高纯金刚石单晶热沉片

1高纯金刚石单晶热沉片本文件规定了高纯金刚石单晶热沉片的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于电子器件、高功率半导体等领域用高纯金刚石单晶热沉片的设计、生产和质量控制。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T191包装储运图示标志GB/T1031产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值GB/T1184形状和位置公差未注公差值GB/T1551硅单晶电阻率的测定直排四探针法和直流两探针法GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计划GB/T3138金属及其他无机覆盖层表面处理术语GB/T4339金属材料热膨胀特征参数的测定GB/T6388运输包装收发货标志GB/T6618硅片厚度和总厚度变化测试方法GB/T10297非金属固体材料导热系数的测定热线法GB/T16863晶体折射率的试验方法GB/T16923钢件的正火与退火GB/T16924钢件的淬火与回火GB/T22588闪光法测量热扩散系数或导热系数GB/T25995精细陶瓷密度和显气孔率试验方法GB/T40381激光窗口用蓝宝石晶体板状材料规范3术语和定义GB/T1031、GB/T3138、GB/T4339、GB/T10297界定的以及下列术语和定义适用于本文件。3.1高纯金刚石单晶热沉片high-puritydiamondsinglecrystalthermalsink以化学气相沉积法制备的高纯金刚石单晶为基材，经精密加工制成的具有高热导率、低表面粗糙度的散热元件。3.2金属化层metalliclayer通过溅射或电镀工艺在热沉片表面形成的金属层。4分类高纯金刚石单晶热沉片的分类按热导率等级和形状划分，具体划分按照表1指标执行。表1高纯金刚石单晶热沉片的分类分类依据分类指标分类依据5技术要求5.1材料性能高纯金刚石单晶热沉片的材料特性应符合表2的技术指标要求。表2材料特性技术指标项目指标要求5.2外观与尺寸高纯金刚石单晶热沉片的外观与尺寸应符合表3的技术指标要求。表3外观与尺寸技术指标项目指标要求表面粗糙度（Ranm）），平面度（m）平行度（m）5.3物理性能高纯金刚石单晶热沉片的物理性能应符合表4的技术指标要求。表4物理性能技术指标项目指标要求在500nm～1100nm范围内的光谱透6试验方法36.1外观与尺寸检验高纯金刚石单晶热沉片的外观与尺寸技术指标试验方法按照表5的规定执行。表5外观与尺寸技术指标检验指标要求项目指标要求采用原子力显微镜在5m×5m区域内测量，取算术平均偏差Ra值。使用千分尺测量厚度，精度0.0016.2材料性能试验高纯金刚石单晶热沉片的材料性能技术指标试验方法按照表6的规定执行。表6材料特性技术指标试验方法项目指标要求执行标准使用热机械分析仪，升温速率5℃/min，进行试验，6.3物理性能高纯金刚石单晶热沉片的物理性能技术指标试验方法按照表7的规定执行。表7物理性能技术指标试验方法项目指标要求执行标准入比重瓶，抽真空15min排除气泡，补加蒸馏水至刻度使用X射线荧光法进行测试，记录并计算试验结果。使用X射线荧光法进行测试，记录并计算试验结果。7检验规则7.1抽样方法每批产品检验的抽样方法应按照GB/T2828.1的规定进行，采用逐批检验抽样计划。抽样检验的样本量应根据产品批量大小和接收质量限（AQL）确定。7.2型式检验型式检验应包括本文件规定的所有技术要求。型式检验应在下列情况下进行：a）新产品或老产品转厂生产的试制定型鉴定；b）正式生产后，如结构、材料、工艺有较大改变，可能影响产品性能时；c）正常生产时，定期或积累一定产量后，应周期性进行一次检验；4d）产品长期停产后，恢复生产时；e）出厂检验结果与上次型式检验有较大差异时；f）行政机构提出进行型式检验的要求时。7.3出厂检验每批产品出厂检验项目应包括外观质量、尺寸精度、表面粗糙度和加工面平行度，检验合格，并附产品质量合格证方可出厂。7.4判定规则高纯金刚石单晶热沉片的合格判定应满足下列要求：a）检验结果符合本文件规定的要求，则判定该批产品合格；b）若检验结果中有一项不符合本标准规定的要求，允许加倍抽样复检，复检仍不合格，则判定该批产品不合格，并作报废处理。8标志、包装、运输和贮存8.1标志每批产品应符合GB/T191的规定有明显的标志，内容包括：产品名称、牌号、规格、批号、生产日期、生产单位名称或商标。8.2包装产品应采用防静电、防潮、防震的包装材料进行包装，且包装应