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PAGE示值误差校准结果的测量不确定度评定示例A.1测量方法在线激光测厚仪的示值误差使用标准厚度块进行校准，根据实际测量应用范围和条件的不同，设定好相关的测量程序，按6.1的方法进行校准。本次评定以分辨力0.01μm的在线激光测厚仪测量200μm的标准厚度块为例。A.2测量模型(A.1)式中：—仪器的示值误差，μm；—仪器示值平均值，μm；H—标准厚度块的实际值，μm。A.3合成标准不确定度计算公式由式A.1，得灵敏系数灵敏系数、分别表示和引入的标准不确定度，因和互不相关，则合成标准不确定度：(A.2)A.4标准不确定度分量A.4.1仪器示值引入的标准不确定度分量A.4.1.1测量重复性引入的标准不确定度分量u测厚仪的测量重复性引入的不确定度分量可以通过10次重复连续测量得到，测量结果为199.97μm、199.97μm、199.97μm、199.97μm、199.97μm、199.96μm、199.97μm、199.97μm、199.95μm、199.97μm，计算单次测量实验标准偏差为：(A.3)实际校准时，测量次数为10次，则：=0.0021μmA.4.1.2在线激光测厚仪分辨力引入的不确定度分量u在线激光测厚仪分辨力为0.01μm,设为均匀分布，则由测厚仪分辨力引入的标准不确定度：=0.003μm则由在线激光测厚仪引入的标准不确定度分量：=0.0037μmA.4.2环境温度偏离20℃引入的不确定度分量校准时，环境温度可控制在（20±2）℃，温度区间半宽2℃，设为均匀分布，即k=3，装夹激光测厚仪的C型架通常使用大理石制作，大理石的热膨胀系数为6×10-6℃-1，该设备上下激光测微仪的固定距离L为30mm。u2=L·a·Δt=30000×6×10-6×2/A.4.3标准厚度块受温度偏差引入的测量不确定度u3钢制标准厚度块的热膨胀系数为11.5×10-6℃-1，标准厚度块中心长度为200μm。u3=L·a·Δt=200×11.5×10-6×2/3=0.0027μmA.4.4标准厚度块中心长度引入的不确定度分量u标准厚度块中心长度引入的不确定度主要来源于标准厚度块的厚度校准结果不确定度，依据校准证书U=0.2μm，k=2。uA.5标准不确定度一览表表A.1标准不确定度一览表标准不确定度分量标准不确定度/μmu0.0037u0.208u0.0027u0.1A.6

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