JJF(电子) 0033-2019 微电子器件测试系统自检模块校准规范

JJF(电子)0033—20192019-08-26发布微电子器件测试系统自检模块校准规范CalibrationSpecificationofMicroelectronicDevicesTestingSy归口单位：中国电子技术标准化研究院本规范主要起草人：李洁(中国电子技术标准化研究院)安平(中国合格评定国家认可中心)张珊(中国电子技术标准化研究院)参加起草人：刘冲(中国电子技术标准化研究院)陆强(中国电子科技集团公司第二十研究所)李仰厚(济宁天耕电气有限公司)微电子器件测试系统自检模块校准规范 本规范依据JJF1071—2010《国家计量校准规范编写规则》和JF1059.1—2012《测量不确定度评定与表示》编写。本规范为首次在国内发布。微电子器件测试系统自检模块校准规范本规范适用于直流电压±(1mV-100V),直流电阻1mΩ2~100MΩ,频率1kHz～100MH₂的微电子器件测试系统自检模块(以下简称：自检模块)的校准，也适用于具有上述单一功能或组合功能的自检模块的校准，如被校自检模块超出该范围可参照该规范执行。微电子器件测试系统自检模块主要由各种阻值的标准电阻和其他电子元器件组成，用来模拟静态标准样片，其主要用于微电子器件测试系统日常自行准确性和工作正常性检测，由自检模块提供标准电压、标准电阻和标准频率对微电子器件测试系统内部的测量单元进行检测，来判断测试系统是否在规定的最大允许误差范围内、功能是否正常、是否符合指标要求。自检模块组成框图如图1所示。准频电□3计量特性3.1直流电压输出范围：±(1mV~10mV),最大允许误差：±(1%~0.3%);输出范围：±(10mV~100V),最大允许误差：±(0.3%~0.05%)。3.2直流电阻电阻范围：1mΩ~10Ω0,最大允许误差：±(1%-0.1%);电阻范围：10Ω-1MΩ,最大允许误差：±(0.1%~0.05%);电阻范围：1MΩ-100MΩ,最大允许误差：±(0.05%-0.1%)。输出范围：1kHz~100MHz,最大允许误差：±(0.001%-0.1%)。4.1.2相对湿度：40%~60%;a)直流电压测量范围：±(10mV~100V),最大允许误差：±(0.05%-0.01%);b)直流电阻测量范围：10-100MΩ,最大允许误差：±(0.2%-0.01%)。直流电压测量范围：±(1mV-10mV),最大允许误差：±(0.1%~0.05%)。电流输出范围：0.1A~10A,最大允许误差：±(0.1%~0.5%)。5.2.1仪器连接如图2所示。将稳压电源和被校自检模块的电源输入端相δ—直流电压的示值误差；0式中：8—直流电阻的示值误差；Rm—数字多用表的电阻实测值，Ω。5,3.5当被校自检模块电阻<1Ω时，仪器连接如图4所示。5,3.7设被校自检模块的电阻标称值为R₂,记录直流电流源的电流输出值I,数字多用表的电压测量值U.,并记录于附录A表A.4中。式中：δ—直流电阻的示值误差；I—直流电流源的电流输出值，A;R——被校自检模块的电阻标称值，0。5.4.1仪器连接如图5所示。将稳压电源和被校自检模块的检模块的说明书要求提供自检模块工作的电源电压值；将频率计和被校自检模块的频率JJF(电子)0033-2019式中：f—被校自检模块的频率标称值，Hz;6校准结果表达校准后，出具校准证书。校准证书至少应包含以下信息：b)实验室名称和地址；e)进行校准的地点(如果与实验室的地址不同);d)证书的唯一性标识(如编号),每页及总页数的标识；e)客户的名称和地址；f)被校对象的描述和明确标识；g)进行校准的日期，如果与校准结果的有效性和应用有关时，应说明被校对象的接收日期；h)如果与校准结果的有效性应用有关时，应对被校样品的抽样程序进行说明；i)校准所依据的技术规范的标识，包括名称及代号；j)本次校准所用测量标准的溯源性及有效性说明；k)校准环境的描述；1)校准结果及其测量不确定度的说明；m)对校准规范的偏离的说明；n)校准证书签发人的签名、职务或等效标识；o)校准结果仅对被校对象有效的说明；p)未经实验室书面批准，不得部分复制证书的声明。7复校时间间隔复校时间间隔由用户根据使用情况自行确定，一般推荐为1年。原始记录格式A.2直流电压校准电阻标称值/ΩA.4直流电阻(<1Ω)校准A.5频率校准频率实测值/H₂校准证书内页格式电阻标称值/Ω测量不确定度评定示例电压电压式中：………………8—直流电压的示值误差；点，其允许误差极限为±(0.0050%×读数+0.0003%×量程),所以1mV的允许误差极=5×10⁻⁵mV,相对值为5×10-。用B类标准不确定度评定。纳伏表3420A在10mV量程的分辨率为1×10-⁶mV,区123456795×10-¹BB6×10-¹AC.1.5扩展不确定度取k=2,则扩展不确定度91δ—直流电阻的示值误差；用B类标准不确定度评定。测量1mD直流电阻时，数字多用表测得的电压值为为±(4.5pm×读数+0.5pm×量程),所以10mV的允许误差极限为±2×10⁴mV,即α10A。根据多功能标准源5522A的说明书，在20A量程10A输出点，其±(500ppm×读数+330μA),所以10A的允许误差极限为±5.3×10⁻³A,即α=5.3×10-³按A类评定，用数字多用表8508A和多功能标准源5522A对被校自检模块LX9300123456789B2RBAA以上各不确定度分量独立不相关，根据下面公式，则合成标准u.=√(um)²+(zm)²+(m)=3×取k=2,则扩展不确定度Um=B,×k=1×18—频率的示值误差；……f—被校自检模块的频率标称值，Hz;用B类标准不确定度评定。以1MHz测试点进行分析。根据频率计数器CNT-85R确定度分量nm=a/k=3×10-°MHz,相对值为3×10-。用B类标准不确定度评定。频率计数器CNT-85R在1MHz的分辨率为1Hz,区间半宽为0.5Hz,即a=0.5Hz,估计为均匀分布，则k=√3,