求7防尘帽盖将管子两端覆以帽盖并以塑料套包装8储存整组封好运送之1管线预作之检查工作检查预架设地点于架设管线之现场中进行2临时性架设确定所切割之管线符合预先设计之长度3分区安装摆设好并焊接之4检查工作外观目检、充以压力及进行气密试验5纯度提升以纯氮气喷洗干燥6完成并测试进行纯度测试附注：——生产过程——纯度维持及处理进程——检验过程（3）机械材料a．在开始进行工作前，需先检查使用的工具是否清洁。b．每一管线于切割时必定使用切割器，又要避免小碎片送入管中。（4）切割完毕后的清洗每一段切割至所需长度的管子最后均需以氮气喷洗之，以避免残留的小碎片留在内部。喷洗完后立刻以帽盖覆在两端开口，并以塑料套膜包装好储存直到需要这些管线前再拆封。（5）配管工作之预作检查并确定所需的材科。实施焊接固定。进行焊接工作(一般尾端对焊)。焊点的外观氧化部分需处理使之光亮。确定预作的管子其长度于绘制图或现场量测的相符。以帽盖将两端封住。（6）预作管之清洗管子需以通过过滤器的氮气喷洗清洁内部。以帽盖封住两端后再以塑料套膜重复包装好储存之。（7）管线支架的装设支架的材质需为不锈钢或镀锌制品，且籍由装配在天花板、墙缘、梁柱及设施等之上可固定管处。支架的摆设位置需依现场实际情况予以量测并架设之。配管时需考虑管线工作处、气体种类、维修空间预留及配设之美观程度等。螺钉与螺帽基本为不锈钢制品或镀锌制品。（8）管线架设工作确定每一段预作的管子之编号符合它们要被摆放的位置无误。先予以摆放至要被架设的位置以确定其长度适合原来的设计。小心不使其保持的清洁度被破坏，之后点焊固定之。使用。焊点的外观氧化部份需使之光亮。（9）使用自动焊接机的对焊法基本上不处理凹槽斜部分。forback-sealing使用经过滤的氩气以设定好的流速循环通入管中。将欲焊之两管中心对准后沿圆周各点焊3至4处。焊接尾端处覆以有孔之干净塑料套或盖，再接上差压计做焊接管内压力控制，以隔绝大气中之尘埃并使焊接品质能达到标准。即使焊接完成，必需继续通氮气保持循环状态，并使焊接处金属基底降温。将焊接操作时程(weldingscheduIe)如电流、时间等记录之。封管时的气体需经过过滤器过滤。（10）如何焊法兰部份将管子插入法兰后于法兰正面2至3mm的深度处点焊之。使用手动焊接机将法兰正面沿圆周焊接一圈；同法再焊接法兰的背面。如果先焊接法商的背面，极可能会污染法兰的正面而导致漏缝，因此务必记住先焊正面部份。（11）如何焊接小口径的配件基本上每一小口径需为VCR式的接头。基本上一个VCR接头可与管子以自动焊接方法对焊之。基本来说T-形配件为microfitting-迷你型配件。特定的jigs乃被用以当配件或任何接头在与管子焊接时对准用。（12）锁入的配件所谓的锁入配件为SWAGELOK型式与VCR型式。厂商提供的旋紧操作规范为：以手旋紧后，扳手对SWAGELOK旋1-1/4周，对VCR旋1/8周，即保障不溢漏，但根据现场经验SWAGELOK可旋1-1/2周，VCR旋1／4周较为安全妥当。在锁入配件的配管其弯管的半径需足以容许其帽盖的移出。8、测试与检验步骤（1）外观的目检工作检查管子、配件、阀头、法兰、螺钉、螺帽、垫片及其附件与工程图相符，以确定所完成的工作无误；而俊，则贴上一指示流动方向、气体名称的标签。确定支撑管线的支架安置无误。确定各气体的管线确实连接到生产机台设备的每一需求点确定配管的工作不合损害其本身维护能力及美观程度。检试其检验报告及管线的标记以确认管线的确依照所设计的规格及标准配设。以肉眼目检管子、配件、阀头、法兰、螺钉、螺帽、垫片及其附件之外表，以确定没有遭受外来的损害、表面腐蚀或发生裂痕。（2）焊接点的目检工作焊接部分不可过度凹陷于金属底部金属底部不可有阶梯状凸起。（3）销入配件的外观目检工作确定锁头安装与规格相符无误。确定所有的配件均正确地旋入无误。确定锁入配件的配管的弯管的半径需足可容许其帽盖的移出。确定任何一根短管均不会被过度地安装。（4）暂压测试在测试时需装设一经过滤器过滤的氩气或氮气管线。压力测试时所使用的暂压压力为正常供气状态使用压力之1.5倍，一般为9~10kg/m2；暂压测试时间为30min~1hr。暂压测试进行的步骤为：管线内充满气体并达到测试时规定的压力时，开始就所有的连接阀和焊接处等较可能的漏气进行气泡式侦漏(snooping)；此一切相关的压力需如实记录。充气体于所有管线，在规定之压力及时间内，如果没有压力下降发生，则视为正常且通过测试。根据压力记录仪上所显示的压力来记录其测试时使用的压力。（5）保压测试暂压测试通过后泄压6~8kg/cm2，保压24小时。在保压测试中，压力的记录乃是藉由使用压力记录仪来保压完成。24小时后，从压力记录仪中读取的压力应为开始测试到结束并没有明显变化。如果从压力记录仪中读取的压力从开始测试到结束并不相符，但由于室温并不相同于结束时的温度，则需再考虑以下的一个温度校正公式，仪决定此压力测试有无通过。通过此项测试的准则是：如果压力的变化在开始测试时压力值的98％范围内，则视其正常且通过测试。压力的保持率（ε）ε=【（P2/T2）÷（P1/T1）】×100%测试时间测量值转换值的计算测量值温度压力温度kg/cm2G℃kg/cm2AK开始测试p1t1P1=p1+1.033T1=t1+27324小时后p2t2P2=p2+1.033T2=t2+273所有的测试均需以最有效率的方式进行；譬如以几个邻近的管线为一组搭配一个压力记录仪进行测试工作。（6）记录暂压／保压测试的结果在开始记录压力之前，将欲测管线的名称、起始的压力读值、开始测试的时间、日期，以及开始测试时的室温。在完成测试时，务必记录结束的时间、日期、结束时的压力读值及当时的室温。所有测试点决定均需先经客户的认可才可进行有效测试，而资料必须依照测试点的次序排放收集。当测试的结果由我方测试人员与客户认可签署后，与其相关的配管工作即视为验收通过由于有非常多的项目需进行测试，为避免因客户方面之见证者勘验不便造成此合约性工作的延迟进行，可用仪器打印、记录值表或拍照方式将需确认的位置存证以代替当场之见证。9．纯度提升之过程（1）方法在完成保压试验后，为了提升管线内部的纯净度，有下列的过程可以一一进行之。冲吹过程所有的次主管均以纯氩气或氮气反复喷洗(cyclepurge)，其使用气体的流速约为15~20m／sec(见所附表)干燥过程以纯氩气或氮气持续冲吹，冲吹压力以不超过各测试仪器最大入口压力为原则。管线直径及纯度提升所需之气体流速管线直径气体流速时间1/4"12N1/min3/8"45N1/min1/2"70N1/min3/4"200N1/min1"280N1/min3/8B(10A)150N1/min1/2B(15A)240N1/min243/4B(20A)410N1/min小时1B(25A)670N1/min1-3/4B(32A)1.1Nm/min1-1/2B(40A)1.5Nm/min2B(50A)2.3Nm/min2-1/2B(65A)3.7Nm/min3B(80A)5.1Nm/min4B(100A)8.6Nm/min（2）纯度测试微尘测试为了计算气体中所含的微粒数目，可于测试点出口处连接一微尘计算仪。此微尘计算仪一次印出的计算数值约等于1立方英呎的气体所含微粒数；为确保数值可信，此资料需连续印出3次，每次测试时间为10分钟，且其粒子大小的设定在规定范围内。若此资料中每一测试点的数值均在检定合格的标准以下。表示此微尘测试通通。露点测试（微水气测试）露点测试仪接在测试点出口处。若其资料中每一测试点的露点数值均处在检定合格的标准以下，表示此露点测试通过。残余氧气分析氧氛分析仪接在测试点出口处，若其资料中每一测试点的氧气浓度均在检定合格的标准以下，表示此残余氧气分析通过。（二）、气体管线测试之标准作业程序测试操作人员需经严格训练，并通过公司资格认可方能进行QA／QC。依据配管设计图至现场确认管线。检查配管管线与施工图是否吻合，(包括路径、标签、种类、材料、阀位及方向、support位置、数量、管路外观整齐度、管径尺寸等)确认所有待测之VALVE开或关状态，并检查VCR之GASKET、CAP及SWAGELOK装设正确，以扳手旋紧后以签字笔标记已旋紧。(注意VCR及SWAGELOK正确操作规范。)管线测试以末端点或最远点为测试点。将测试仪器连接测试点，并于测试工作区域及管线作测试正在进行系统内之标示。连接测试用carriergasPN2于待测试之管路。测试流程依次为压力测试/氦气泄露/Particle测试/微水气含量测试/微氧含量测试。压力测试：将PN2灌入持测之管线，暂压压力为正常供气状态使用压力之1.5倍，一般为9~10kg/m2；待测时间为30min~1hr，保压测试时间为24hr,其间针对较可能之漏点进行测漏液测漏(snoop)。氦气泄漏测试：将测试之管线系统以氦气测漏，若氦气测漏率达到1×10-9atmcc／sec，由最接近氦气测漏仪端自近而远依序以喷枪喷氦气所有焊道、接点、阀以及辅助pump造成系统内负压等，检查管线有无泄漏，完成后会同业主于验收报告签字。Particle测试：使用PN2作为管线PurgeGas系统，先fIush再cycIepurge(purge次数视状况而定)，测试标准为0.1µm≤1pcs／ft3，测试10分钟后印出记录纸1张，连续3张合于标准第4张为平均值（视业主规定而定），微水气含量测试：以PN2持续冲吹至管线达到测试标准5ppb以下（视业主规定而定），会同业主于验收报告签字后存盘。微氧含量测试：以PN2持续冲吹至管线达到测试标准5ppb以下（视业主规定而定），测试完成将各purgeportCap回归，最后再关闭气体来源Valve，保持测试管路系统封闭。封闭之气体官衔系统保持0.5~1kg/cm2之正压，避免污染物扩散进入影响测试完成之管路系统。关闭PN2Purge气源。取下连接PN2气源及测试完成之管路系统之测试用临时管路及阀件。将测试之周遭环境整理、整顿、清洁。附一：各种检测和品质控制的程序：1、压力保持测试：≥1、压力保持测试：≥24小时保持时间2、氦测漏测试：1x10-9atm·cc/sec3、微粒子计数测试：0.1µm≤1pcs/scf4、露点分析：依照客户所提之规划5、微氧分析：依照客户所提之规划气体管道系统品质测试说明书质量控制管理程序制图：确认所提交之图纸是依照各单位技术协商而产生管道系统正确路线。确认管道系统：质量控制管理程序制图：确认所提交之图纸是依照各单位技术协商而产生管道系统正确路线。确认管道系统：管道系统前段起点和最终之正确性管道系统支架的确认目视光度或测量：焊接点连接认可QA/QC程序质量品质保证验收标准测试结束保压测试测试压力2~8Kg/cm2保持压力24Hr测试系统连接QA/QC测试流程作业测试结束保压测试测试压力2~8Kg/cm2保持压力24Hr测试系统连接QA/QC测试流程作业确认全部系统阀门是否连接、开/确认全部系统阀门是否连接、开/关确认管道系统路线焊接点焊道认可粒子计数测试粒子计数测试10min为一个记录连续记录3张0.1µm≤1pcs/scf氦测漏测试1氦测漏测试1x10-9atm·cc/secPN2冲洗法循环吹净30~50min露点测试露点测试≤1ppb依规范为准PN2PN2维持管内压力保持在0.5~1Kg/cm2微氧测试≤1ppb依规范为准测试结束维持管道内压0.5~1Kg/cm2漏点清除问题解答找到未连点及漏处不正常正常压力保持测试6~8Kg/cm224Hr输入PN2或GN26~8Kg/cm2确认全部连接点关闭保压记录仪安装测试点确定保压测试流程测试结束维持管道内压0.5~1Kg/cm2漏点清除问题解答找到未连点及漏处不正常正常压力保持测试6~8Kg/cm224Hr输入PN2或GN26~8Kg/cm2确认全部连接点关闭保压记录仪安装测试点确定保压测试流程有检查连接点有检查连接点有无泄露无无确认压力情况确认压力情况是否正常不正确不正确正确正确不正确问题如出现在焊道该焊道需做修补喷氦气检测全部出现的任何一种变化喷氦气查明漏点问题解答检测结束将氦测漏机与管道分离维持管道内压0.5~1Kg/cm2管道输入PN2和GN2将测试点的阀门关闭确认氦测漏机探测是否停止将氦测漏机排放阀打开正确不正确喷氦气探测全部连接点和焊道观察范围出现的任何一种变化正确检测是否合乎规范将钥匙打开开始探测管道系统将测试点的阀门打开打开电源氦测漏机台是否连接在测试点确定测试系统全部连接点是否全部关闭氦测漏检测流程不正确不正确正确正确不正确问题如出现在焊道该焊道需做修补喷氦气检测全部出现的任何一种变化喷氦气查明漏点问题解答检测结束将氦测漏机与管道分离维持管道内压0.5~1Kg/cm2管道输入PN2和GN2将测试点的阀门关闭确认氦测漏机探测