六西格玛改进项目的测量系统分析【M阶段】设计案例3200字

六西格玛改进项目的测量系统分析(M阶段)设计案例综述 2 6作为DMAIC六西格玛管理的第二个步骤，测量阶段承上在定义阶段的基础上，围绕项目指标Y,收集分类相关输入因子x的数据，在输因素，以便确定出对Y有影响的所有输入因素变量x,并过滤掉那些不重要的因素。TFTArraySD(Source线，即S线)干蚀刻制程的基本流程工艺的基本过程性并识别可改进的机会，如图1.6所示为形成的动线流程图。SDSD成脱前清洗童业重SDSD成膜换轨基板投入基板搬出JJJJ燥J却JJ1.2C/E矩阵分析根据流程图，使用头脑风暴法、鱼骨图和C/E矩阵深入分析与y目标相关的输入因子，C/E矩阵将流程的每个步骤与客户需求紧密联系在一起，需要从主要原因开始向下展开次要原因，划分需求的重要性级别以及流程的每个步骤与需求之间的相关程度。根据头脑风暴提出问题并做出假设，然后设置分数比重以y3爬坡断线的鱼骨图，如下图1.7所示。单元水滴凝聚搬出CV机构磨损发尘清洗设备密封性不佳气流紊乱水洗室流量/压力不够日可控难控不可控刮伤 洗净mistGate膜下密着性不足UV单元异常 基板滞留可控难控不可控C&E矩阵分析方法包括分析所有过程输入变量对输出变量的影响程度，根据影响的重要性，输入和输出变量的权重按照1到10的重要程度进行打分，将表1.5C&EMetricsLi对客户重要概权(1~10等级)155设备稳定性响易度耗影响估11234567水残留PA残留常AK单元Gap不均一气流紊乱水洗室液刀角度不佳端部处理异常端部Bonding异常Rollercover氧化9333111393131911399311911139913939319333399933993111399313113113991199933931133333331193313099111199911333111193933913911333999909393331933131911393931133331199199333√√√对客户重要概权(1~10等级)81744566设备稳定性响易度耗影响综合评估Resist附着力FFU异常烧结物残留O-ring磨损洗浄mist33391131119933313931199333139331933331393333331191399931131191399391193931911193109931333393939911330193391111099311393311911931139933919390993930119999391939111933133911333993313393193339√对客户重要概权(1~10等级)81744566稳定性响改进难成本消环境综合评易度耗影响估191基板滞留1SCR水残3333131通过C/E矩阵找出重点x因子，即y1的HM-S水汽比例不佳、FRSW流量洗浄mist、A/K流量、PhotoRework、基板预处理与否4个变量。否合适，保证测量系统能够正确的衡量y,来确定测量系统误差的主要成分。相同的测量结果。再现性(Reproducibility)是在不同测量条件下测量时，考察人员的变异性，例如不同的操作员使用相同的仪器，由于y1、y2、y3中连续数值均由大型设备自带仪表定期测量，无需进行分否具有相同标准、人员的判定一致性是否符合标准。S断的判定涉及Array配线修正设备与MSL点灯装置，所以主要针对上述两个设备的MSA人员重复性和测量样本：共25pcs,NG样本11pcs,OK样本14pcs测量人员：作业员6位测量设备：配线修正装置测量方法：25pcs样品随机进行盲测，每人3次判定基准：整体有效性比率>90%a.操作者之间的一致性分析。在25次测量中，6位检验者完全一致的有24次，一致性比率为96%,下表1.6为Minitab软件的分析结果。表1.6操作者之间一次性分析检验员之间百分比95%置信区间#相符数：所有检验员的评估一致。响应01ZP(与>0)00b.所有检验者与标准的整体对比。在25次测量中，有24次体一致性比率为96%,下表1.7为Minitab软件的分析结果。百分比#相符数：所有检验员的评估与已知的标准一致。响应Kappa标准误ZP(与>0)0010本次Array配线修正设备测量系统分析的判定标准为整体有效性比率大于等于90%,结合以上分析结果，可以得出检查员之间及所有检查员与标准之间的Kappa均大于90%,则一致性可以接受，判定为合格。(2)MSL点灯装置测量样本：共25pcs,NG样本15pcs,OK样本10pcs测量人员：作业员6位测量设备：MSL手动点灯机台测量方法：25pcs样品随机进行盲测，每人3次a.操作者之间的一致性分析。在25次测量中，6位检验者完全一致的有21次，一致性比率为84%,下表1.8为Minitab软件的分析结果。检验员之间#检验数#相符数百分比95%置信区间致。响应ZP(与>0)0010b.所有检验者与标准的整体对比。在25次测量中，有21次与标准一致，整体一致性比率为84%,下表1.9为Minitab软件的分析结果。表1.9所有检验者与标准之间一次性分析#检验数#;相符数百分比95%置信区间#相符数：所有检验员的评估与已知的标准一致。响应